-
公开(公告)号：CN103759643B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201410030738.2
申请日：2014-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于双芯光纤光栅的二维微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括宽频光源、光谱分析仪、光环形器、控制计算机、多路光开关和外部参考光栅，两根单模光纤分别将多路光开关与双芯光纤扇出器连通，双芯光纤的一端连接在双芯光纤扇出器上，在双芯光纤的另一端部上通过探针夹持器固装双芯光纤光栅探针，所述双芯光纤与双芯光纤光栅探针连接形成通路；所述方法是控制计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量光纤光栅的反射光谱，并利用差分数据处理算法，实现无温度耦合的二维微尺度测量。本发明具有精度高、接触力小、不受遮蔽效应影响、探针使用寿命长的特点。
-
公开(公告)号：CN104677292A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510111225.9
申请日：2015-03-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于线性腔光纤激光器的四芯光纤光栅探针微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；四根单模光纤通过四芯光纤扇出器和四芯光纤分别将多路光开关与四芯光纤光栅探针连通，四芯光纤光栅探针中的光纤光栅和外部参考光栅通过多路光开关切换分别作为线性腔光纤激光器的波长选择器件，外部参考光栅的初始中心波长、四芯光纤光栅探针中光纤光栅的初始中心波长与光纤光栅的初始中心波长应满足四芯光纤光栅探针线性工作条件；通过计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量线性腔光纤激光器输出激光波长，利用差分数据处理算法实现无温度耦合的三维微尺度测量；本发明具有传感供能为一体、系统紧凑、灵敏度高的特点。
-
公开(公告)号：CN104677282A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510107908.7
申请日：2015-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光纤环形激光器的五芯光纤光栅探针微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括泵浦源、波分复用器、掺铒光纤、饱和吸收体、多路光开关、外部参考光栅、五芯光纤光栅探针、计算机、光谱分析仪，泵浦源通过波分复用器与掺铒光纤、环形器、耦合器及隔离器B构成的环形腔连接，耦合器通过隔离器A与光谱分析仪、计算机连接形成通路；所述方法是计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量五芯光纤光栅探针和外部参考光栅作为激光波长选择器件时光纤环形激光器输出的激光波长，利用差分数据处理算法实现无温度耦合的三维微尺度测量；本发明具有传感供能为一体、系统紧凑、灵敏度高的特点。
-
公开(公告)号：CN102589422B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201110456022.5
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器属于传感器；在装配台上依次安装第一、二、三、四、五、六、七连接架，四维调整架、分光镜、折反式长焦系统A、折反式长焦系统B、五维调整架、光电接收器B、光电接收器A分别装配在第一、二、三、四、五、六、七连接架上，在四维调整架上装配激光光源，在五维调整架上安装带有光纤探针测头的光纤探针测杆，数据传输线将光电接收器A和光电接收器B分别与数据采集处理器连接；本传感器具有二维传感信息零耦合、能进行二维方向探测、测力小、易小型化、测量深径比大、实时性好、易应用的特点，在对微内尺寸和三维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
-
公开(公告)号：CN103900466A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118360.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于偏振态检测的温度自补偿双光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；传感器包括偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量探针、偏振态检测装置、温度补偿装置、计算机，其中偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量探针依次排列，偏振光发生装置的出射光光轴与测量探针的入射光光轴重合，偏振态检测装置A位于测量探针的出射光经半透半反棱镜后的反射光路光轴A上，偏振态检测装置B位于参考探针的出射光经反射镜B反射后的反射光路光轴B上，当偏振态检测装置A检测到的光束的偏振态相对于偏振态检测装置B检测到的偏振态的差值发生变化时，测量探针与待测微孔发生触测；本传感器具有温度补偿功能、精度高、速度快。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103759653A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410030740.X
申请日：2014-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于五芯光纤光栅的三维微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括宽频光源、光谱分析仪、光环形器、控制计算机、多路光开关和外部参考光栅，五根单模光纤分别将多路光开关与五芯光纤扇出器连通，五芯光纤的一端连接在五芯光纤扇出器上，在五芯光纤的另一端部上通过探针夹持器固装五芯光纤光栅探针，所述五芯光纤与五芯光纤光栅探针连接形成通路；所述方法是控制计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量光纤光栅的反射光谱，并利用差分数据处理算法，实现无温度耦合的三维微尺度测量。本发明具有精度高、接触力小、不受遮蔽效应影响、探针使用寿命长的特点。
-
公开(公告)号：CN102354050B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201110290111.7
申请日：2011-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 柔性辅助臂跟随超高角灵敏度高频响微角摆控制反射镜属于光束控制装置；包括镜架组件、柔性辅助臂跟随偏转机构、驱动机构、以及控制系统，镜架组件固定于柔性辅助臂跟随偏转机构的刚性横梁上，入射光束经镜架组件中的反射镜后出射，控制系统控制驱动机构推动刚性横梁，使反射镜发生角度偏转，实现出射光束的方向控制；位移传感器将反射镜转角信息反馈给控制系统；在靠近压电陶瓷驱动点的位置增加柔性辅助臂，并通过支点铰链与刚性横梁相连，支点铰链保证刚性横梁在偏转时不发生变形，实现超高角灵敏度，柔性辅助臂在偏转时对刚性横梁提供一个大的辅助回复力，提高动态响应速度；本发明具有角灵敏度高、动态跟踪响应速度快的特点。
-
公开(公告)号：CN102679945A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210180935.3
申请日：2012-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三点反射合作的卫星指向与姿态测量方法与装置属于测量测试领域中角度测量技术；该装置在待测小卫星上配置了三个角锥棱镜，此三个角锥棱镜在平面内构成法向量不随待测小卫星转动而发生改变的直角三角形，基准小卫星的激光器正对着三个角锥棱镜构成的直角三角形斜边中点位置，建立待测小卫星上处于直角边上的两个角锥棱镜间的距离与它们在基准小卫星上的投影距离的数学关系，该方法利用这种数学关系对待测小卫星相对基准小卫星的基线偏转角和空间姿态角进行测量；该装置和方法仅通过对待测小卫星相对基准小卫星的角度进行测量就可以间接获得待测小卫星相对于基准小卫星的指向和空间姿态，测量装置简单，测量结果准确。
-
公开(公告)号：CN102176088B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201110021730.6
申请日：2011-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 偏振光角锥靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置，属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，本发明为解决已有方法与装置中的不足，实现高精度光电自准直角度测量。本发明基于角锥组合靶标的共光路漂移量监测分离装置利用激光的偏振特性，将偏振分光镜、角锥反射镜和测量反射镜固化成角锥组合靶标，在获取二维角度变化量的同时分离出与测量光束特性完全相同、且与测量光束共光路传输的参考光束；控制器根据参考光束反映的漂移量实时控制二维光束偏转装置，抑制耦合在测量光束中的漂移量，实现二维角度变化量的精密测量。实现该方法的装置包括：二维光电自准直光管、基于角锥组合靶标的共光路漂移量监测分离装置、控制器和二维光束偏转装置。
-
公开(公告)号：CN102419517A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110377972.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子1与第一工件台固联，Y向第四直线电机动子与第二工件台固联，Y向直线运动单元和X向直线运动单元在曝光工位构成双导轨双驱结构；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短、结构刚度大和曝光工位质心驱动等优点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
196
records
(took 0.029 seconds)
