公开(公告)号：CN1498691A

公开(公告)日：2004-05-26

申请号：CN200310101492.5

申请日：2003-10-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 神山信明 ,  高桥隼人

IPC: B05C5/00 ,  B05C5/02 ,  B05D1/02 ,  B05D3/00 ,  B41J2/01 ,  B41J2/07 ,  G02F1/13 ,  H01J31/10

CPC classification number: H01L21/67253 ,  B41J2/125 ,  B41J29/393 ,  B41J2202/09 ,  H01L21/6715

Abstract: 本发明提供一种器件制造装置和器件制造方法。该器件制造装置(IJ)具有：喷出包含功能性材料的液状体的喷头(1)、支撑被喷到液状体的基板(P)并可以相对喷头(1)进行移动的台面装置(2)、运送基板(P)的运送装置(3)、检测从形成在喷头(1)上的喷嘴(11)喷出的液状体的喷出状态的检测装置(30)、在运送基板(P)的动作中、控制检测装置(30)进行检测动作的控制装置(CONT)。