公开(公告)号：CN101777481A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200910266872.1

申请日：2004-06-14

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·班威尼斯特 ,  R·拉斯梅尔 ,  黄扬强

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J2237/057

Abstract: 披露一种用于离子束的磁性偏转器，所述磁性偏转器包含第一与第二线圈。分别将线圈定位于射束的上方与下方，并且沿着射束的宽度进行延伸。电流通过线圈，用以在其间产生沿着大体上射束整个宽度而大致垂直于射束行进方向的磁场。在本发明的另一个方面中，披露一种在注入工件之前用来偏转射束的方法。该方法包含判断与射束相关联的一个或者多个特性，并且基于判断而有所选择地致动磁性偏转模组与静电偏转模组中的一种。

公开(公告)号：CN101371327A

公开(公告)日：2009-02-18

申请号：CN200780002657.X

申请日：2007-01-19

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 肯尼士·H·波什 ,  阿塔尔·古普塔

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/147 ,  H01J37/3007 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/30477 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明是有关一种用于改善带状离子束的均一性的技术。在一特定例示性实施例中，装置可包含第一修正器条总成以及第二修正器条总成，其中第二修正器条总成位于距第一修正器条总成一段预定距离处。第一修正器条总成中的第一多个线圈中的每一个可经个别地激励以使带状离子束中的至少一细离子束偏转，藉此使细离子束以所要空间扩展来到达第二修正器条总成。第二修正器条总成中的第二多个线圈中的每一个可经个别地激励以使带状离子束中的一个或多个细离子束进一步偏转，藉此使细离子束以所要角度离开第二修正器条总成。

公开(公告)号：CN101069260A

公开(公告)日：2007-11-07

申请号：CN200580036411.5

申请日：2005-08-24

Applicant: 西拉半导体工程实验室有限公司

Inventor： D·博古斯拉夫斯基 ,  V·彻里平 ,  C·史密思

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/3056 ,  H01J37/147 ,  H01J37/305 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/3114 ,  H01J2237/31749

Abstract: 用于对工件进行受到引导的经过多次偏转的离子束铣削并确定和控制其程度的方法、装置和系统。提供离子束；并且引导所述提供的离子束并使所述提供的离子束产生至少两次偏转从而形成受到引导的经过多次偏转的离子束，其中所述受到引导的经过多次偏转的离子束被导向、入射且撞击在所述工件的表面上并且对所述工件表面进行铣削。装置包括离子束源组件；和用于引导所述提供的离子束并使所述提供的离子束产生至少两次偏转从而形成受到引导的经过多次偏转的离子束的离子束引导和多次偏转组件，其中所述受到引导的经过多次偏转的离子束被导向、入射且撞击在所述工件的表面上并且对所述工件表面进行铣削。

公开(公告)号：CN1961400A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200580009834.8

申请日：2005-11-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 小方诚司 ,  樱田勇藏 ,  关口雅行 ,  西桥勉

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01L21/265 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/30483

Abstract: 本发明的课题是提供能抑制离子束的发散、能进行精细的扫描波形的控制、可得到约10°的大的扫描角的离子注入装置。在离子注入装置中，作成了具备如下的离子束扫描机构(10A)的结构：在离子束线上的规定部位上配置第1、第2、第3室(12A、14A、16A)，第2室(14A)，相对于第1、第3室(12A、16A)间隔第1、第2间隙(20A、22A)配置，第2室(14A)经在第1、第2间隙(20A、22A)中安装了的第1、第2这2对电极对(26A、28A)与第1、第3室(12A、16A)电绝缘，而且，第1、第2这2对电极对(26A、28A)以规定的角度与离子束的基准轴J在相反的方向上倾斜地相交，并且施加所希望的扫描波形的电位的扫描电源(40A)与第2室(14A)连接。

公开(公告)号：CN1645548A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN200510002635.6

申请日：2005-01-21

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 长野修

IPC: H01J37/147 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01J37/147 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/3175

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：生成带电粒子束的带电粒子束发生器；生成使上述带电粒子束在外部的基板上成像的透镜场的投影光学系统；围着上述带电粒子束的光轴地配置的偏转器，该偏转器生成对应于上述带电粒子束应入射上述基板的角度其强度在上述光轴方向上变化地形成的偏转场，该偏转场与上述透镜场重叠且使上述带电粒子束偏向并控制朝向上述基板照射的位置。

公开(公告)号：CN106804114B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201580034881.1

