公开(公告)号：CN114746650B

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202080082107.9

申请日：2020-09-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 川端友德 ,  田中伸拓

IPC: F04B43/04

Abstract: 本发明涉及致动器以及流体控制装置。致动器(11)具备配置有压电元件(30)的第一主板(21)、框体(22)以及连结部(23)。框体(22)在比第一主板(21)的外缘靠外侧，与第一主板(21)分离地配置。连结部(23)配置在第一主板(21)与框体(22)之间。连结部(23)具有沿着外缘配置的多个连结体(231)和多个连结体(231)之间的空隙(232)，多个连结体(231)与第一主板(21)及框体(22)连接。第一主板(21)和连结体(231)由同一材料构成。连结体(231)的厚度(D23)大于第一主板(21)的厚度(D21)。

公开(公告)号：CN115315320B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202180022072.4

申请日：2021-01-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓

IPC: B06B1/06 ,  F04B43/02 ,  H10N30/87 ,  H10N30/20 ,  H10N30/06

Abstract: 在致动器(11)的厚度方向上，相对于第1构件(20)，第1供电构件(61)与第2供电构件(62)配置于相同侧。第1供电构件(61)具备第1外部连接端子(619)。第2供电构件(62)具备第2外部连接端子(629)。第1外部连接端子(619)与第2外部连接端子(629)配置于厚度方向上的相同位置。第2绝缘层(72)配置于第2供电构件(62)与框体(22)之间。第1供电构件(61)中与第1外部连接端子(619)突出那侧相反一侧的远端侧部分(612)向框体(22)侧屈曲，并与框体(22)电连接。

公开(公告)号：CN117212109A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202311160301.6

申请日：2019-03-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓 ,  藤崎雅章

IPC: F04B43/04 ,  F16K7/17 ,  F16K15/14 ,  F04B53/10

Abstract: 流体控制装置(10)具备阀门(110)、泵(120)以及薄膜阀(14)。阀门(110)具备第一主板(11)、第二主板(12)以及第一侧板(13)，且具有阀室(115)。第一主板(11)具有第一通气孔(111)，第二主板(12)具有第二通气孔(121)。薄膜阀(14)配置于阀室(115)内。第一通气孔(111)位于阀室(115)的中央区域，第二通气孔(121)位于阀室(115)的外缘区域。薄膜阀(14)位于第一通气孔(111)与第二通气孔(121)之间。薄膜阀(14)在外缘区域侧的端部或者中央区域侧的端部能够振动的状态下固定于第二主板(12)。

公开(公告)号：CN117203428A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202280031127.2

申请日：2022-04-14

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓

IPC: F04B43/02

Abstract: 本发明涉及致动器、泵、致动器的制造方法。致动器(11)具备振动部件(21)、框体(23)以及粘接剂(241)。振动部件(21)具有主面(F211)及主面(F212)，并在主面(F211)安装有压电元件(30)。振动部件(21)为板状，并具备俯视观察时的形状比压电元件(30)大，且不与压电元件(30)抵接的外缘部(212)。框体(23)的外缘形状比振动部件(21)小。粘接剂(241)将振动部件(21)的外缘部(212)处的主面(F212)与框体(23)粘接。在俯视观察时，框体(23)的外缘形状比振动部件(21)的外缘部(212)的外形形状小。框体(23)具备从外缘向外方侧局部地突出的凸部(239)。

公开(公告)号：CN116635631A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202180085211.8

申请日：2021-12-06

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 冈添清见 ,  安藤祯宪 ,  田中伸拓 ,  阿知波宽基

IPC: F04B45/047

Abstract: 本发明涉及流体控制装置。流体控制装置(10)具备泵主体(20)、壳体以及粘接剂(60)。泵主体(20)具备压电元件(22)、以及用于向压电元件(22)输入驱动信号的外部连接导体(252、254)。壳体以外部连接导体(252、254)向外部露出的方式将泵主体(20)收容。粘接剂(60)将泵主体(20)的一部分固定于壳体。壳体具备供外部连接导体(252、254)载置于表面(351)的端子载置部(35)。在端子载置部(35)的表面(351)中的外部连接导体(252、254)的载置区域的周围，形成有从表面(351)凹陷的凹部(52、54)。

