光信息记录介质用母盘的制造方法、该母盘的圆盘

    公开(公告)号:CN100390886C

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200410068340.4

    申请日:2004-08-31

    CPC classification number: G11B7/263 G11B7/24 G11B7/261

    Abstract: 一种光信息记录介质用母盘的制造方法,包括:通过曝光使具有蚀刻层(102)以及形成在蚀刻层(102)上的光致抗蚀剂层(103)的原盘的光致抗蚀剂层(103)的特定部分(104)的结晶状态发生变化的工序;去除特定部分(104)的工序;去除与在光致抗蚀剂层(103)的去除部分重叠的部分蚀刻层(102)的工序;去除光致抗蚀剂层(103),形成导电膜(105)的工序;以导电膜(105)作为电极进行电铸的工序;从导电膜(105)剥离蚀刻层(102)的工序。

    光信息存储媒体的原盘制造方法

    公开(公告)号:CN100367387C

    公开(公告)日:2008-02-06

    申请号:CN200410047691.7

    申请日:2004-05-26

    CPC classification number: G11B7/261 G11B7/24 G11B7/24076 G11B7/24085 G11B7/263

    Abstract: 本发明涉及光信息存储媒体的原盘制造方法,它利用热模式记录法,使用由基板(101)、因曝光状态发生变化的感热材料层(102)以及与感热材料层相接触配置的至少有一层的记录辅助层(103)所构成的记录原盘,通过任意的选择记录辅助层的热传导率、光学常数以及厚度等,用热学或光学的方法来控制感热材料层的曝光状态,从而容易的控制形成在原盘上的凹凸图形的截面形状。

    光信息记录介质的压模的制造方法

    公开(公告)号:CN1573999A

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN200410061636.3

    申请日:2004-06-23

    CPC classification number: G11B7/261 G11B7/263

    Abstract: 一种光信息记录介质的压模的制造方法,在基板(1)上形成由无机材料构成的抗蚀剂(2)而成的记录原盘(3)上,进行曝光及显影,制作具有凹凸图形的原盘(6)。然后,在原盘(6)的凹凸图形上,利用旋转涂布法等形成有机层(7)。另外,在有机层(7)的上面形成导电膜(8),通过在导电膜(8)的上面实施电镀,形成金属层(9)。之后,从原盘(6)只剥离金属层(9)或者剥离金属层(9)及导电膜(8),制造具有形状与原盘(6)的凹凸图形相补的凹凸图形的压模(10a)或(10b)。本发明提供即使在采用无机材料作为抗蚀剂的情况下,在形成金属层时也能够防止无机材料与导电膜及金属层反应或电分解的光信息记录介质的压模的制造方法。

    光信息记录介质的压模的制造方法

    公开(公告)号:CN100373487C

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:CN200410061636.3

    申请日:2004-06-23

    CPC classification number: G11B7/261 G11B7/263

    Abstract: 一种光信息记录介质的压模的制造方法,在基板(1)上形成由无机材料构成的抗蚀剂(2)而成的记录原盘(3)上,进行曝光及显影,制作具有凹凸图形的原盘(6)。然后,在原盘(6)的凹凸图形上,利用旋转涂布法等形成有机层(7)。另外,在有机层(7)的上面形成导电膜(8),通过在导电膜(8)的上面实施电镀,形成金属层(9)。之后,从原盘(6)只剥离金属层(9)或者剥离金属层(9)及导电膜(8),制造具有形状与原盘(6)的凹凸图形相补的凹凸图形的压模(10a)或(10b)。本发明提供即使在采用无机材料作为抗蚀剂的情况下,在形成金属层时也能够防止无机材料与导电膜及金属层反应或电分解的光信息记录介质的压模的制造方法。

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