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公开(公告)号：CN222653934U
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202421348938.8
申请日：2024-06-13
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
Inventor： 杨善
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本实用新型公开了一种半导体晶圆制造用抓取装置，属于晶圆抓取技术领域，一种半导体晶圆制造用抓取装置，包括第一箱体和吸盘，所述第一箱体内设有升降机构，所述升降机构用于驱动吸盘移动，所述吸盘底部中心设置凹槽，所述凹槽内安装有CCD相机；所述第一箱体的内壁安装有激光对射传感器，当所述吸盘移动到第一箱体内时，吸盘底部与激光对射传感器平齐；吸盘底部晶圆与激光对射传感器平齐，启动激光对射传感器，在输送转移过程中，一旦激光对射传感器接收端接收到激光，就说明晶圆已经脱落，然后及时报警，工人可以及时采取有效措施。
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公开(公告)号：CN222326093U
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202323438505.X
申请日：2023-12-18
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种管道超声波清洗用气囊定位机构，属于管道清洗领域。一种管道超声波清洗用气囊定位机构，包括安装架，还包括：两个对称设置的安装管，分别固定连接在所述安装架的两端，其中，两个所述安装管的轴线共线设置，两个所述安装管上均可拆卸安装有多个圆周分布的弹性气囊；本实用新型可以方便地将清洗装置定位到管道的中部，保证清洗效果，并且可以使整个清洗装置适应不同直径的管道，使用更加的灵活。
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公开(公告)号：CN222184612U
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202420825686.7
申请日：2024-04-20
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种密封门结构，属于密封技术领域。一种密封门结构，包括用于封闭腔室的门板，还包括：导向架及转动连接在导向架上的可以伸缩的驱动部，沿导向架长度方向滑动连接有安装架，门板(4)连接在安装架上，呈“L”形的锁板，锁板短段的端部与驱动部的输出端转动相连，长段的端部转动连接在安装架上，且长段上通过转接部与门板转动相连，当驱动部工作时，门板所在平面与导向架所在平面平行或相交；本实用新型通过滑动方式驱动的锁板组成连杆机构，使门板对腔室进行开启和封闭，在门板滑动至腔室开口处可以通过驱动锁板带动门板转动扣在腔室开口处，可以防止密封条错动，有效提升了门板启闭顺畅和密封可靠性。
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公开(公告)号：CN222183521U
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202420906922.8
申请日：2024-04-28
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种双向流道泵站循环供水管路，属于供水系统技术领域。一种双向流道泵站循环供水管路，包括至少两组储水部，两组储水部的下方和上方分别通过管道连通，且管道上设置有控制部，两根管道之间通过循环部连通，形成交叉循环供水，还包括内置有水处理材料的水处理部，设置在管道的出水口；本实用新型通过两根管道连通且两根管道通过循环部连通形成循环水路，配合控制部，可以有效地形成双向流道的供水，保证两个储水部之间的水位可控，简单且方便快捷，并且对交换或进入储水部的水进行简单的处理，可以根据需求进行降低水垢、减缓管路腐蚀等，有效减少水中杂质清理频率，保证管路长时间稳定运行。
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公开(公告)号：CN221559233U
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202323084158.5
申请日：2023-11-15
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种管道超声波清洗反推机构，属于管道清洗领域。一种管道超声波清洗反推机构，包括条形支架，还包括：喷气筒，固定连接在所述条形支架的一端，其中，所述喷气筒的一端开设有喷气孔，所述喷气筒上设有对喷气筒供气的气管组件，所述气管组件包括固定连接在所述喷气筒轴端的柔性管，所述柔性管的排气端固定连接有延伸至喷气筒内的输气管；本实用新型可以方便地使清洗设备在管道内移动，并且结构简单，体积更小，适合各种小管径的管道。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN222356122U
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202421046554.0
