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公开(公告)号：CN108203838A
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201711375258.X
申请日：2017-12-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供镀覆装置、镀覆方法及可计算机读取的记录介质。本发明使基板表面的亲水性提高，并且抑制各基板的亲水性的程度不均。镀覆装置对具有抗蚀剂图案的基板进行镀覆处理。该镀覆装置具有：使基板的表面与前处理液接触的前处理单元；及对使被处理面与前处理液接触的基板进行镀覆处理的镀覆槽。前处理单元具有：将基板的被处理面保持朝向上方的保持台；构成为使保持台旋转的电机；构成为对被处理面照射紫外线的亲水化处理部；以及构成为对由亲水化处理部亲水化后的被处理面供给前处理液的前处理液供给部。
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