公开(公告)号：CN201106063Y

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200720015656.6

申请日：2007-10-31

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 王亮 ,  李杨 ,  孙俊才 ,  吴雪敏

IPC: C23C8/38

Abstract: 本实用新型一种奥氏体不锈钢电子束辅助等离子体表面改性设备属于材料表面改性的技术领域，该设备包括真空炉、空心阴极装置、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统和冷却系统。对工件表面进行处理时，空心阴极装置内产生空心阴极效应，进而产生低能电子束，电子束被引入真空炉中，在阳极下，电子束的电子发生分散，使反应气体分解、离化，在阴极偏压作用下，产生的正离子等轰击工件达到渗氮效果。本实用新型也适用于铁、铝、钛及其合金材料的表面改性处理。本实用新型的有益效果是：工件表面渗氮速度快，工件偏压低，工艺易控制，设备简单，成本低。

公开(公告)号：CN201082898Y

公开(公告)日：2008-07-09

申请号：CN200720014653.0

申请日：2007-09-19

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 王亮 ,  李杨 ,  孙俊才 ,  吴雪敏

IPC: C23C8/36

Abstract: 本实用新型的一种新型真空表面强化设备属于等离子体表面改性的技术领域。该设备包括真空炉、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统、冷却系统、载物台和绝缘体，其特征在于，还包括一个位于真空炉内的双层圆筒，该双层圆筒通过绝缘体与炉体电绝缘，载物台位于双层圆筒内，并与炉体电绝缘，供电系统的阴极与双层圆筒电连接。对工件表面进行强化处理时，将工件放于载物台上，接通直流高压电源后，炉体作为电源阳极，双层圆筒作为电源阴极，利用双层圆筒的空心阴极效应对工件表面进行渗氮处理。本实用新型的有益效果是：工件表面渗氮速度快，工艺简单，保持工件表面原有光洁度，工件表面化合物层厚、致密度高，设备简单，成本低。