一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置

    公开(公告)号:CN103727548A

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201310678781.5

    申请日:2013-12-14

    Abstract: 本发明公开一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置,包括通过管道依次连通的变频废气风机(1)、焚烧炉(2)、高温静电除尘装置(3)、洗涤塔(4)、重力脱水装置(5)与引风机(6);通过各个废气处理装置的有序配合,处理高温、酸性、含尘、含氟的镀膜废气;洗涤塔(4)废液出口及重力脱水装置(5)出水口还连通有回水池(9),回水池(9)通过抽液泵(13)与冷却塔(14)与供液池(8)构成循环通路,使洗涤塔(4)中未反应完全的碱液循环利用,反应完全后的废液经泥浆泵(15)抽至压滤机(16),通过压滤机(16)的固液分离,使滤液进入废水池(10)后再经废水泵(17)喷入焚烧炉(2)燃烧处理,滤渣可回收利用,从而实现了在镀膜废气处理过程中产生废水的循环净化,达到无污染排放的目的。

    氟掺杂氧化锌透明导电膜玻璃的生产方法

    公开(公告)号:CN102249551A

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN201110160748.4

    申请日:2011-06-15

    Abstract: 本发明公开一种氟掺杂氧化锌透明导电膜玻璃的生产方法,在热玻璃传送辊道上方装有化学气相沉积镀膜反应器,将玻璃基板加热到设定温度后,通过传送辊道输送到化学气相沉积镀膜反应器下方,锌源、氟源以及氧源气化后由热载气携带到化学气相沉积镀膜反应器进行气体的混合和分配,并向移动中的玻璃基板表面沉积高透低电阻的氟掺杂氧化锌透明导电膜,随后进行退火冷却,保证膜层晶核充分生长。本发明利用常压化学气相沉积法,在移动的热玻璃表面沉积高可见光透过率、低电阻的氟掺杂氧化锌透明导电膜,可以结合浮法玻璃生产线进行大面积的连续的生产,生产的透明导电膜玻璃可广泛应用于太阳能电池、液晶平板显示器、节能窗户及超导体等领域。

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