申请日：2024-05-14
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
Inventor： 杨善
IPC: H02K7/10 , H02K7/075 , H02K11/00 , H01L21/67 , H01R13/629 , H01R13/508
Abstract: 本实用新型涉及一种半导体清洗技术领域，尤其涉及一种半导体晶圆清洗设备用驱动装置，包括有箱体、储水箱、水泵、喷头、第一固定块、伺服电机和夹紧组件，箱体后侧连接有储水箱，储水箱上侧安装有水泵，水泵上部安装有喷头，箱体左右均连接有第一固定块，第一固定块上部安装有伺服电机，伺服电机输出轴连接有夹紧组件。本实用新型设有伺服电机、夹紧组件和喷头等部件，使用时伺服电机输出轴带动转动盘旋转，进而使得晶圆旋转，而在楔形块弧型边缘的作用下，上夹块和下夹块轮流对晶圆进行夹紧，避免了因旋转而导致夹具遮挡而不能对晶圆的整个表面进行完全冲洗，同时设有风干机对冲洗后的晶圆进行干燥，使用起来便捷简单。
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公开(公告)号：CN222306614U
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202420866209.5
申请日：2024-04-24
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转喷淋装置，属于喷淋设备技术领域。一种旋转喷淋装置，包括箱体及转动连接在箱体内的喷淋管，所述箱体的顶部设置有进水筒，所述进水筒内转动连接有驱动筒，且进水筒与驱动筒之间形成空腔，其中，所述驱动筒延伸至箱体内，所述驱动筒的侧壁开设有至少两组排通孔，其中一排通孔与空腔相连通，另一排通孔与喷淋管相连通，当水从其中一排通孔进入，从另一排通孔排出时，驱动筒旋转；本实用新型通过驱动筒的水流进出推动驱动筒绕自身轴线旋转，从而带动喷淋管转动，进而取代电机驱动喷淋管旋转的方式，不仅可以大大降低功耗和维护成本，还可以通过进入水压大小来调节喷淋管的转速，从而更好地对零部件进行清洗。
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公开(公告)号：CN222112825U
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202420092985.4
申请日：2024-01-15
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种金刚石清洗装置，属于金刚石清洗领域。一种金刚石清洗装置，包括机架，所述机架内部固定连接有槽体，所述槽体下部固定连接有支撑网板，所述槽体上部固定连接有定位板，所述定位板端面开设有定位槽，所述定位槽内插接有搅拌桶，所述槽体底部固定连接有超声波震头；本实用新型通过传动马达、主动轮、从动轮、传动轴、搅拌杆以及搅拌叶的设置，使得金刚石粉末均匀的分散在搅拌桶内，全面的与药剂相接触，实现了全面的清洗，有效避免金刚石粉末沉积在搅拌桶底部的情况，提高了对金刚石的清洗效果，并且通过加热管对槽体内清水进行加热，以此对搅拌桶的药剂进行水浴保温，确保药剂发挥最佳的使用效果，进一步提高了清洗效果。
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公开(公告)号：CN222619703U
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202421263303.8
申请日：2024-06-04
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
Inventor： 杨善
Abstract: 本实用新型公开了一种半导体晶圆清洗设备用紧急保护装置，属于晶圆加工技术领域。一种半导体晶圆清洗设备用紧急保护装置，包括清洗座，还包括：固定在清洗座侧壁的安装板，所述安装板上设置有沿安装板平直段滑动的冲洗管，所述冲洗管上设置有对冲洗管内部水流进行紧急截断引流的保护部，其中，所述保护部包括转换管，所述转换管贯穿固定在冲洗管上部，且所述冲洗管与转换管内腔连通；本实用新型通过转换管、滑动柱、通水槽、引流槽、导流槽以及复位弹簧之间的配合，在驱动电机故障停转时，将连接管内的水流进行截断，避免清洗水流持续对半导体晶圆的单一位置进行冲刷，实现紧急停机保护，提高了对半导体晶圆的保护效果。
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公开(公告)号：CN222020246U
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202323505536.2
申请日：2023-12-22
Applicant: 深圳洁盟技术股份有限公司
IPC: B08B3/12
Abstract: 本实用新型公开了一种管道用超声波清洗装置，属于管道清洗领域。一种管道用超声波清洗装置，包括第一支撑板，还包括：带有固定座的超声波换能器，固定安装在所述第一支撑板上，其中，所述超声波换能器的输出端可拆卸安装有震动头，所述第一支撑板上设有防护部件，所述防护部件用于隔离超声波换能器与震动头；本实用新型可以通过超声波对管道清洗会更加的全面无死角，清洗效果显著提升。
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