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公开(公告)号：CN101441986A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200810130875.8
申请日：2008-08-21
Applicant: LG电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种利用大气压等离子体的表面处理装置及在该装置的下部电极组装体的制造方法，其中，本发明的表面处理装置构成为结构要素的分解及组装容易的组装式，其容易进行如电极更换等维修，并通过调整容易拆装的隔离物的厚度，容易调整上部电极和下部电极之间的间隔，进而通过可直接或间接冷却上述上部电极及下部电极的冷却系统，可以有效冷却在上述上部电极及下部电极产生的热量，从而防止热化引起的损伤，使可能在上述上部电极及下部电极发生的电弧现象最小化。
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