一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元

    公开(公告)号:CN118763422A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202410964811.7

    申请日:2024-07-18

    Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元,属于射频前端器件技术领域。其由微带天线单元,复合梁MEMS开关,直流偏置线,金属短截线,圆形通孔,金属电极,氮化硅绝缘层,硅基衬底和背附金属地组成。复合梁MEMS开关由二氧化硅材料固支梁和吸附在其下方的金属梁组成而成。通过在直流端口输入不同直流电压来控制开关的断开与导通状态;利用MEMS开关控制电流路径的智能超表面调制天线具有隔离度高、插入损耗低和功耗低的特征。该天线可以实现在一定带宽范围内(295‑305GHZ)具有180°发射相位差,且MEMS开关工作在300GHZ以下,均可以保证在断开状态隔离度高于15dB;导通状态下插入损耗低于1dB。微带天线单元和开关结构简单、制造方便,可以通过硅基工艺进行制造。

    一种太赫兹波段高电容比的金属并联式RF MEMS开关

    公开(公告)号:CN119786915A

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202411653916.7

    申请日:2024-11-19

    Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段高电容比的金属并联式RF MEMS开关,属于射频前端器件领域。整体结构由支流端口金属块,直流偏置线,微带线匹配结构,金属梁MEMS开关,金属梁的金属电极,氮化硅绝缘层,硅基衬底,共面波导金属地和金属地组成。金属梁的金属锚点连接到共面波导金属地,右上侧的直流端口通过直流偏置线连接到共面波导金属地,左上侧的直流端口通过直流偏置线连接到金属电极,可以通过在左侧的直流端口输入不同直流电压来控制金属梁的抬起与吸附到电极的状态,分别对应开关的导通与断开状态;本发明设计的并联MEMS开关工作与103.33G‑170G之间,保证断开状态隔离度高于33.67dB;导通状态插入损耗低于0.8dB。微秒量级的反应时间,且不易发生破坏性形变;结构简单。

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