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公开(公告)号：CN102354051B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201110290113.6
申请日：2011-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0816 , G01S7/4817 , G01S17/42 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H01S3/0071
Abstract: 基于反射镜平动的超高频响高灵敏度光束偏转控制装置属于光束控制设备；该装置由正透镜的前置透镜、x方向平移镜组、y方向平移镜组、准直正透镜或准直负透镜、计算机控制系统和压电陶瓷驱动源装配构成，x方向平移镜组包括第一固定反射镜、第一平动反射镜、第一压电陶瓷驱动器及压电陶瓷驱动源，第二固定反射镜、第二平动反射镜、第二压电陶瓷驱动器及压电陶瓷驱动源构成y方向平移镜组，准直正透镜的焦面与光束经前置透镜后的聚焦点所在平面重合，准直负透镜的虚焦面与光束经前置透镜后的聚焦点所在平面重合，均构成无焦系统；本装置无机械传动损耗，具有超高频率响应特性、高角偏转灵敏度的特点。
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公开(公告)号：CN102589422A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110456022.5
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器属于传感器；在装配台上依次安装第一、二、三、四、五、六、七连接架，四维调整架、分光镜、折反式长焦系统A、折反式长焦系统B、五维调整架、光电接收器B、光电接收器A分别装配在第一、二、三、四、五、六、七连接架上，在四维调整架上装配激光光源，在五维调整架上安装带有光纤探针测头的光纤探针测杆，数据传输线将光电接收器A和光电接收器B分别与数据采集处理器连接；本传感器具有二维传感信息零耦合、能进行二维方向探测、测力小、易小型化、测量深径比大、实时性好、易应用的特点，在对微内尺寸和三维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN102520587A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110378102.3
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个线缆盒防转装置；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，线缆盒防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案冲击转矩大、换台节拍多、现有旋转换台方案双工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。
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公开(公告)号：CN102495527A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110377822.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，同时在预对准工位和曝光工位之间增加了Y向过渡直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的运动从而实现三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子与第一工件台固联，Y向第四直线电机与第二工件台固联；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和避免了工件台的抓卡机构，具有结构紧凑和结构刚度大等优点。
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公开(公告)号：CN102393612A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110378061.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法，属于半导体制造装备技术领域，该系统包括运行于预对准工位和曝光工位的工件台，在预对准工位和曝光工位分别设置一个井型驱动单元，井型驱动单元由双侧X向直线运动单元和双侧Y向直线运动单元组成，且两个井型驱动单元之间设置有两个Y向过渡直线运动单元；通过Y向直线运动单元与Y向过渡直线运动单元的对接完成双工件台换台。本发明中两个工件台在预对准和曝光工位中均为双边质心驱动，可增加系统角刚度，且两个工件台在预对准工位和曝光工位之间交换时仅需三个节拍，可提高光刻效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和结构刚度大等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102393611A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110377903.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机工件台磁预紧平衡定位系统属于半导体光刻技术领域；该系统主要包括基台、平衡质量系统、磁预紧系统、运动单元、硅片台、平衡质量防漂移系统，平衡质量系统由两个互相嵌套的框架组成，具有X、Y方向自由度，上部建有运动单元，利用动量守恒原理削弱运动部件对基台的冲击力；平衡质量防漂移系统用于补偿平衡质量系统因受外界阻力而在工作期间产生的位置偏移；磁预紧系统用于实时补偿工件台沿Z轴的扭转；本发明能够有效降低机内振动，抵偿工件台沿Z轴的扭转，进而大幅提高硅片台的运动定位精度。
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公开(公告)号：CN102393610A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110377869.4
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机工件台陀螺进动式主动稳定装置属于半导体光学光刻制造技术；在基台上安装可平行移动的平衡质量块，在平衡质量块沿X轴两侧对称部位上分别安装X向第一和第二直线电机定子，X向第一和第二直线电机动子分别气浮安装在X向第一和第二直线电机定子上，在X向第一和第二直线电机动子之间刚性固装带有Y向直线电机定子的Y向导轨，Y向直线电机动子气浮安装在Y向导轨上，硅片承载台固定在Y向直线电机动子侧部上，气浮连接在基台上的硅片台支承座与硅片承载台刚性连接，由舵机、机械陀螺仪和陀螺仪固定座构成的第一、二、三、四陀螺主动稳定装置分别安装在平衡质量块四角处的四个槽坑内；本装置补偿实时性好，振动小，定位精度高。
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公开(公告)号：CN102354051A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110290113.6
申请日：2011-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0816 , G01S7/4817 , G01S17/42 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H01S3/0071
Abstract: 基于反射镜平动的超高频响高灵敏度光束偏转控制装置属于光束控制设备；该装置由正透镜的前置透镜、x方向平移镜组、y方向平移镜组、准直正透镜或准直负透镜、计算机控制系统和压电陶瓷驱动源装配构成，x方向平移镜组包括第一固定反射镜、第一平动反射镜、第一压电陶瓷驱动器及压电陶瓷驱动源，第二固定反射镜、第二平动反射镜、第二压电陶瓷驱动器及压电陶瓷驱动源构成y方向平移镜组，准直正透镜的焦面与光束经前置透镜后的聚焦点所在平面重合，准直负透镜的虚焦面与光束经前置透镜后的聚焦点所在平面重合，均构成无焦系统；本装置无机械传动损耗，具有超高频率响应特性、高角偏转灵敏度的特点。
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公开(公告)号：CN101520314A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910071624.1
申请日：2009-03-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于一维微焦准直的微小内腔尺寸和二维坐标传感方法与装置属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种“亚宏观”领域中对微小、复杂内腔的结构尺寸和二维坐标的传感方法与装置，尤其适用于大深径比微小孔的测量，本发明利用光纤探针测杆具有超大曲率和微柱面透镜的结构特点组建了点光源一维微焦准直成像光路，利用该光路实现了对光纤探针测杆二维位移量的高倍放大与传感，本发明不仅具备单光纤探针测力小、易小型化及测量深径比大的特点，特别是分辨力最高可达深亚纳米量级，且在二维测量方向具有绝对“0”位，系统结构简单、实时性好、易于实际应用，在对微小内腔尺寸和二维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN101373146A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810064747.8
申请日：2008-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 基于双侧对称阻尼的静压气浮导轨属于精密仪器与测量技术领域，是针对气浮导轨驱动力小而惯性大的特点，根据导轨位置闭环控制系统的阶跃响应与冲击响应特性，在系统中引入双向粘滞阻尼器构成速度反馈环节，弥补PID控制器中微分参数阻尼作用的不足，达到提高系统阻尼比、减小其运动超调、消除随机扰动引起的固有振动的目的；本导轨是在气浮套两端对称布置两套具有相同参数的粘滞阻尼器构成双向粘滞阻尼器，阻尼力大小与气浮套运动速度成正比，方向与气浮套运动方向在同一条直线上，阻尼系数精确可调，可有效减小导轨的运动超调和定位后在运动方向上的固有振动，使导轨的定位精度和静态稳定性提高约一个数量级。
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