无阀微泵及其封装方法
    21.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1329659C

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200410043699.6

    申请日:2004-07-12

    Abstract: 本发明提供的是无阀微泵及其封装方法。首先制作好微泵泵体,在泵体的腔体处同心地放置一个环形密封弹性垫,在环形密封弹性垫上同心地放好压电陶瓷蜂鸣片,压电陶瓷蜂鸣片的PZT面朝腔体外,在压电陶瓷蜂鸣片上同心放置一个金属环,使用夹具将各零部件自上而下地压紧,然后,用密封树脂胶将金属环至泵体的各零部件进行胶接、固化。本发明具有密封性能好、工作稳定、可靠性高、便于批量生产等优点。本发明的产品可广泛应用于可用于微型飞机、微型航天器发动机的推进控制,以及微化学分析、生物医药等领域。

    微型液体甲醇燃料电池
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1295807C

    公开(公告)日:2007-01-17

    申请号:CN200410043700.5

    申请日:2004-07-12

    CPC classification number: Y02P70/56

    Abstract: 本发明是一种微型液体甲醇燃料电池。包括一个膜电极和位于膜电极两侧的双极板,双极板与膜电极相对应的一侧上含有与膜电极相对应的流场、另一侧上含有与流场相通的液体导流通道,流场中设置有支撑点,流场上淀积有作为收集电子及电池电极引出线的金属薄膜,双极板外键合有玻璃密封层,双极板与膜电极组装在一起,其端部有密封树脂胶。此种电池的整体厚度小于3mm。同时,通过MEMS工艺技术加工制作的双极板,可以有效的完成流场的结构和电流收集,并可有效缩小燃料电池的体积和便于批量加工。

    硅平面型功率晶体管管芯制造方法

    公开(公告)号:CN1004737B

    公开(公告)日:1989-07-05

    申请号:CN87102729

    申请日:1987-04-14

    Abstract: 在对硅平面型功率晶体管管芯cb结低击穿、管道击穿、多段击穿、大漏电,以及ce结穿通等产生原因的研究分析的基础上,提出一种刻蚀沟槽和低温钝化相结合的刻槽硅平面型功率晶体管管芯制造技术。大幅度的提高功率晶体管管芯的合格率和高档品率,并使整批管芯cb结击穿电压均一化,改善管芯电性能等。

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