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公开(公告)号：CN118816739A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410834838.4
申请日：2024-06-26
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种大视场空间载波全息散斑干涉的测量装置和方法，该装置包括激光光源、被测物体、双透镜系统和马赫曾德干涉模块，其中双透镜系统包括依次连接的凹透镜和凸透镜；所述激光光源的物光经过扩束后均匀照射在被测物体表面，被测物体的漫反射光经过双透镜系统后进入马赫曾德干涉模块，实现大视场空间载波全息散斑干涉的测量。与现有技术相比，本发明具有实现较小距离内对大尺寸物体的测量，测量精度高以及携带方便等优点。
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公开(公告)号：CN117092067A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311057830.3
申请日：2023-08-22
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种基于计算成像的高分辨率哈特曼相位检测方法及系统，该方法包括以下步骤：构建计算成像的哈特曼传感器检测系统，根据该系统采集穿过透镜阵列光束的强度图，通过光强传输方程计算出透镜阵列的相位分布；将被测物置于透镜阵列前方，CCD相机置于透镜阵列后方，由CCD相机采集一幅衍射强度图，透镜阵列与CCD相机的位置关系满足透镜阵列的各个子透镜衍射光斑不发生交叠；基于透镜阵列的相位分布，对所述的衍射强度图采用计算成像方法，生成待测物复振幅信息，完成检测。与现有技术相比，本发明具有在不增加任何光学元件的前提下使用哈特曼传感器实现较高分辨率波前探测以及光学元件面形检测的优点。
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公开(公告)号：CN116907335A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310660430.5
申请日：2023-06-06
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种镜面MEMS扭转测量系统及方法，其中系统包括激光器、分光镜、镜面MEMS样本、电压输入装置、平面镜、图像接收系统和计算机；方法包括以下步骤：系统搭建与图像采集：搭建镜面MEMS扭转测量系统和迈克尔逊干涉光路，采集未通电状态及不同输入电压的通电状态下的全息图；傅里叶原位频谱跟踪，更新频谱图；相位相减及制作掩膜，获取各个输入电压下的转动相位变化；MEMS扭转量标定：基于电压与转动相位变化之间的关系，构建输入电压与镜面扭转量标定表，实现MEMS扭转测量。与现有技术相比，本发明具有结构简单、操作性强，可实现镜面物体的全息实时自动化运算等优点。
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公开(公告)号：CN115854905A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211532173.9
申请日：2022-12-01
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供一种集成化同步声波激励与激光全息散斑干涉检测系统及同步测量和条纹诊断方法。所述声波激励与散斑干涉检测系统包括激光器、光纤耦合器、光阑、分光棱镜、两个光纤夹持器、定制化封装壳体、声波信号发生器、声波信号放大器、三脚架移动平台、带CCD摄像机的图像处理接收系统、带LabVIEW上位机的计算机。所述条纹诊断方法包括声波与图像采集同步、图像保存、傅里叶图像处理和条纹降噪与诊断。本发明集成化程度高、结构紧凑，可实现墙体、壁画等物体的病害分析及诊断，检测目标为被测物表面的相位差。
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公开(公告)号：CN115462742A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202211039833.X
申请日：2022-08-29
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种基于多芯光纤的空间形状感知及三维成像装置和方法。可通过一束组合多芯光纤同时实现两种功能，一种是空间形状感知，本发明的外层螺旋光栅光纤束可以通过光纤变形检测出光纤的曲率和挠率，再根据空间曲线重构算法进行空间形状的重建。另一种是三维成像，传统的内窥镜成像通常只能进行二维成像，而本发明借助计算成像技术，根据接收到的衍射图像通过迭代计算直接恢复目标组织相位信息，并且通过波前反衍技术，可以对目标组织实现三维成像。同时将不同时刻空间信息与成像信息进行数据融合，达到可视化表达。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115435697A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211000102.4
