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公开(公告)号：CN113866992B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202111060608.X
申请日：2021-09-10
Applicant: 华中科技大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种在太赫兹波段产生无衍射光束的球谐锥透镜，所述球谐锥透镜为两斜边上均具有凸起的轴棱锥透镜；所述凸起的两端点与斜边的两端点重合，所述凸起的形状基于概率密度函数确定，所述概率密度函数为球谐函数的平方。本发明提供的在太赫兹波段产生无衍射光束的球谐锥透镜，通过在轴棱锥透镜两斜边外延增加一定特殊形状的凸起，与现有的固定倾斜角的轴棱锥透镜相比，能够增加太赫兹高斯波束经过此特殊透镜时产生的波束的无衍射距离，获得更长的无衍射区域长度；从而在太赫兹成像时，在波束的无衍射距离内都可以获得物体较为清晰的像，使太赫兹成像系统具有更长的焦深，纵向测量范围大，横向分辨率高。
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公开(公告)号：CN114355464A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202110878251.X
申请日：2021-07-30
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司 , 北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
IPC: G01V8/10
Abstract: 本发明属于太赫兹技术领域，具体涉及一种小型化一体式太赫兹发射接收探头结构。该探头结构包括前面板，后面板，光电导天线，固定支架，离轴抛物面金属反射镜组，固定板，底板，保护壳。固定支架对光电导天线的角度调节和固定，固定板对离轴抛物面金属反射镜的角度调节和固定，通过调节光电导天线和离轴抛物面金属反射镜组，实现对太赫兹辐射的发射、准直、汇聚和接收。该探头对以往平面光路结构进行“折叠”处理，减小了太赫兹发射接收模块的体积，结构紧凑，便于携带、固定和使用。
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公开(公告)号：CN109030544B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201810574177.0
申请日：2018-06-06
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司 , 北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
IPC: G01N25/00 , G01N23/207 , G01K7/02
Abstract: 本发明是一种基于微型晶体晶格参数变化的最高温度测量方法，该方法是在不破坏工件表面状态，且不影响工件正常工作的条件下，通过检测微型晶体晶格参数变化、获取被测工件最高温度的特种测温技术。对中子辐照后的掺氮3C‑SiC晶体进行微型化切割加工，再对微型晶体进行不同温度、不同时间的高温退火处理后测量其晶格参数，并绘制“温度—时间—晶格体积膨胀率”测温标定曲线。使用时，将微型晶体安装于被测工件表面，待工件正常工作结束后，将微型晶体温度传感器取出并测量其晶格参数，通过查找测温标定曲线中在该加热时间、晶格体积膨胀率下所对应的温度，即可得到被测点所经历的最高温度。进一步地，通过在重点测温区域安装多个微型晶体温度传感器，可得到工件表面最高温度场的测量结果。
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公开(公告)号：CN111751314A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010424953.6
申请日：2020-05-19
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司 , 北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
IPC: G01N21/3586 , G01B11/06 , G01N21/41
Abstract: 本发明提供一种基于太赫兹的涂层厚度检测方法和装置，该方法包括以下步骤：应用反射式太赫兹时域光谱检测系统，对涂层交界处的待测量试样进行检测，同时测量太赫兹波穿过空气、穿过被检测的涂层和涂层表面反射的回波信号，作为太赫兹时域光谱的参考信号，建立太赫兹厚度方程，将第一步得到了回波信号的两个时间差分别代入到已经建立的方程中，从而得到涂层的厚度。本发明可为多层涂层厚度的高精度、快速检测提供新的检测方法。
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公开(公告)号：CN111071986A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911394242.2
申请日：2019-12-30
Applicant: 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，提供了一种激光改性辅助制备碳化硅多级微结构的方法及一种加速度传感器。本发明在碳化硅基底表面制备图案化掩膜，对具有图案化掩膜的碳化硅基底进行局部激光辐照，激光辐照区域内无掩膜遮蔽的碳化硅发生改性，改性后的碳化硅刻蚀速率远高于未经激光辐照的单晶碳化硅，利用二者的刻蚀速率差，实现碳化硅多级微结构的一次性同步刻蚀。本发明提供的方法工艺简单，可操作性强，利用该方法能够制备出具有碳化硅多级微结构的传感元件和带有光纤孔的碳化硅传感基板，二者通过键合能够实现耐高温光学式碳化硅加速度传感器的制备，解决常规加速度传感器无法在高温恶劣环境下工作的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110057463A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910183758.6
