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公开(公告)号：CN1365399A
公开(公告)日：2002-08-21
申请号：CN01800693.0
申请日：2001-03-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 名取荣治
IPC: C23C16/40 , H01L21/31 , H01L21/316 , H01L27/10 , H01L41/22
CPC classification number: C23C16/45512 , C23C16/409 , C23C16/452
Abstract: 本发明的陶瓷的制造方法包括:将至少形成陶瓷原材料一部分的原料材料微粒子和活性材料进行混合以后供给基体(10),并在基体(10)上面形成陶瓷膜(20)的工序。制造设备具有:兼任基体(10)的加热部分的配置部分(40)、用于在微粒子的状态供给原料材料的原料材料供给部分(200)、用于供给活性材料的活性材料供给部分(100)、以及用于混合原料材料和活性材料的混合部分(300)。
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