基板小片的切割方法及切割装置

    公开(公告)号:CN110948119A

    公开(公告)日:2020-04-03

    申请号:CN201910750177.6

    申请日:2019-08-14

    Abstract: 一种基板小片的切割方法及切割装置,能够维持易于从基板小片剥离PET层的状态,并且在多层基板上形成用于切出基板小片的切断线。从由第一PET层(L2)、PI层(L1)、第二PET层(L3)、第一粘接层(L4)、第二粘接层(L5)构成的多层基板(P1),切出沿X方向及Y方向延伸并在Y方向上的一端将第一PET层(L2)剥离的基板小片(SP1)的方法包括:在多层基板(P1)上隔开相当于基板小片(SP1)在X方向上的宽度的间隔而形成沿Y方向延伸的多条第一切断线(SL1)的步骤、以及之后形成沿X方向延伸,并用于从基板小片(SP1)的Y方向上的一端剥离第一PET层(L2)的第四切断线(SL4)的剥离切断线形成步骤。

    边料除去机构以及边料除去方法

    公开(公告)号:CN110406241A

    公开(公告)日:2019-11-05

    申请号:CN201910265593.7

    申请日:2019-04-03

    Abstract: 一种边料除去机构以及边料除去方法,虽然是利用黏着带的简单的机构但却能够可靠地只将边料部分剥下。边料除去机构构成为,包括:剥离辊(4),一边将从带供给轮(2)送到带收卷轮(3)的黏着带(M)的中间部分按压在边料表面一边移动,使边料粘接于黏着带(M)从而剥下边料;压带(5),与该剥离辊(4)相邻并平行配置,且该压带(5)一边按压基板(W1)的主体侧的表面一边移动;以及移动体(1),用于保持剥离辊(4)和压带(5),压带(5)沿行进方向延伸。

    基板翻转装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110092172A

    公开(公告)日:2019-08-06

    申请号:CN201910042829.0

    申请日:2019-01-17

    Abstract: 本申请提供一种基板翻转装置,能够简化装置的结构且节约空间、进一步高效地进行基板的翻转。使基板(F)翻转的基板翻转装置(1)具备:第一吸附部(110);第二吸附部(160);在第一吸附部(110)的吸附面与第二吸附部(160)的吸附面相互对置的状态下使第一吸附部(110)以及第二吸附部(160)一体地旋转半周的翻转机构(200);选择性移送第一吸附部(110)以及第二吸附部(160)中的、在翻转机构(200)中被定位于移送位置(200a)的吸附部(100)的输送机构(300)。

    断裂装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109421181A

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201810972909.1

    申请日:2018-08-24

    Inventor: 高松生芳

    Abstract: 技术问题:在脆性材料基板的截断时,阻止截断端面之间彼此干涉,能够无缺口而完美地进行截断。解决手段:通过对形成有划分线(S)的脆性材料基板,朝向划分线(S)推压断裂杆(20),而沿着划分线(S)截断脆性材料基板(11)。断裂杆(20)由长条状的部件形成,其具有:截面呈T字形的断裂杆主体(21);以及在断裂杆主体下方的左右以彼此成对的方式弹性地安装的左右的侧杆(22)、(23)。左右的侧杆(22)、(23)具有随着断裂杆(20)的下降而向远离划分线的方向移动的移动机构。

    断裂装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109421180A

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201810972233.6

    申请日:2018-08-24

    Inventor: 高松生芳

    Abstract: 技术问题:在脆性材料基板的截断时,阻止截断端面之间彼此干涉,能够无缺口而完美地进行截断。解决手段:通过对形成有划分线(S)的脆性材料基板,朝向划分线(S)推压断裂杆(20),而沿着划分线(S)截断脆性材料基板(11)。断裂杆(20)由长条状的部件形成,其具有:截面呈T字形的断裂杆主体(21);以及在断裂杆主体下方的左右以彼此成对的方式弹性地安装的左右的侧杆(22)、(23)。左右的侧杆(22)、(23)具有随着断裂杆(20)的下降而向远离划分线的方向移动的移动机构。

    粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置

    公开(公告)号:CN109318387A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201810808653.0

    申请日:2018-07-18

    Abstract: 本发明提供一种能够防止粉尘等微小异物附着于基板而得到高品质的产品的粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置。本发明的粉尘飞散防止装置(14A、15A、16A)防止粉尘附着于被加工的基板(W)的表面,且具备:罩(14、16),其以隔开空间的方式覆盖基板(W)的表面;以及加压机构,其始终对该罩内的空间进行加压,该加压机构从在罩(14、16)开口的气体流入口(17)向罩(14、16)内注入压力气体。

    断裂装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109318374A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201810711338.6

    申请日:2018-07-02

    Abstract: 技术问题:提供一种能够抑制输送过程中的基板表面的损伤、微小异物的附着并获得高品质产品的断裂装置。解决手段:采用如下结构,即具备:气浮单元,其在基板(W)输送时以及划线时从浮台(1、11)表面喷出空气而使基板(W)浮起;夹具(2、12),其把持浮起的基板(W)的端部并沿着水平方向移动,且在截断时固定保持基板(W);以及断裂机构,其将浮起的基板(W)沿着划分线截断。

    边料去除装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108227258A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201710769740.5

    申请日:2017-08-30

    Inventor: 高松生芳

    Abstract: 本发明提供一种边料去除装置,其能够抑制从基板上断开的边料引发基板的断开机构等的动作不良。边料去除装置(1)包括:第一输送部(110),支承及输送基板(10);第二输送部(120),接收从第一输送部(110)输出的基板(10),并支承及输送基板(10);断开部(200),配置于第一输送部(110)与第二输送部(120)之间,将向第一输送部(110)与第二输送部(120)之间的空间突出的基板(10)的突出部分断开;以及把持部(300),在通过断开部(200)而成为边料(11)的突出部分从第一输送部(110)侧突出时,从基板(10)的输送方向前侧把持突出部分,在成为边料(11)的突出部分从第二输送部(120)侧突出时,从基板(10)的输送方向后侧把持突出部分。

    刻划工具
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105366932A

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201510355575.X

    申请日:2015-06-24

    Abstract: 本发明是有关于一种刻划工具。在密封材的正上及正下的位置形成刻划线的情况下,提供一种能够在基板形成足够的深度的裂纹的刻划工具。刻划工具30、40具备:保持具303、403;槽303a、403a,形成于保持具303、403与保持具303a、403a的下面;一对槽303b、403b,以夹持槽303a、403a的方式形成于保持具304、404的下面;刻划轮301、401,在槽303a、403a可旋转地装设;一对辊302、402,在一对槽303b、403b分别可旋转地装设;刻划轮301、401的轴301a、401a与辊302、402的轴302a、402a在刻划方向仅互相分离既定距离。本发明提供的技术方案可在密封材的正上以及正下的位置形成刻划线的情形,能够在基板形成充分的深度的裂纹。

    刻划处理系统
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103420596B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201310129682.1

    申请日:2013-04-15

    CPC classification number: Y02P40/57

    Abstract: 本申请的发明涉及一种刻划处理系统。其课题在于避免在刻划中使用可能会引起产品不良的轮片。刻划处理系统是使安装在刻划头的轮片一面接触于玻璃基板一面相对移动而进行刻划,且该系统包含从标印在刀片保持具上的代码将轮片管理编号解码的器件、保持对刻划时的轮片的动作形态赋予特征的刀片参数的值的历史的器件、及保持记述着刻划处理内容与关于刀片参数的建议更换值的配方数据的器件,于强化玻璃的刻划时将轮片的刀片参数乘以加权系数K并保持在使用历史数据中,使用代码已被读取的轮片依据通过输入器件所选择的一配方数据进行刻划时,在刀片参数超过建议更换值的情况下,告知轮片处于建议更换状态。

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