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公开(公告)号:CN108291669A
公开(公告)日:2018-07-17
申请号:CN201680067322.5
申请日:2016-05-26
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 作为封闭用弹性体的封闭用橡胶体(30)将形成有贯穿孔(11a)的分隔板(11)与插通于贯穿孔(11a)的制冷剂配管(P)之间的间隙封闭。封闭用橡胶体(30)包括:被压力插入部(31),该被压力插入部形成有供制冷剂配管(P)以压力插入的开口,并且与以压力插入于开口的制冷剂配管(P)的外表面弹性且液密地压接;嵌合部(32),该嵌合部在弹性地按压贯穿孔(11a)的内周面的状态下与分隔板(11)的贯穿孔(11a)的周缘部分液密地嵌合;以及允许变位部(33),该允许变位部将被压力插入部(31)与嵌合部(32)之间封闭,并且通过发生弹性变形来允许两者在与分隔板(11)平行的方向上相对变位。
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公开(公告)号:CN104646823B
公开(公告)日:2017-07-14
申请号:CN201410682333.7
申请日:2014-11-24
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B5/10
Abstract: 目的在于得到一种不受针对反射镜的粘接的制约,能够对像散进行校正的形状可变镜以及激光加工装置。具有:第一按压部件,其对反射镜(1)的反射面(1sf)外周部的相对的2个部位(Pxf)进行按压;第二按压部件,其对反射镜(1)的背面(1sb)外周部的相对的2个部位(Pyb)进行按压;以及变形量调整部(4),其以第一按压部件按压反射面(1sf)的位置、和第二按压部件按压背面(1sb)的位置,绕穿过反射面(1sf)的中心的轴而成为不同的位置的方式,对第二按压部件相对于第一按压部件的绕轴的位置进行定位,并且使轴向上的第一按压部件和第二按压部件的间隔变化,对由按压引起的反射镜(1)的变形量进行调整。
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公开(公告)号:CN108291669B
公开(公告)日:2019-10-11
申请号:CN201680067322.5
申请日:2016-05-26
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 作为封闭用弹性体的封闭用橡胶体(30)将形成有贯穿孔(11a)的分隔板(11)与插通于贯穿孔(11a)的制冷剂配管(P)之间的间隙封闭。封闭用橡胶体(30)包括:被压力插入部(31),该被压力插入部形成有供制冷剂配管(P)以压力插入的开口,并且与以压力插入于开口的制冷剂配管(P)的外表面弹性且液密地压接;嵌合部(32),该嵌合部在弹性地按压贯穿孔(11a)的内周面的状态下与分隔板(11)的贯穿孔(11a)的周缘部分液密地嵌合;以及允许变位部(33),该允许变位部将被压力插入部(31)与嵌合部(32)之间封闭,并且通过发生弹性变形来允许两者在与分隔板(11)平行的方向上相对变位。
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公开(公告)号:CN104646823A
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201410682333.7
申请日:2014-11-24
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00 , B23K26/042 , B23K26/38
CPC classification number: B23K26/00 , B23K26/043 , B23K26/38
Abstract: 目的在于得到一种不受针对反射镜的粘接的制约,能够对像散进行校正的形状可变镜以及激光加工装置。具有:第一按压部件,其对反射镜(1)的反射面(1sf)外周部的相对的2个部位(Pxf)进行按压;第二按压部件,其对反射镜(1)的背面(1sb)外周部的相对的2个部位(Pyb)进行按压;以及变形量调整部(4),其以第一按压部件按压反射面(1sf)的位置、和第二按压部件按压背面(1sb)的位置,绕穿过反射面(1sf)的中心的轴而成为不同的位置的方式,对第二按压部件相对于第一按压部件的绕轴的位置进行定位,并且使轴向上的第一按压部件和第二按压部件的间隔变化,对由按压引起的反射镜(1)的变形量进行调整。
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公开(公告)号:CN103128439B
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201210452192.0
申请日:2012-11-13
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种透镜单元以及激光加工装置。在激光加工装置(100)中,在fθ透镜(5)中使用了能够用温度检测器(14)测定高能量的激光波束(2)的瞬间的吸收所致的光学透镜(11a、11b)的温度变化的透镜单元(20)。在光学透镜(11a、11b)的激光波束非照射部分(16)中设置了多个温度检测器(14),控制装置(9)根据由温度检测器(14)测定的温度信号,校正激光波束(2)的聚光点位置来进行控制。
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公开(公告)号:CN110073251B
公开(公告)日:2021-06-22