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司
IPC: G01K11/00
Abstract: 本发明是一种微型晶体温度传感器的封装及埋植方法，该方法是在需要安放传感器(1)的被测物表面(6)上，沿被测物表面(6)的方向或垂直被测物表面(6)的方向，加工一个外凹槽(2)和内凹槽(3)，外凹槽(2)的口径大于内凹槽(3)的口径，将传感器(1)粘贴于衬底(4)上，再将衬底(4)放置在外凹槽(2)和内凹槽(3)交接处的台阶面(5)上，使传感器(1)处于内凹槽(3)中且不与内凹槽(3)的内壁接触，用粘结剂填充外凹槽(2)和内凹槽(3)并与被测物表面(6)平整。该方法实现了在高速飞行器表面的传感器的可靠粘结固定，避免了测温过程中传感器脱落问题，并有利于传感器的剥离，从而进一步提高了传感器的适用性和测温的成功率。
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公开(公告)号：CN110006587A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910183714.3
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司 , 北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
IPC: G01L25/00
Abstract: 本发明是一种用于高温高压传感器的标定装置，该装置包括一个通过中空管(2)与高压釜(3)连接的高压计量泵(1)，在高压釜(3)设置待标定传感器(6)，其特征在于：在高压釜(3)内设置一个有于加热待标定传感器(6)的电阻片(4)，电阻片(4)包裹在待标定传感器(6)周围，在高压釜(3)内设置一个绝热罩(5)，电阻片(4)和待标定传感器(6)放置在绝热罩(5)内。标定时需要使用高压计量泵通过中空管对高压釜进行加压，待压力稳定到设置值时，然后给电阻片通直流电实现在高压斧中的局部快速加热，通过数据采集器读出的压力数据，便可绘制出温度-压力曲线，通过与高压计量泵显示的压力釜中的压力作对比，就可以在不同温度下对高温压力传感器进行标定。
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公开(公告)号：CN109904064A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910057428.2
申请日：2019-01-21
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司 , 北京航空航天大学
IPC: H01L21/18
Abstract: 本发明是一种提高碳化硅直接键合强度的方法，该方法包括如下步骤：对SiC晶片待键合面进行化学机械抛光；利用Piranha溶液、RCA1&RCA2标准溶液对碳化硅片进行清洗；利用氢氟酸溶液对SiC晶片待键合面表面进行预处理；在氢氟酸溶液中完成碳化硅片的预键合；将预键合的碳化硅片移至真空环境下进行高温高压键合，完成制备。本发明可以有效的实现碳化硅晶片的高强度直接键合，为碳化硅MEMS器件及相关器件封装性能的提升奠定基础。
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公开(公告)号：CN107576426A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710601550.2
申请日：2017-07-21
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 北京航空航天大学 , 中航高科智能测控有限公司
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明属于先进传感器技术研究中的传感器优化设计的技术领域，具体涉及一种具有自保护功能的硅-蓝宝石压力传感器敏感结构。本发明提出了一种具有自保护功能的硅-蓝宝石压力传感器结构，主要用于解决高压测量时由于压力超出量程范围而造成传感器敏感膜片损坏，进而导致传感器失效的问题。该传感器结构主要包括钛合金壳体、钛合金应变膜片、蓝宝石膜片、单晶硅应变电阻、钛合金保护膜片、金属引线和支架。蓝宝石膜片上设置有单晶硅应变电阻，通过金属引线连接成电桥，并引出到传感器壳体外。本发明采用双膜片结构，可以有效保护压力传感器敏感膜片，避免其在被测压力超出压力量程范围时损坏。
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公开(公告)号：CN104502228A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410775828.4
申请日：2014-12-15
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司 , 北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
IPC: G01N11/00
Abstract: 本申请公开了用于油液粘度在线检测传感器的测量系统和测量方法，该测量系统包括上位机、自平衡激励振荡电路模块、数据采集处理模块，上位机与数据采集处理模块连接，用于向数据采集处理模块发送粘度检测指令，并从数据采集处理模块接收粘度检测数据，自平衡激励振荡电路模块包括由信号调理电路和音叉谐振器组成的闭合环路，音叉谐振器在测量过程中被浸入待测油液中，并通过驱动信号形成连续谐振，信号调理电路用于将来自所述音叉谐振器的谐振信号转换为与谐振频率同频的驱动信号，并将驱动信号提供给所述音叉谐振器、以及数据采集处理模块，所述数据采集处理模块用于提取来自所述信号调理电路的驱动信号的频率，并将其转换为待测油液的粘度值。
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