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公开(公告)号：CN111096071A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201780094363.8
申请日：2017-09-04
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供一种蚀刻装置(1)，具有：药液处理槽(20)，其在内部输送基板(2)；和喷射部(21)，其配置在药液处理槽(20)的内部，具有朝向与基板(2)的表面不相交的方向的吹出口(22)，并且通过吹出口(22)喷射雾状的蚀刻剂药液(22)。
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