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公开(公告)号：CN102331685A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110286667.9
申请日：2011-09-24
Applicant: 南昌航空大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种提高数字无掩模光刻分辨力的方法，涉及无掩模光刻技术领域。它是先将原始空间频率较高的灰度掩模分解成m幅与原始灰度掩模大小相等、空间频率稍低的灰度掩模，再依次将每幅降频后的灰度掩模分解成n幅大小相等的低频二值掩模。原始空间频率较高的灰度掩模共分解成m??n幅二值掩模，利用SLM动态控制掩模的特性，将这m??n幅二值掩模沿垂直于掩模所在平面的方向顺序对准叠加曝光，每幅掩模的曝光时间ti遵循一定的变化规律。本发明提出的方法避免了数字灰度掩模中相邻像素因灰阶不同而构成高频光栅的情况，从而降低精缩透镜组低通滤波特性对曝光的影响，较好地改善了光刻胶上曝光图形的边缘锐度，提高了数字无掩模光刻的分辨力。
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公开(公告)号：CN102331413A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110248847.8
申请日：2011-08-27
Applicant: 南昌航空大学
IPC: G01N21/59
Abstract: 一种基于密集网状薄片的吸收系数确定方法，方法步骤为：首先在流场的竖直方向取一截面，采用激光穿过截面前后的能量对比，测得截面不同位置的吸收率，由阿贝尔逆变换求解吸收系数与半径的关系函数，并得到该流场截面温度与半径的关系函数，最后用半径作为中间变量，求得吸收系数与温度的关系。本发明的技术效果是：消除以往使用经验公式确定吸收系数的误差，为测量流场分布提供重要的参考。
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公开(公告)号：CN102299465A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201110189776.9
申请日：2011-07-08
Applicant: 南昌航空大学
Abstract: 一种应用于光栅传感的低成本扫频光纤激光器，980/1550nm波分复用器、隔离器、10:90耦合器、环形器和掺饵光纤依次通过光纤首尾连接形成闭环路，所述环形器的另一端口连接位移传感光栅，位移传感光栅的表面连有压电陶瓷，所述980/1550nm波分复用器将980nm泵浦激光器发出的泵浦光耦合进闭合回路。本发明的技术效果是：该扫频光纤激光器采用全光纤结构，结构简单，较目前应用于光栅传感的宽带光源与扫频激光器，输出功率更大，成本更低，采用该激光器的光栅传感系统，成本将随之大大降低，更有利于光栅传感的推广与应用。
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公开(公告)号：CN101915618A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010231594.9
申请日：2010-07-20
Applicant: 南昌航空大学
Abstract: 一种高温燃气发射率的标定装置，测试平台表面安装有黑体炉和燃气发生器，黑体炉轴线与燃气发生器轴线相互平行，黑体炉的辐出孔与燃气发生器的中心点连线为基准线，基准线与黑体炉轴线及燃气发生器的轴线垂直，与基准线平行设有滑动导轨，滑动导轨上连有工业摄像机，工业摄像机连接图像采集卡，图像采集卡连接计算机，黑体炉连有调温装置，工业摄像头的镜头安装有窄带滤光片，燃气发生器内设有高精度热电偶。本发明的优点是：可解决发射光谱层析及非接触式单点测温中发射率标定的技术问题。
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公开(公告)号：CN110275136A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910689346.X
申请日：2019-07-29
Applicant: 南昌航空大学
IPC: G01S5/16
Abstract: 本发明公开了OPS设备技术领域的一种网络状结构分布式传感光纤定位方法，步骤一：器材准备：四路激光器和四路传感光纤；步骤二：器材校验：通过辅助设备测试四路激光器和四路传感光纤，测试是否符合正常性能；步骤三：数据计时：四路激光器以—定的重复频率发出等宽度的脉冲，脉冲入射到四路传感光纤中，假设从脉冲入射到光纤初始位置时开始计时，则入射光从入射到光纤散射点位置处发生散射，并且散射光从散射点处返回到光纤初始端。精确性高，通过四路网络状结构精确定位，避免传统方法当光纤某处有故障或者衰减变化时，采集到的背向瑞利散射光的强度会发生变化，导致定位不精准。
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公开(公告)号：CN110095948A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910377307.6
申请日：2019-05-03
Applicant: 南昌航空大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于组合DMD的光纤器件数字光刻方法，该方法通过将两个DMD调制的反射光同时通过同一个精缩物镜投影到光纤端面的同一个位置，两个DMD产生主、副数字掩模用以组合控制精缩投影到光纤端面的曝光剂量，涂覆光刻胶的光纤端接收曝光剂量后，经显影、定影、刻蚀后，在光纤端形成微光学器件。本发明通过主副两个DMD形成的组合数字掩模共同调制的曝光剂量分布，突破了单个DMD对曝光剂量的调制量级，可以更好的响应光纤器件中的大曲率结构，从而实现光纤器件精细数字光刻，相比于传统的高能束逐点加工方法，基于组合DMD的数字光刻方法是一种短周期、低成本、高精度的光纤器件加工方法。
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公开(公告)号：CN110044471A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910408495.4
申请日：2019-05-16
Applicant: 南昌航空大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明提供了一种三角形正交矢量水听器，包括两个垂直连接的纤毛式微结构，每个所述纤毛式微结构均包括一个三角形衬底、三个悬臂梁、六个压敏传感器、两个定值电阻和一根纤毛，三个所述悬臂梁的一端均与所述三角形衬底的内壁连接而另一端相交于所述三角形衬底的中心，六个所述压敏传感器均布在三个所述悬臂梁上且阻值均相等，两个所述定值电阻设置在所述三角形衬底的底面，所述纤毛的底端与三个所述悬臂梁相交的一端垂直连接，两个所述纤毛式微结构垂直组合后可测得三维方向上的信号。本发明通过设置两个垂直连接的纤毛式微结构，且每个纤毛式微结构采用新型的三角形结构形式，这样可测得三维方向上的信号。
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公开(公告)号：CN108319115A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810166501.5
申请日：2018-02-28
Applicant: 南昌航空大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于虚拟层动态调制的二元数字掩模光刻方法，该方法通过预先计算的二维图形构建的虚拟层逐行控制SLM的一行微元，每一幅虚拟层图形独立、逐行循环控制固定的一行SLM微元，将所有虚拟层逐行动态调制的多帧二元数字掩模进行动态曝光以形成复杂微结构轮廓。本发明通过合理设置虚拟层的行数，可以有效提高曝光剂量线的离散阶数，从而实现微结构纵向的精细制作；通过二值化的虚拟层逐行动态控制SLM一行的数字掩模，仅以两个边界灰度值来调制SLM微元，可以有效避免SLM灰度对曝光剂量的非线性调制，从而提高数字光刻制作精细度。
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公开(公告)号：CN103399037B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201310342113.5
申请日：2013-08-08
Applicant: 南昌航空大学
Abstract: 一种基于电磁感应加热激励的管材红外检测方法，其特征是在铁磁性棒材的一端均匀缠绕绞合漆包线作为线圈，另一端则穿过待检测的管材，然后利用铁磁性夹具夹住棒材两端形成闭合磁轭，并在线圈两接头上通高频电流进行电磁感应加热，加热同时将两红外热像仪以180度夹角置于管材两侧以便观察其表面温度分布特性随时间的变化，从而探测管材中的缺陷。本发明的优点是：加热装置成本低、结构简单，而且加热均匀、效率高，能很好的从管材表面温度分布特性中检测到腐蚀裂纹、夹杂、气孔等表面及内部缺陷。
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