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公开(公告)号:CN119803277A
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202411387582.3
申请日:2024-10-05
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种无需用于开始测量的执行的操作就能够谋求作业的效率化的图像测量机。图像测量机(1)具备:载置台(2),载置测量对象物;拍摄单元(3),与载置台(2)相对设置并拍摄测量对象物的图像;控制单元(4),控制图像测量机;以及存储单元(5),至少将测量对象物的形状与对应于该测量对象物的测量方法进行关联并进行存储。控制单元(4)具备:载置判断部(41),基于由拍摄单元所拍摄到的图像来判断测量对象物是否以能够测量的状态载置于载置台;以及测量执行部(42),在载置判断部判断为测量对象物以能够测量的状态载置的情况下,基于图像上所映现的测量对象物的形状来选择与该测量对象物相对应的测量方法并执行测量。
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公开(公告)号:CN119772616A
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202411356143.6
申请日:2024-09-27
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种基座支承装置。加工机(基座支承装置)具备:基座,其具有构成水平面的上表面,该水平面包含X方向和Y方向;第一支承部,其分别设置于基座的X方向上的两端侧,在Z方向上支承基座;第二支承部,其配置于基座的由第一支承部支承的两端侧之间,在Z方向上支承基座,并且能够调整在Z方向上支承基座的支承位置;挠曲检测部,其检测基座在向Z方向上的挠曲量;以及挠曲控制部,其控制第二支承部,其中,挠曲控制部基于由挠曲检测部检测的挠曲量来控制第二支承部,以使上表面与X方向平行。
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公开(公告)号:CN114326140B
公开(公告)日:2025-03-11
申请号:CN202111140698.3
申请日:2021-09-28
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: C.E.埃特曼
IPC: G02B27/62
Abstract: 一种计量系统,包括光学组件部分;调整机构,其被配置为改变光学组件部分和工件表面之间的距离和角度取向;和处理器,其配置为控制调整机构移动光学组件部分,以将工件表面定位在焦点Z自动对焦范围内;捕获工件表面的图像堆叠,其中图像堆叠的每个图像对应于不同的自动对焦高度;确定工件表面的至少三个位置的自动对焦高度;基于自动对焦高度控制调整机构以使光学组件部分相对于工件表面旋转,使光学组件部分的光轴与工件表面的表面法线名义上对齐,并调整光学组件部分与工件表面之间的距离;并在工件表面上执行限定的操作。
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公开(公告)号:CN114688957B
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202111622422.9
申请日:2021-12-28
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: C.R.哈姆纳
IPC: G01B7/004
Abstract: 一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应位置检测器,包括沿着探头中的中心轴线定位的线圈板配置。线圈板配置包括场产生线圈配置以及顶部和底部轴向和旋转感测线圈配置。场产生线圈配置产生变化的磁通量,并且线圈信号指示导电扰动器元件和/或探针位置。至少一个未对准补偿元件配置为减少由线圈板配置的至少一个线圈的未对准导致的信号偏移(例如,线圈板配置可以包括具有线圈位于其中的多个层的印刷电路板,并且至少一个线圈的未对准可以由作为制造过程的一部分的层对层配准中的配准误差导致,例如在制造公差内)。
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公开(公告)号:CN119374519A
公开(公告)日:2025-01-28
申请号:CN202410940011.1
申请日:2024-07-15
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/245 , G01B5/00
Abstract: 本发明公开了一种校准夹具(300A),其用于校准对测量对象W的三维几何形状进行测量的测量设备,该校准夹具(300A)包括:多个待测量元件(331);框架部(340),多个待测量元件附接到所述框架部(340);以及机构部(400),用于移动框架部,其中,机构部(400)包括:旋转机构(405),用于使框架部(340)围绕第一轴旋转;第一摆动机构(410),用于使框架部(340)围绕与第一轴正交的第二轴摆动;以及第二摆动机构(420),用于使框架部(340)围绕与第一轴和第二轴正交的第三轴摆动。
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公开(公告)号:CN114199159B
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202111346225.9
申请日:2018-06-20
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 宫田薰
IPC: G01B11/25
Abstract: 一种3D几何形状测量装置包括:投影部分,将包括沿多个方向延伸的条纹图案的投影图像投影到待测量的对象上;捕获部分,分别生成包括由投影部分投影到待测量的对象上的条纹图案的捕获图像;特征量识别部分,识别指示包括在捕获图像中的条纹图案的特征量;缺陷像素检测部分,基于从沿相应方向延伸的条纹图案的捕获图像中的每一个识别的特征量,来检测捕获图像中的缺陷像素;和几何形状识别部分,识别除了缺陷像素以外的捕获图像的像素与投影图像的像素之间的对应关系以基于对应关系来识别待测量的对象的3D几何形状。
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公开(公告)号:CN112146687B
公开(公告)日:2024-12-27
申请号:CN202010582077.X
申请日:2020-06-23
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种偏移校正装置和位置测量装置。该偏移校正装置包括:振幅调整器,用于通过调整从编码器输出的检测信号的增益以使得检测信号的振幅在预定范围内来调整该振幅;偏移校正器,用于校正检测信号的振幅中心的偏移;以及存储器,用于预先存储增益和偏移量之间的关系,其中,偏移校正器在振幅调整器改变增益的情况下参考存储器中所存储的关系,获得与改变后的增益相对应的偏移量,并且基于所获得的偏移量来校正偏移。
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公开(公告)号:CN111829456B
公开(公告)日:2024-12-27
申请号:CN202010304396.4
申请日:2020-04-17
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 宫田薰
IPC: G01B11/25
Abstract: 抑制多重反射光等所导致的测定精度的降低。具备:关系确定部(45),其确定第一拍摄像素和对应于与第一拍摄像素所对应的投影坐标相同的投影坐标且位于第一拍摄像素所对应的第二拍摄图像的第一核线上的第二拍摄像素的组合;判定部(46),其基于具有第一拍摄像素所对应的投影坐标的投影图像的投影像素和具有第二拍摄像素所对应的投影坐标的投影图像的投影像素之间的距离,判定所述第一拍摄像素或者所述第二拍摄像素的至少任一个是否是不良像素;以及形状测定部(47),其使用判定为所述第一拍摄像素以及所述第二拍摄像素不为所述不良像素的所述组合所对应的第一拍摄像素或者第二拍摄像素,测定出测定对象物的形状。
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公开(公告)号:CN114688958B
公开(公告)日:2024-12-24
申请号:CN202111623134.5
申请日:2021-12-28
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: C.R.哈姆纳
IPC: G01B7/004
Abstract: 一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应位置检测配置,包括沿着探针中的中心轴线布置的探针位置检测部分。探针位置检测部分包括场产生线圈配置以及顶部和底部轴向和旋转感测线圈配置。场产生线圈配置产生变化的磁通量,并且线圈信号指示导电扰动器元件和/或探针位置。场产生线圈耦合和串扰减少配置将信号处理和控制电路耦合到场产生线圈配置以提供线圈驱动信号,并且配置为减少串扰,否则如果场产生线圈配置直接连接到信号处理和控制电路而没有场产生线圈耦合和串扰减少配置,则串扰会发生。
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