申请日：2022-08-19
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于线性回归模型的微结构台阶高度表征方法，属于微纳米计量领域。首先生成一系列微结构仿真台阶，获取仿真台阶表面各个点的高度值并计算仿真台阶的高度真值，生成预训练样本数据集，对线性回归模型进行预训练。再针对一批待测微结构样本，取样并测量微结构样本的台阶表面类型以及台阶高度范围，进而生成一系列相同台阶表面类型的微结构仿真台阶，生成二次训练样本数据集，对预训练的线性回归模型进行二次训练，利用二次训练后的线性回归模型对其余待测微结构样本进行台阶高度测量。本发明可以对微结构的台阶高度进行快速、精确地计算，对提高高端芯片等半导体元器件精密制造过程中的检测效率有重要意义。
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公开(公告)号：CN113021213B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202110209493.X
申请日：2021-02-24
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种展开式光学透镜的夹紧和储放装置，包括主架体单元、主压紧单元、辅助压紧单元、副架体单元、卡扣单元。通过本专利所设计的装置，可以一体式地实现被测件储放和夹紧，无需再使用别种夹持装置或者储放装置，降低了测量成本。通过所设计的主架体和副架体等结构，可以使得本发明所设计的装置呈现夹持状态和储放状态两种形式，功能多样，并且使用方便、简洁。
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公开(公告)号：CN112880569B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202110098452.8
申请日：2021-01-25
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于腔长校正的多表面测量方法，能够实现腔长值的预先校正和被测件表面的精确测量，主要操作步骤包括腔长预先校正过程和测量过程；依次为：将被测件放置在预估位置A；采集预估干涉图；多点平均进行FFT计算；反算腔长值，并且进行腔长位置的校正；导轨及夹具校正；将被测件通过导轨放置在测量位置B；采集测量所需干涉图；算法处理及输出各表面的初始相位；消倾斜和解包裹；各个表面的面形计算。在所述的导轨及夹具校正和测量时，需要使用导轨和夹具系统，该系统主要部分包括：一个夹具主体、一个旋钮单元、三个按压头单元、一个导轨单元。本发明方法对被测件的腔长位置进行准确测量，从而使用移相算法达到精确的测量的目标。
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公开(公告)号：CN111366099B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202010227556.X
申请日：2020-03-26
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于预分析的任意腔长下干涉加权采样解相分析方法及测量系统，针对的多表面透明被测件为透明平行平板，通过预先对加权多步解相算法进行分析，将可用参数与对应的腔长系数与算法所必须的移相参考系数储存在算法库的预分析矩阵中；利用该算法进行解相时直接调用算法库中相应的参数值并且自动地通过测距传感器对被测件到参考镜前表面的距离值，对腔长值进行测量，突破了固定的算法只能应用于固定腔长下的测量局限性问题，实现了算法便捷设计；本发明测量系统主要包括激光测距传感器、夹具组合与导轨的配合装置，夹具组合包括夹具以及导轨架。本发明导轨架能辅助激光测距传感器实现被测件距离的自动测量，易于操作，测量精度高。
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公开(公告)号：CN112880569A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110098452.8
申请日：2021-01-25
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于腔长校正的多表面测量方法，能够实现腔长值的预先校正和被测件表面的精确测量，主要操作步骤包括腔长预先校正过程和测量过程；依次为：将被测件放置在预估位置A；采集预估干涉图；多点平均进行FFT计算；反算腔长值，并且进行腔长位置的校正；导轨及夹具校正；将被测件通过导轨放置在测量位置B；采集测量所需干涉图；算法处理及输出各表面的初始相位；消倾斜和解包裹；各个表面的面形计算。在所述的导轨及夹具校正和测量时，需要使用导轨和夹具系统，该系统主要部分包括：一个夹具主体、一个旋钮单元、三个按压头单元、一个导轨单元。本发明方法对被测件的腔长位置进行准确测量，从而使用移相算法达到精确的测量的目标。
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