模具的制造方法及防反射膜的制造方法

    公开(公告)号:CN107148335B

    公开(公告)日:2019-04-30

    申请号:CN201580059895.9

    申请日:2015-10-30

    Abstract: 一种具有从表面的法线方向看时二维大小是10nm以上且不满500nm的多个凹部的表面的模具的制造方法,包含:工序(a),准备模具基材(10);工序(b),通过将铝合金层(18)部分进行阳极氧化,形成具有多个凹部(14p)的多孔氧化铝层(14);工序(c),通过将多孔氧化铝层接触蚀刻液,扩大多个凹部;工序(d),检测形成于多孔氧化铝层或基材表面的突出部(210);工序(e),判定检测的突出部的高度是否比预先设定的高度高;以及工序(f),在工序(e)中,在判定高的情况,通过照射激光于突出部,使突出部的高度比预先设定的高度低。

    模具的再利用方法
    43.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106062257A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201580010932.7

    申请日:2015-02-27

    Abstract: 模具的再利用方法具有:工序(a),其准备模具(100u),该模具(100u)具有铝基材(12)、无机材料层(16)、铝残存层(18r)和多孔氧化铝层(14),铝基材(12)被实施了机械式镜面加工,无机材料层(16)形成于铝基材(12)的表面,铝残存层(18r)形成于无机材料层(16)上,多孔氧化铝层(14)形成于铝残存层(18r)上,多孔氧化铝层(14)是通过对铝膜(18)的表面进行阳极氧化而形成的,铝残存层(18r)是在铝膜(18)内未进行阳极氧化而残留的;工序(b),其通过对模具(100u)的铝残存层(18r)实质上完全进行阳极氧化而形成阳极氧化铝层(18a);以及工序(c),其在工序(b)后蚀刻阳极氧化铝层(18a)。

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