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公开(公告)号：CN114955980B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202210612658.2
申请日：2022-06-01
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种基于PDMS‑硅纳米膜的柔性心音传感器，属于半导体技术领域。该传感器由硅纳米膜和柔性基底PDMS组成，硅纳米膜包括压阻区、欧姆接触区和合金区，合金区的材质为铬和金的合金。制备时在SOI片的上方形成氧化层，经过浓硼扩散后形成欧姆接触区，刻蚀顶层硅后形成压阻区，溅射、腐蚀金属并退火后形成合金区，刻蚀并腐蚀埋氧层后形成屋檐结构，钻蚀埋氧层后形成悬空的硅纳米膜结构，最终将硅纳米膜转印到柔性基底PDMS上。该传感器具有较高的灵敏度，同时由于柔性基底PDMS，增加了传感器的适应性和便捷性。
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公开(公告)号：CN118817829A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202411296038.8
申请日：2024-09-18
IPC: G01N29/024
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，公开了一种基于CMUT的茶多酚浓度测量装置及方法；其中，所述茶多酚浓度测量装置包括：超声波探头模块、电源模块以及信号获取计算模块；其中，超声波探头模块包括发射端CMUT和接收端CMUT；电源模块包括信号发生器和直流电压源；信号获取计算模块用于获取发射端CMUT、接收端CMUT之间的距离以及超声飞行时间并计算获得待测茶多酚溶液的声速，与已标定茶多酚浓度的茶多酚溶液中的声速对比，得到待测茶多酚溶液的茶多酚浓度。本发明公开的技术方案，具有精度高、稳定性好、成本低、小型化、可靠性高、操作简单等优点，在茶多酚浓度检测领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN118787384A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202410866200.9
申请日：2024-07-01
Applicant: 中北大学
Abstract: 公开了一种乳腺超声CT成像系统及方法，包括：超声探头，其设置在容纳超声耦合液体介质的水箱内，上有检测孔以及在围绕检测孔圆周面布置的超声传感器阵列，超声传感器阵列包含若干用于产生超声波的阵元，一层阵元对应一层水平切片；位移定位台，用于带动超声探头沿着轴线做轴向运动以及绕轴线旋转；以及电脑，用于对采集到的超声信号进行重建成像。超声探头对乳腺做电子扫描，位移定位台调整超声探头扫描位置以覆盖阵元的间隙，这种通过电子扫描与机械扫描相结合的方式，降低了高精度断层扫描成像对CMUT超声探头的传感器密度要求。使用分时复用的方法，在降低设备硬件制造成本的同时，提高了超声成像的精度，实现了对乳腺的高精度三维立体成像。
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公开(公告)号：CN114838806B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202210357558.X
申请日：2022-04-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于尾流探测技术领域，具体为一种MEMS尾流探测传感器，解决了背景技术中的技术问题，其包括纤毛式MEMS矢量水听器、中间连接体、仿鱼类侧线保护罩和保护筒体；仿鱼类侧线保护罩将纤毛式MEMS矢量水听器罩设其中且与中间连接体的顶端固定连接；仿鱼类侧线保护罩的顶部开有四个侧线孔；保护筒体由内到外依次包括固定连接的内筒体、减振橡胶套筒和外筒体，保护筒体的顶端与中间连接体的底端密封连接。本申请将仿鱼类侧线系统和纤毛式MEMS矢量水听器结合，组合成了能够测量湍流尾流的传感器，仿鱼类侧线保护罩减少了纤毛‑十字梁换能微结构被异物碰撞的几率，同时降低了海水冲击的影响，提高了传感器探测尾流信号的准确性。
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公开(公告)号：CN116794643A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310767376.4
申请日：2023-06-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于逆投影方法技术领域，具体涉及一种基于声反射断层扫描成像的逆投影方法，运用升采样和频域匹配滤波技术解决逆投影算法中各角度下的横断面距离索引未知问题，目的在于提高横断面距离定位的准确性，进而提高声反射断层扫描声纳成像的精度和抗噪声能力。本发明充分利用匹配滤波峰值较高，抗干扰和噪声能力强的特性，以及声反射断层扫描横断面距离和匹配滤波峰值在时间上一一对应关系来估计横断面距离索引。并且本发明利用频域匹配滤波，将接收信号和参考信号的时域卷积运算转化为频域相乘，降低了计算复杂度。本发明采用频域补0处理使得时域信号升采样，提高了匹配滤波后峰值位置的准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115265754A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202211028088.9
