红外二氧化碳传感器测量系统及其温度补偿方法

    公开(公告)号:CN113484268A

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN202110862605.1

    申请日:2021-07-29

    Abstract: 本发明公开了一种红外二氧化碳传感器测量系统,包括传感器本体,传感器本体内部设有光源驱动电路、气孔、气室、环境温度感应电路、光源温度感应电路、光源、敏感元、信号处理电路及核心控制电路,光源固定于气室的内部且位于气室的一端,信号处理电路位于气室的另一端且信号处理电路至少部分位于气室内部,敏感元与信号处理电路连接,且敏感元与光源相对设置,气孔位于气室的外侧面,气孔与气室相连通,光源驱动电路与光源连接,光源温度感应电路与光源连接,信号处理电路与核心控制电路连接,环境温度感应电路与核心控制电路连接,光源温度感应电路与核心控制电路连接,光源驱动电路与核心控制电路连接。利用本发明能够提高传感器测量的精度。

    便携式红外传感器气室
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113466134A

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202110862600.9

    申请日:2021-07-29

    Abstract: 本发明公开了一种便携式红外传感器气室,盒体和壳体,盒体为上端开口,壳体为下端开口,当盒体与壳体卡接时,盒体的下端与壳体的上端之间形成气腔,盒体为圆柱形结构,盒体的内径为d1,盒体内设有圆弧形隔板,圆弧形隔板所在圆的内径为d2,且d1>d2,盒体的圆心O1和圆弧形隔板的圆心O2之间的距离ΔL>0。本发明的便携式红外传感器气室,通过将盒体的圆心O1和圆弧形隔板的圆心O2之间的距离ΔL设置为大于零,使得红外传感器气室的体积虽然减小了但是红外光源发出的红外光的光程仍然可以达到一个适合的值,从而保证红外传感器的测量精度,并且红外光在气室内的反射次数较少,光能的损耗较小。

    一种抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN112162015A

    公开(公告)日:2021-01-01

    申请号:CN202010931457.X

    申请日:2020-09-07

    Abstract: 本申请揭示了一种抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法,该方法包括:在氧化层的表面沉积形成一层金属电极层;利用化学气相沉积法,在金属电极层的表面沉积一层绝缘层;在绝缘层表面沉积一层气敏材料层;利用涂布或印刷的方式,在气敏材料层表面沉积一层分离膜,分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径。本申请通过在制作MEMS气体传感器时,增加了分离膜,该分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径,从而使得干扰气体分子在分离膜的纳米通道内发生大量碰撞,无法通过分离膜,从而实现对干扰气体的阻隔,避免干扰气体对传感器内敏感材料的影响,提高了热式传感器的准确性,使热式传感器对目标气体选择性较好。

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