公开(公告)号：CN114127421B

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN202080048399.4

申请日：2020-05-14

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓 ,  川端友德

IPC: F04B43/02 ,  F04B43/04 ,  F04B45/04 ,  F04B45/047

Abstract: 流体控制装置(10)具备第一主板(20)、压电元件(30)、第二主板(40)、侧板(50)、第一薄膜(61)以及第二薄膜(62)。流体控制装置(10)的泵室(100)通过由第一主板(20)、第二主板(40)以及侧板(50)围起的空间实现。第一薄膜(61)配置于第一主板(20)的靠泵室(100)侧，并配置于第一主表面(211)，并具有一个端成为可动端的可动部。第二薄膜(62)配置于第二主板(40)的靠泵室(100)侧，并配置于第三主表面(401)，具有一个端成为可动端的可动部。第一薄膜(61)和第二薄膜(62)配置于第一主板(20)的第一开口(230)与第二主板(40)的第二开口(400)之间。

公开(公告)号：CN116221080A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202211631545.3

申请日：2019-03-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 藤崎雅章 ,  田中伸拓

IPC: F04B43/04 ,  F04B53/10 ,  F04B45/047 ,  F04B39/10

Abstract: 泵(10)具备振动板(11)、流路形成部件(15)、泵室(101)以及薄膜阀(13)。振动板(11)配置有压电元件(12)，通过该压电元件(12)的形变来振动，且在外周配置有空隙(114)。流路形成部件(15)与振动板(11)对置配置，且在与振动板(11)对置的区域具有孔(151)。泵室(101)由振动板(11)和流路形成部件(15)围起，且具有与孔(151)连通的中央区域和与空隙(114)连通的外缘区域。薄膜阀(13)配置于泵室(101)内。在中央区域的压力低于外缘区域的压力时，薄膜阀(13)与振动板(11)、流路形成部件(15)抵接。

公开(公告)号：CN112752906B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201980063012.X

申请日：2019-11-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓

IPC: F04B43/02 ,  F04B43/04 ,  F04B45/04 ,  F04B45/047

Abstract: 泵具备：振动板(7)，其在第1主面连接有压电体；罩(10)，其具有顶板(31)和侧壁(11)，上述顶板(31)同振动板的与第1主面相反侧的第2主面对置，并具有开口部，上述侧壁(11)包围顶板与振动板之间的空间并与顶板的外周部连接；支承部(9)，其与侧壁连接，并支承振动板的外周；开口(17)，其形成于侧壁与振动板之间；以及突起(19)，其在顶板、侧壁和振动板中任一者上设置为向空间内突出，在从与顶板的主面和振动板的第2主面相对置的朝向正交的方向剖视时，突起设置于顶板的开口部与侧壁之间。

公开(公告)号：CN115943267A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202180049877.8

申请日：2021-04-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓

IPC: F16K15/14

Abstract: 本发明涉及的流体控制装置(10)具备：第一平板(21)；框体(22)，隔着开口(241、242)配置于比第一平板(21)的外周端(210)靠外侧；连结部件(23)，将第一平板(21)和框体(22)连结；板部件(40)，在与第一平板(21)对置的部分具有贯通孔(400)；以及阀部件(60)，对流体进行整流。阀部件(60)的外端(610)从第一平板(21)的外周端(210)向外方侧突出。阀部件(60)的位于第一平板(21)的中心侧的内端侧固定于第一平板(21)，外端(610)不被固定。阀部件(60)具有外端侧的第一部分、和第一部分的内端侧的第二部分。第二部分的厚度比第一部分的厚度厚。在俯视观察时，第二部分与第一平板(21)的外周端(210)重叠。

公开(公告)号：CN112789407B

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN201980064470.5

申请日：2019-11-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓

IPC: F04B43/02 ,  F04B43/04 ,  F04B45/04 ,  F04B45/047

Abstract: 泵具备：振动板(7)，其在第1主面具有压电体；罩(10)，其具备顶板(31)和侧壁(11)，上述顶板(31)同振动板的与第1主面相反侧的第2主面对置且具有第1开口部(31d)，上述侧壁(11)包围顶板与振动板之间的空间地与顶板的外周部连接；支承部(9)，其与侧壁连接，并支承振动板的外周；以及第2开口部(17)，其在与振动板的第2主面和顶板的主面相对置的朝向正交的方向上剖视时，形成于侧壁与振动板之间，顶板的第1开口部与振动板的位移量比振动板的外周缘的位移量小的位置对置地存在。