公开(公告)号：CN102472663B

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201080036948.2

申请日：2010-08-11

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  能野隆文

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/36 ,  G02B5/10 ,  G02B5/18 ,  H01L31/10

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/2803 ,  G02B5/1814 ,  G02B5/1852 ,  G02B5/1861

Abstract: 本发明的分光模块(1)中，边缘部(7)以比衍射层(6)厚的方式沿着衍射层(6)的周缘(6a)一体地形成。由此，使用母模形成衍射层(6)及边缘部(7)的情况的脱模时，可防止以沿着透镜部(3)的凸状曲面(3a)的方式形成的衍射层(6)维持于母模上而从曲面(3a)剥离。而且，以相对衍射层(6)的中心偏向规定侧的方式形成有衍射光栅图案(9)。由此，以相对于衍射层(6)的规定侧使其相反侧先进行的方式进行脱模，从而可防止衍射层(6)剥离、或衍射光栅图案(9)损坏。

公开(公告)号：CN103857994A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201280049225.5

申请日：2012-09-10

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  笠原隆

IPC: G01J3/26 ,  G02B5/28

CPC classification number: H01L31/1896 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/36 ,  G01J2003/1234 ,  G02B5/28 ,  G02B5/284 ,  H01L31/0232

Abstract: 分光传感器（1）的制造方法具备：第1工序，通过对被设置于处理基板上的表面层实施蚀刻从而形成空腔层（21）；第2工序，在第1工序之后将第1镜层（22）形成于空腔层（21）上；第3工序，在第2工序之后将光透过基板（3）接合于第1镜层（22）上；第4工序，在第3工序之后从空腔层（21）除去处理基板；第5工序，在第4工序之后将第2镜层（23）形成于已除去了处理基板的空腔层（21）上；第6工序，在第5工序之后将光检测基板（4）接合于第2镜层上。

公开(公告)号：CN103703348A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201280036758.X

申请日：2012-06-12

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 厄尔·詹森 ,  梅·孙 ,  凯文·奥布赖恩

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/0259 ,  G01J1/58 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/36 ,  G01J2003/1213

Abstract: 本发明涉及一种用于测量光学辐射的特性的传感器设备，所述传感器设备具有衬底及位于所述衬底内在一个或一个以上空间上分离的位置处的低轮廓光谱选择性检测系统。所述光谱选择性检测系统包含以光学方式耦合到对应光学检测器阵列的大体层状波长选择器阵列。应强调，提供本摘要以符合需要将允许搜索者或其它读者快速断定技术性揭示内容的标的物的摘要的规则。提交本摘要是基于以下理解：其将不用于解释或限制权利要求书的范围或含义。

公开(公告)号：CN102027343B

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN200980117552.8

申请日：2009-05-07

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  能野隆文 ,  广瀬真树 ,  伊藤将师

IPC: G02B7/00

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0297 ,  G01J2003/1213 ,  G02B5/1814 ,  G02B5/1852 ,  G02B5/1861 ,  G02B7/025 ,  G02B27/4244

Abstract: 本发明所涉及的分光模块(1)具备使从前表面(2a)入射的光(L1)透过的基板(2)、使入射到基板(2)的光(L1)透过的透镜部(3)、对入射到透镜部(3)的光(L1)进行分光并且反射的分光部(4)、以及检测由分光部(4)进行反射的光(L2)的光检测元件(5)。在基板(2)上设置有相对于成为用于定位光检测元件(5)的基准部的对准定位标记(12a、12b)等而具有规定的位置关系的凹部(19)，透镜部(3)被嵌合于凹部(19)。根据分光模块(1)，仅通过将透镜部(3)嵌合于凹部(19)，从而能够实现分光部(4)与光检测元件(5)的被动对准定位。

公开(公告)号：CN103635785A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201280018360.3

申请日：2012-02-14

Applicant: 勒克思马克斯科技公司

Inventor： 杨纳森·丹特勒 ,  欧尔理·亚迪德-佩科特

IPC: G01J3/12 ,  G01J3/433 ,  G01J3/44 ,  G02B27/10 ,  G02B6/12 ,  H01L31/16

CPC classification number: G01J3/45 ,  C08L79/08 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4531 ,  G02B6/125 ,  G02B6/13 ,  G02B6/29344 ,  G02B6/2935