申请日：2022-08-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种MEMS同振型三维组合水听器，属于水声传感器技术领域。该水听器包括圆球状封装舱，圆球状封装舱内设有控制电路板，控制电路板上集成有一支构成矢量通道的MEMS电容式三轴加速度计以及一支构成声压通道的MEMS电容式全向性麦克风，控制电路板上连接有输出信号缆和输入信号缆，圆球状封装舱内还设有上下对称设置的气体密封腔。该水听器集成了一款MEMS电容式三轴加速度计作为矢量通道、集成了一款MEMES全向性麦克风作为声压通道，大大减小了MEMS同振型三维组合水听器的体积，增加了MEMS同振型三维组合水听器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN113731779B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202110868102.5
申请日：2021-07-30
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种基于SOI埋氧层牺牲释放技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法，属于MEMS技术领域。该换能器包括圆形的SOI片，SOI片的正面沉积有金属上电极、背面沉积有金属下电极，SOI片的器件层和埋氧层部分设有SiC边缘支撑，SOI片的埋氧层上设有密封真空电容腔，SOI片正面的金属上电极上沉积有Parylene‑C密封层。本发明换能器的空腔结构形状规则，空腔边缘和高度均匀可控，其具有尺寸小、功耗低以及与周围介质具有固有的阻抗匹配等优点，通过沉积Parylene‑C封装起到防水的作用且具有较好的透声能力。
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公开(公告)号：CN112197750A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202011084877.5
申请日：2020-10-12
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及面向深海湍流观测的母弹展开与子弹分离装置及系统，具体而言，涉及深海检测领域。该面向深海湍流观测的母弹展开与子弹分离装置包括：中心杆、四个浮体、浮体固定架、子弹限位杆、四个拉杆、四个支架、四个子弹、支架座、耐压仓、释放机构和拉杆座；在未将该四个子弹进行释放的时候，该拉杆座与释放结构连接在一起，当释放该四个子弹的过程中，该释放结构与该拉杆座的断开连接，使得该拉杆座和该支架座在重力的作用下下滑，四个支架分别对四个子弹向下的拉扯力大于该子弹的支撑力，使得子弹随着支架下滑，并且在下滑的过程中，当子弹与该支架的夹角大于该卡接槽的最大卡接角时，该子弹脱离该支架。
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公开(公告)号：CN108975266A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810784683.2
申请日：2018-07-17
Applicant: 中北大学
IPC: B81B7/02 , B81C1/00 , A61B5/0408
Abstract: 本发明为一种基于针尖阵列结构的石墨烯-PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法，包括顶面为针尖阵列结构设计的石墨烯-PDMS柔性导电衬底，针尖阵列结构上沉积有聚对二甲苯薄膜，聚对二甲苯薄膜上溅射有金属种子层，金属种子层上溅射有金属层；石墨烯-PDMS柔性导电衬底的底面上涂覆有导电银胶层。本发明的工艺步骤简单、成本较低、通过模具的制作有利于批量化生产。本发明制备用到的材料如导电银胶、PDMS、石墨烯、聚对二甲苯薄膜以及溅射的金属钛和金都在生物兼容性方面表现良好，能有效抑菌并减少对皮肤的刺激。本发明设计的针尖阵列结构有较大的接触面积，与皮肤直接接触可穿过角质层，能有效降低皮肤-电极的接触阻抗，从而获得稳定的心电信号。
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公开(公告)号：CN106218838B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201610573834.0
申请日：2016-07-21
Abstract: 本发明涉及海洋湍流观测技术，具体是一种基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统。本发明解决了现有海洋湍流观测技术无法实现全海深同步多采样点立体观测的问题。基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统，包括母弹观测系统和子弹观测系统；所述母弹观测系统包括母弹壳体、母弹整流罩、提拉锁、姿态稳定束、通信模块、母弹传感模块、母弹运行监测模块、母弹数据存储模块、母弹微控单元、母弹电池、母弹电磁抛载机构、母弹配重、水深监测模块、机械臂；所述子弹观测系统包括子弹壳体、子弹整流罩、导航定位模块、子弹传感模块、子弹运行监测模块、子弹数据存储模块、子弹微控单元、子弹电池。本发明适用于海洋湍流观测。
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