公开(公告)号：CN112292763B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN201980031374.0

申请日：2019-02-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 福岛昌一郎 ,  岛谷政彰 ,  小川新平

IPC: H01L31/10 ,  G01J1/02 ,  H01L27/146 ,  H10K65/00 ,  H10K39/30

Abstract: 电磁波检测器(100)包括：基板(5)，具有表面和背面；绝缘层(4)，设置于基板(5)的表面上，由稀土类氧化物构成；一对电极(2)，设置于绝缘层(4)之上，隔开间隔相对配置；以及二维材料层(1)，在绝缘层(4)之上以与一对电极(2)电连接的方式设置。稀土类氧化物包含由第1稀土类元素的氧化物构成的母材和在母材中被活化的、与第1稀土类元素不同的第2稀土类元素。

公开(公告)号：CN116057716A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202180055848.2

申请日：2021-05-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小川新平 ,  岛谷政彰 ,  福岛昌一郎 ,  奥田聪志

IPC: H01L31/10

Abstract: 电磁波检测器具备至少1个光电变换元件和以与至少1个光电变换元件对置的方式配置的等离子体滤波器(3)。在等离子体滤波器(3)周期性地形成有多个贯通孔(30)。至少1个光电变换元件具备：半导体层(2)，具有在俯视时与多个贯通孔中的至少1个贯通孔重叠的区域(20)；绝缘层(4)，以覆盖区域(20)的一部分的方式形成；二维材料层(1)，配置于区域(20)的其他一部分以及绝缘层(4)上并且与区域(20)的其他一部分电连接；第1电极部(5)，与二维材料层(1)电连接；以及第2电极部(6)，与半导体层(2)电连接。

公开(公告)号：CN115699338A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180040678.0

申请日：2021-03-10

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岛谷政彰 ,  小川新平 ,  福岛昌一郎 ,  奥田聪志

IPC: H01L31/108 ,  G01J1/02 ,  H01L27/144 ,  H01L27/146

Abstract: 电磁波检测器具备：半导体层(4)；二维材料层(1)，与半导体层电连接；第1电极部(2a)，不经由半导体层而与二维材料层电连接；第2电极部(2b)，经由半导体层(4)与二维材料层电连接；以及铁电体层(5)，与二维材料层的至少一部分接触。

公开(公告)号：CN110087542B

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN201780077002.2

申请日：2017-08-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小川新平 ,  藤泽大介 ,  秋山浩一 ,  榎健太郎 ,  篠原弘介

IPC: A61B5/1455

Abstract: 红外光源(32)放射红外光。关于ATR棱镜(20)，从红外光源(32)发出的红外光入射于第一端面，入射的红外光一边在第二端面以及第三端面重复全反射一边透射内部，透射的红外光从第四端面出射。红外光检测器(30)检测从ATR棱镜(20)出射的红外光的强度。作为接触传感器的一种的应变传感器(37a)、(37b)、(37c)构成为被安装于ATR棱镜(20)，检测ATR棱镜(20)与被测量皮肤(49)的接触状态。

公开(公告)号：CN114041210A

公开(公告)日：2022-02-11

申请号：CN202080047788.5

申请日：2020-03-26

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岛谷政彰 ,  小川新平 ,  福岛昌一郎 ,  奥田聪志

IPC: H01L31/10

Abstract: 检测灵敏度高并且能够进行关断动作的使用二维材料层的电磁波检测器具备受光元件(4)、绝缘膜(3)、二维材料层(1)、第1电极部(2a)以及第2电极部(2b)。受光元件(4)包括第1导电类型的第1半导体部分(4a)和第2半导体部分(4b)。第2半导体部分(4b)与第1半导体部分(4a)接合。第2半导体部分(4b)是第2导电类型。绝缘膜(3)配置于受光元件(4)上。在绝缘膜(3)形成有开口部(3a)。二维材料层(1)在开口部(3a)与第1半导体部分(4a)电连接。二维材料层(1)从开口部(3a)上延伸至绝缘膜(3)上。第1电极部(2a)配置于绝缘膜(3)上。第1电极部(2a)与二维材料层(1)电连接。第2电极部(2b)与第2半导体部分(4b)电连接。