申请号:CN201780076464.2
申请日:2017-11-15
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B5/10 , B23K26/064 , G02B7/185
Abstract: 形状可变镜(10)具有:圆形反射镜(1),其是具有反射面的反射镜;Y轴部件(4),其是具有作为第1板部的Y轴背板(4a)和作为第1脚部的2个Y轴脚(4b1、4b2)的第1部件;X轴部件(5),其是具有作为第2板部的X轴背板(5a)和跨过第1部件延伸而与反射镜抵接的作为第2脚部的2个X轴脚(5b1、5b2)的第2部件;距离变更部(2),其使第1板部和反射镜之间的距离与第2板部和反射镜之间的距离对称地变化;以及保持部件(6),其对第1部件和第2部件进行保持。在反射镜中,将2个第1脚部各自抵接的部位之间连结的线段、和将2个第2脚部各自抵接的部位之间连结的线段相交叉。
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公开(公告)号:CN105195904B
公开(公告)日:2020-03-10
申请号:CN201510346041.0
申请日:2015-06-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/382 , B23K26/064 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置,在多点同时照射的激光加工过程中,能够节省空间、高速且高品质地进行激光加工。激光加工装置(1)具有:作为第1激光振荡机构的激光振荡器(3a),其输出第1激光;作为第2激光振荡机构的激光振荡器(3b),其输出第2激光;作为第1副检流计式光学扫描器的副检流计式光学扫描器(7a);作为第2副检流计式光学扫描器的副检流计式光学扫描器(7b);作为激光合路机构的偏振光分束器(8);主检流计式光学扫描器(9a、9b);f‑θ透镜(10),其使来自主检流计式光学扫描器的第1激光和第2激光聚光;作为激光振荡控制机构的激光振荡器控制部(22),其对第1激光振荡机构和第2激光振荡机构分别进行独立的控制。
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公开(公告)号:CN105195904A
公开(公告)日:2015-12-30
申请号:CN201510346041.0
申请日:2015-06-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/382 , B23K26/064 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置,在多点同时照射的激光加工过程中,能够节省空间、高速且高品质地进行激光加工。激光加工装置(1)具有:作为第1激光振荡机构的激光振荡器(3a),其输出第1激光;作为第2激光振荡机构的激光振荡器(3b),其输出第2激光;作为第1副检流计式光学扫描器的副检流计式光学扫描器(7a);作为第2副检流计式光学扫描器的副检流计式光学扫描器(7b);作为激光合路机构的偏振光分束器(8);主检流计式光学扫描器(9a、9b);f-θ透镜(10),其使来自主检流计式光学扫描器的第1激光和第2激光聚光;作为激光振荡控制机构的激光振荡器控制部(22),其对第1激光振荡机构和第2激光振荡机构分别进行独立的控制。
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公开(公告)号:CN104204870A
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201280071918.4
申请日:2012-03-29
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0825 , G02B5/10 , G02B7/1815 , G02B26/06
Abstract: 曲率可变反射镜具有以曲率可变的方式构成并且在反射镜反射面侧对激光进行反射的反射镜母材(2X),反射镜母材(2X)使用弹簧材料铜合金而形成,弹簧材料铜合金使用磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni(镍)、Sn(锡)、Si(硅)、Mg(镁)、Zn(锌)、Mn(锰)、Pb(铅)、Fe(铁)以及Al(铝)中的至少1种而成的合金中的任意一种而构成。
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公开(公告)号:CN110073251A
公开(公告)日:2019-07-30
申请号:CN201780076464.2
申请日:2017-11-15
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B5/10 , B23K26/064 , G02B7/185
Abstract: 形状可变镜(10)具有:圆形反射镜(1),其是具有反射面的反射镜;Y轴部件(4),其是具有作为第1板部的Y轴背板(4a)和作为第1脚部的2个Y轴脚(4b1、4b2)的第1部件;X轴部件(5),其是具有作为第2板部的X轴背板(5a)和跨过第1部件延伸而与反射镜抵接的作为第2脚部的2个X轴脚(5b1、5b2)的第2部件;距离变更部(2),其使第1板部和反射镜之间的距离与第2板部和反射镜之间的距离对称地变化;以及保持部件(6),其对第1部件和第2部件进行保持。在反射镜中,将2个第1脚部各自抵接的部位之间连结的线段、和将2个第2脚部各自抵接的部位之间连结的线段相交叉。
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