申请日：2015-06-25

Applicant: 加坦公司

Inventor： 亚历山大·约瑟夫·古本斯 ,  科林·特雷弗 ,  雷伊·达德利·特韦斯顿 ,  梅勒妮·巴费尔斯

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪，其中，电隔离漂移管延伸穿过弯转磁铁，以及穿过将光谱聚焦且放大的后续光学器件。漂移管的前端、后端或前后两端设置有静电透镜或磁透镜，根据弯转磁铁漂移管的电压调节透镜，以保持恒定的净焦距，同时避免出现散焦。特定实施例中包含有能量选择狭缝，可彻底拦截分散在入射到检测器上的能量范围外的电子，从而消除向光谱散射回的多余电子造成的假象。

公开(公告)号：CN108431939A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201780005788.7

申请日：2017-01-05

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 姜辛容 ,  C·西尔斯 ,  D·拉森

IPC: H01L21/66 ,  G03F1/86 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/147 ,  H01J37/21 ,  H01J2237/0451 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1505 ,  H01J2237/24592

Abstract: 本发明揭示一种电子束设备，其通过使热量均匀扩散于孔径光阑上来解决由高功率热量消散到孔径光阑上所导致的消隐问题。所述设备可包含孔径光阑及使电子束偏转到所述孔径光阑上的偏转器。电子束以围绕孔径的图案导引到所述孔径光阑处。所述图案可为圆形、正方形或多边形。所述图案也可包含相对于孔径的可变轨迹。

公开(公告)号：CN108122725A

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201711144530.3

申请日：2017-11-17

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： E.R.基伊夫特

IPC: H01J37/26 ,  G01N23/2202

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/147 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/2802 ,  H01J37/26 ,  G01N23/2202

Abstract: 一种使用带电粒子显微术来研究样本的方法，该方法包括以下步骤：-使用主源来产生沿着射束路径传播的带电粒子脉冲射束；-在所述射束路径中的照射位置处提供样本；-使用次源来产生样本的重复激励；-使用检测器来登记在每次所述激励之后穿过样本的所述射束中的带电粒子，其中：-所述主源被配置成由所述次源的每个激励产生一串多个脉冲；-所述检测器被配置成包括像素的集成阵列，所述像素每一个都具有单独的读出电路，以登记所述串中的单独粒子的到达时间。

公开(公告)号：CN104603078B

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：CN201380046452.7

申请日：2013-03-12

Applicant: 利拉茨有限公司

Inventor： V·利索特申克

IPC: C03C23/00 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/15 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J29/70 ,  H01J3/30 ,  H01J29/04 ,  H01J29/48 ,  H01J31/00 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/15 ,  H01J37/305 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/06308

Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束(4)的装置(20)，其包括热阴极(1)、阴极电极(2)、具有开口(6)的阳极电极(3)，由所述装置产生的电子束(4)可以穿过该开口，其中，在装置(20)运行时，在阴极电极(2)和阳极电极(3)之间施加有用于加速从热阴极(1)射出的电子的电压，所述装置还包括偏转机构，该偏转机构可以偏转穿过阳极电极(3)的开口的电子束(4)，其中，偏转机构包括至少一个偏转电极(8、12)，在所述偏转电极上电子束(4)可以被反射和/或所述偏转电极具有相对于电子束(4)的传播方向倾斜的偏转面(9)并且所述至少一个偏转电极(8、12)处于与阴极电极(2)相同的电势上。

公开(公告)号：CN104425200B

公开(公告)日：2017-09-19

申请号：CN201410369393.3

申请日：2014-07-30

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 狩谷宏行

IPC: H01J37/317 ,  G01R33/02

CPC classification number: H01J37/243 ,  G01R33/07 ,  G01R33/072 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24514 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/3045

Abstract: 本发明提供一种与磁场测定有关且有助于提高生产性的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置(100)具备配设于离子源与处理室之间的能量分析电磁铁(24)。能量分析电磁铁(24)具备：霍尔元件(110)，根据偏转磁场生成测定输出；及NMR元件(112)，生成NMR输出。离子注入装置(100)的控制部(102)具备：磁场测定部(114)，根据偏转磁场与测定输出之间已知的对应关系测定偏转磁场；磁场决定部(118)，根据NMR输出决定偏转磁场；及霍尔元件校正部(120)，利用根据NMR输出决定的偏转磁场和与该偏转磁场对应的霍尔元件(110)的新的测定输出来更新已知的对应关系。