Abstract: 本发明公开一种位在一硅晶绝缘体(SOI)晶圆上，以CMOS技术整合的傅立叶转换红外光(FTIR)光谱仪。本发明完全整合于一精巧、微型、低成本及CMOS制造兼容芯片。本发明可在1.1μm到15μm范围内的各种红外光区运作，或可一次覆盖1.1μm到15μm的全光谱。所述CMOS-FTIR光谱仪具有高光学分辨率，无可移动部件，无光学镜片，精巧，在恶劣外部环境下不易损坏之特性，以及可用标准CMOS技术制造，使得FTIR光谱仪可大量生产。所述完全整合CMOS-FTIR光谱仪可用电池运作，所需的功能可用标准CMOS技术集成到单一芯片上。本公开发明的FTIR光谱仪亦可改造成一CMOS-拉曼光谱仪。

公开(公告)号：CN102869965A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201080064499.2

申请日：2010-04-28

Applicant: 台湾超微光学股份有限公司

Inventor： 柯正浩

IPC: G01J3/18

CPC classification number: G01J3/0256 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0259 ,  Y10T29/49826

Abstract: 一种微型光谱仪（100）及其组装方法。微型光谱仪包括一输入部（200）、一影像撷取组件（400）、一微型绕射光栅（500）、一光栅容置槽（310）、一软垫（600）以及一固定板（700）。光谱仪可包含一波导装置（300）。光栅容置槽位于波导装置之一开口所定义出来的空间，输入部用以接收一光学信号。波导装置用以传送光学信号。微型绕射光栅用以将于波导装置中传送的光学信号分离为多个光谱分量，并使这些光谱分量射向影像撷取组件，软垫叠放于微型绕射光栅之上，微型绕射光栅与软垫配置于光栅容置槽中，固定板设置于波导装置之上，对软垫施以压缩的力量，使微型绕射光栅固定于光栅容置槽中。

公开(公告)号：CN102628711A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN201210091508.8

申请日：2008-06-10

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  能野隆文 ,  铃木智史 ,  H·泰希曼 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0291

Abstract: 在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。

公开(公告)号：CN101542248B

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN200880000506.5

申请日：2008-06-05

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  H·泰希曼 ,  铃木智史 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/04 ,  G01J3/2803

Abstract: 分光模块(1)中，光检测元件(4)具有使入射于本体部(2)的光通过的光通过开口(4b)。因此，能够防止光通过开口(4b)和光检测元件(4)的光检测部(4a)的相对的位置关系发生偏移。并且，在光通过开口(4b)，配置有对入射于本体部(2)的光进行导光的光学元件(7)。因此，应该入射于本体部(2)的光的一部分不被光通过开口(4b)的光入射侧缘部遮蔽，能够切实地对应该入射于本体部(2)的光进行导光。所以，依照该分光模块(1)，能够提高可靠性。

公开(公告)号：CN102171544A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN200980139151.2

申请日：2009-09-24

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： R·A·M·希克梅特 ,  E·J·梅杰尔 ,  T·范伯梅尔

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/51 ,  G01J3/02 ,  G02B5/30 ,  G01J3/12 ,  G02F1/137

CPC classification number: G01J3/2803 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/12 ,  G01J3/32 ,  G01J3/36 ,  G01J3/505 ,  G01J3/513 ,  G01J2003/1213 ,  G02B5/3016 ,  G02F1/13718 ,  G02F2001/133541 ,  G02F2001/13775

Abstract: 本发明涉及用于测量电磁频谱部分上的光特性的光谱检测器，所述光谱检测器包含胆甾型液晶材料和切换装置，所述切换装置能够改变胆甾型液晶材料的螺距，使得响应于所述切换装置而调整所述透射波长带的位置。光谱检测器可进一步包含至少一个光方向选择结构，用于选择入射到光谱检测器上的具有一定入射角度的光。本发明还涉及包括本发明的光谱检测器的发光系统。

公开(公告)号：CN102027342A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200980117280.1

申请日：2009-05-07

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  笠原隆 ,  吉田杏奈

IPC: G01J3/18 ,  G02B7/00

CPC classification number: G01J3/0205 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/04 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G02B7/027 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种高可靠性的分光模块。在本发明所涉及的分光模块(1)中，向分光部(4)行进的光L1在通过光通过孔(50)的时候，穿过朝着基板(2)侧变得越来越窄的光入射侧部(51)，只有入射到以与光入射侧部(51)的底面(51b)相对的形式形成的光出射侧部(52)的光从光出射开口(52a)出射。为此，入射到光入射侧部(51)的侧面(51c)或者底面(51b)的杂散光M被反射到与光出射侧部(52)相反的一侧，所以能够抑制杂散光入射到光出射侧部(52)。因此，能够提高分光模块(1)的可靠性。