公开(公告)号：CN110402373B

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201780087551.8

申请日：2017-10-19

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岛谷政彰 ,  小川新平 ,  藤泽大介 ,  奥田聪志

IPC: G01J1/02 ,  H01L31/0248

Abstract: 电磁波检测器包括：受光石墨烯以及参照石墨烯，并排配置于绝缘层之上；第1电极以及第2电极，隔着受光石墨烯以及参照石墨烯而对置配置；栅极电极，对受光石墨烯以及参照石墨烯施加栅极电压；平衡电路，连接于第2电极之间；以及检测电路，受光石墨烯在电磁波入射的情况下由于带内跃迁而产生光载流子，参照石墨烯在电磁波入射的情况下由于泡利阻塞效应而不产生光载流子，在电磁波不入射到受光石墨烯以及参照石墨烯的状态下，平衡电路使第1电极和第2电极成为相同电位，在电磁波入射到受光石墨烯以及参照石墨烯的状态下，检测第2电极之间的电信号。

公开(公告)号：CN107430028B

公开(公告)日：2019-05-10

申请号：CN201680015138.6

申请日：2016-03-09

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小川新平 ,  藤泽大介

IPC: G01J1/02 ,  H01L27/144 ,  H01L35/32 ,  H01L37/02

Abstract: 对波长λA的电磁波选择性地进行检测的电磁波检测器包括：基板，具有中空部；温度探测部，包括波长选择构造以及探测膜，所述波长选择构造与规定的波长λA的电磁波产生表面等离子体共振并将其变换为热来进行吸收，所述探测膜对被吸收的热进行检测；以及支承构造，在中空部之上保持温度探测部，支承构造还具备反射构造，该反射构造反射支承构造具有的吸收波长的电磁波。

公开(公告)号：CN114846628A

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202080085891.9

申请日：2020-07-30

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 福岛昌一郎 ,  岛谷政彰 ,  奥田聪志 ,  小川新平

IPC: H01L31/10 ,  G01J1/02 ,  H01L27/146

Abstract: 电磁波检测器具备：半导体层(4)，形成有台阶部(40)，且对于检测波长具有灵敏度；绝缘膜(3)，配置于台阶部(40)上，且设置有使台阶部(40)的一部分露出的开口部(3a)；二维材料层(1)，配置于绝缘膜(3)以及开口部(3a)上，且具有在开口部(3a)与半导体层(4)电连接的连接区域(1c)；第1电极部(2a)，配置于绝缘膜(3)上，与二维材料层(1)电连接；以及第2电极部(2b)，配置于半导体层(4)上，经由二维材料层(1)的连接区域(1c)而与第1电极部(2a)电连接。

公开(公告)号：CN110087544B

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN201780078201.5

申请日：2017-09-22

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 榎健太郎 ,  篠原弘介 ,  秋山浩一 ,  小川新平 ,  藤泽大介

IPC: A61B5/1455

Abstract: 红外光源(32)将生物体物质的吸收波长的全部区域、或者一部分的波长区域的红外光放射到ATR棱镜(20)。ATR棱镜(20)能够与被测定皮肤(40)密接。棱镜振动控制部(52)安装于ATR棱镜(20)，使ATR棱镜(20)在与ATR棱镜(20)和被测定皮肤(40)的接触面垂直的方向上振动。控制部(50)与ATR棱镜(20)的振动同步地使红外光检测器(30)检测红外光。

公开(公告)号：CN111788700A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201880089720.6

申请日：2018-08-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小川新平 ,  岛谷政彰 ,  福岛昌一郎

IPC: H01L31/112 ,  G01J1/02

Abstract: 电磁波检测器(1)具备：绝缘膜(22)，具有第1面和与第1面对置的第2面；包含第1二维原子层材料的第1层(40)，由于被入射的电磁波而进行光电变换，电位发生变化；以及包含第2二维原子层材料的第2层(30)，设置于第1面上，经由绝缘膜(22)被提供电位的变化，产生电量的变化。由此，检测入射的电磁波作为电量的变化，能够提供针对入射的电磁波的响应速度快的高灵敏度的电磁波检测器(1)。