检测二氧化碳的氯氧化镧薄膜敏感元件的制造方法

    公开(公告)号:CN1242261C

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN200310109271.2

    申请日:2003-12-11

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种检测二氧化碳的氯氧化镧薄膜敏感元件的制造方法,属于半导体传感器及敏感元件制造工艺技术领域。本发明方法主要采用溶胶-凝胶工艺,其特征在于,首先将氯化镧溶解于乙醇中形成溶液,然后加入丙烯酰胺作为分散剂,加热回流,然后在水浴中老化,得到溶胶;将事先做好金电极和氧化钌电阻加热层的氧化铝衬底浸入上述溶胶中,取出烘干;再经过热处理,即可得到氯氧化镧薄膜二氧化碳敏感元件。本发明方法制备的氯氧化镧薄膜检测二氧化碳敏感元件具有高灵敏度。本发明方法工艺简便,价格低廉,可用于检测空气质量、食品安全与火灾预警等领域。

    检测二氧化碳的氯氧化镧薄膜敏感元件的制造方法

    公开(公告)号:CN1547005A

    公开(公告)日:2004-11-17

    申请号:CN200310109271.2

    申请日:2003-12-11

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种检测二氧化碳的氯氧化镧薄膜敏感元件的制造方法,属于半导体传感器及敏感元件制造工艺技术领域。本发明方法主要采用溶胶—凝胶工艺,其特征在于,首先将氯化镧溶解于乙醇中形成溶液,然后加入丙烯酰胺作为分散剂,加热回流,然后在水浴中老化,得到溶胶;将事先做好金电极和氧化钌电阻加热层的氧化铝衬底浸入上述溶胶中,取出烘干;再经过热处理,即可得到氯氧化镧薄膜二氧化碳敏感元件。本发明方法制备的氯氧化镧薄膜检测二氧化碳敏感元件具有高灵敏度。本发明方法工艺简便,价格低廉,可用于检测空气质量、食品安全与火灾预警等领域。

    一种有机污染土壤原位蒸汽热修复模拟系统及其应用

    公开(公告)号:CN215314689U

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN202120835468.8

    申请日:2021-04-22

    Abstract: 本实用新型公开了一种有机污染土壤原位蒸汽热修复模拟系统及其应用,涉及有机污染土壤修复技术领域,该有机污染土壤原位蒸汽热修复模拟系统包括模拟柱、蒸汽发生单元、实时监测单元以及废气废液处理单元,连接上述各单元、模拟柱分层土壤装填,蒸汽发生单元调控蒸汽注入温度、流量及时间等,实时监测单元监测并记录模拟柱内不同深度的压力和温度,废气废液处理单元处理模拟柱产生的废气废液。本实用新型具有能够明确蒸汽热修复过程中压力与温度场的分布及变化,探究蒸汽在土壤中迁移规律,得出蒸汽注入温度、流量、时间和土壤类型与修复效率的对应关系,提高蒸汽修复有机污染土壤效果的优点。

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