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公开(公告)号:CN114695129A
公开(公告)日:2022-07-01
申请号:CN202210148236.4
申请日:2022-02-17
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01L21/48 , H01L21/50 , H01L21/52 , H01L23/053 , H01L23/367
Abstract: 本发明提供了一种表面凹槽金属化热沉结构陶瓷管壳的制备方法及陶瓷管壳,属于陶瓷管壳制备技术领域,包括:在陶瓷基板的正面和/或背面刻蚀凹槽;在陶瓷基板的正面和背面气相沉积金属种子层;在金属种子层上粘附n层光敏材料;在光敏材料上进行预设图形的曝光和显影,形成线路图案;在显露出的金属种子层上面沉积金属形成金属化图形,在凹槽内沉积金属形成热沉金属块;通过物理打磨将金属化图形减薄;去除陶瓷基板上剩余的光敏材料;刻蚀露出的金属种子层在非图形区域上制备镍钯金金属层。本发明在接触芯片的陶瓷表面开槽,生长热沉金属块,热沉金属块将芯片产生的热量带走并散发出去,芯片周围温度较低,工作稳定性大幅提高。
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公开(公告)号:CN114826242A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202210278146.7
申请日:2022-03-21
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H03K19/0175
Abstract: 本发明提供一种微波功率开关电路、装置及控制方法。该电路包括射频输入端口、第一匹配元件、第二匹配元件、至少一个射频输出端口和至少一个开关模块;开关模块和射频输出端口一一对应;开关模块包括第一开关支路;第一开关支路包括第一开关管、第二开关管和吸收负载;在同一第一开关支路中,第一开关管与吸收负载串联连接,第二开关管与吸收负载并联连接;当微波功率开关电路工作时,同一开关模块中的第一开关管的开关状态和第二开关管的开关状态相反,以使该开关模块对应的射频输出端口与射频输入端口之间处于导通状态或隔离状态。本发明可以使微波功率开关电路的插损降低,并提高其隔离度。
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