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公开(公告)号：CN111289772B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202010135345.3
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , B81C1/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；底板与空腔结构层通过底板键合环键合，空腔结构层与悬臂梁固支边框通过空腔基板键合环键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，悬臂梁固支边框与顶板通过顶板键合环键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用低深宽比的质量块和空腔结构层，总体结构简单、制备工艺简化、制作方便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。
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公开(公告)号：CN110426122B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN201910692008.1
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明涉及一种表面声波波束散射检测芯片，包括压电基片，制作于压电基片表面的第一输入叉指换能器、第二输入叉指换能器、第三输入叉指换能器、第四输入叉指换能器、第一输出叉指换能器、第二输出叉指换能器、第一短路反射器、第二短路反射器、第三短路反射器、第四短路反射器、内吸声胶胶膜、第一外吸声胶胶膜、第二外吸声胶胶膜以及第一输入电极、第二输入电极、第一输出电极、第二输出电极和若干个接地电极；本发明通过在输入叉指换能器的一侧设置与之偏轴的短路反射器和输出叉指换能器，构成一个复合谐振器结构，用于检测输入叉指换能器所发射的表面声波波束中因波束偏向、衍射而形成的散射波束。
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公开(公告)号：CN108768333B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201810535998.3
申请日：2018-05-30
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明涉及一种浮置复合叉指结构及其制备方法，包括基片、第一复合指条组、第二复合指条组、第一汇流电极、第二汇流电极；第一复合指条组包含若干第一复合指条，所述第二复合指条组包含若干第二复合指条；所述各个第一复合指条的金属指外端汇接于第一汇流电极，各个第一复合指条的金属连接指外端汇接于第二汇流电极；所述各个第二复合指条的金属指外端汇接于第二汇流电极，各个第二复合指条的金属连接指外端汇接于第一汇流电极。本发明利用介质延长指替代常规叉指换能器中叉指指条的指端间隙，并使各个复合指条浮置于压电基片表面之上，构成一种复合指条结构，既形成可用于激发或接收声表面波的叉指结构，又便于改变叉指结构中叉指指条的排列周期。
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公开(公告)号：CN107356997B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201710554696.6
申请日：2017-07-10
Applicant: 扬州大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开一种多倍频栅条型周期栅阵制备方法，包括如下步骤：(10)基准栅条获取：在基片上通过一次移动周期栅阵光刻掩膜版、二次曝光，剥离，得到基准组栅条；(20)重复栅条获取：在已得到基准组栅条或者已得到基准组栅条和部分重复组栅条的基片上，通过二次移动周期栅阵光刻掩膜版、二次曝光、剥离，得到一组重复组栅条；(30)栅条阵列获取：重复步骤(20)重复栅条获取，制备所需组数的重复组栅条，得到多倍频栅条型周期栅阵。本发明的多倍频栅条型周期栅阵制备方法，工艺技术及设备要求低、制造成本低。
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公开(公告)号：CN107395155B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201710521442.4
申请日：2017-06-30
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明涉及一种单片集成声表面波时延组件，包括压电基片，压电基片上组成多个时延单元的输入叉指换能器和多个输出叉指换能器,用于选通时延单元的多个金属梁及其固定电极、控制金属梁的金属梁下拉电极及其下拉信号输入线、下拉信号输入电极以及输出信号总电极和输出接地总电极，所述多个输出叉指换能器位于输入叉指换能器的一侧且分别与输入叉指换能器保持不同的距离。本发明采用片上集成的时延单元选通互连结构，并采用动态特性与静态特性俱优的微机械式开关作为开关元件，具有结构紧凑、射频损耗小，抗干扰能力强等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107843859B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201710899443.2
申请日：2017-09-28
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明公开一种基于声表面波谐振器的板级集成磁感应传感器,包括高频基板(7)、贴附在所述高频基板(7)顶面一侧芯片粘接区(75)的声表面波谐振器芯片和蚀刻在所述高频基板(7)顶面另一侧的平面磁感应线圈(71)，还包括蚀刻在所述高频基板(7)底面的多个金属膜导线；所述平面磁感应线圈(71)的内端和外端通过金属膜导线、金属通孔、直流电极以及键合引线(9)分别与声表面波谐振器电压调控电极层和高频基板上直流接地电极相连。本发明的基于声表面波谐振器的板级集成磁感应传感器,便于实现磁感应信号的数字化采集与处理，且调节灵活、方便。
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公开(公告)号：CN106643539B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201610936657.8
申请日：2016-10-25
Applicant: 扬州大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明涉及一种基于LED彩色发光阵列的结构表面应变直观评价方法，包括以下步骤：（1）在基板上制作若干组LED彩色发光单元，若干组LED彩色发光单元构成LED彩色发光阵列；（2）对若干组LED彩色发光单元构成的LED彩色发光阵列进行校正，使各个LED彩色发光单元均显现白色；（3）将基板贴合在被评价结构表面；（4）目测或利用光色测量仪器分析基板表面LED彩色发光阵列的表观光色分布及变化，定性或定量评价相应结构表面的应变状态。所述LED彩色发光单元由红、绿、蓝三种光色的LED组成。本发明利用基板表面LED彩色发光阵列的表观光色与被评价结构表面对应位置处应变之间的关系，定性或定量分析和评价相应结构表面的应变分布及变化，原理独特、操作简便易行。
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公开(公告)号：CN107843859A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201710899443.2
申请日：2017-09-28
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明公开一种基于声表面波谐振器的板级集成磁感应传感器,包括高频基板(7)、贴附在所述高频基板(7)顶面一侧芯片粘接区(75)的声表面波谐振器芯片和蚀刻在所述高频基板(7)顶面另一侧的平面磁感应线圈(71)，还包括蚀刻在所述高频基板(7)底面的多个金属膜导线；所述平面磁感应线圈(71)的内端和外端通过金属膜导线、金属通孔、直流电极以及键合引线(9)分别与声表面波谐振器电压调控电极层和高频基板上直流接地电极相连。本发明的基于声表面波谐振器的板级集成磁感应传感器,便于实现磁感应信号的数字化采集与处理，且调节灵活、方便。
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公开(公告)号：CN107817456A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710899441.3
申请日：2017-09-28
Applicant: 扬州大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明公开一种基于声表面波谐振器的单片集成磁感应传感器，包括压电基片(1)、蚀刻在压电基片(1)上的声表面波谐振器、蚀刻在压电基片(1)上的平面磁感应线圈(8)，所述平面磁感应线圈(8)环绕在声表面波谐振器外围，平面磁感应线圈(8)的内端依次通过直流偏置电极(44)、直流偏置跨连过桥(94)与声表面波谐振器相连，其外端与蚀刻在压电基片(1)上边缘处的直流偏置接地电极(104)相连。本发明的基于声表面波谐振器的单片集成磁感应传感器,集成度高、容易生产加工。
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公开(公告)号：CN107395155A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710521442.4
申请日：2017-06-30
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明涉及一种单片集成声表面波时延组件，包括压电基片，压电基片上组成多个时延单元的输入叉指换能器和多个输出叉指换能器,用于选通时延单元的多个金属梁及其固定电极、控制金属梁的金属梁下拉电极及其下拉信号输入线、下拉信号输入电极以及输出信号总电极和输出接地总电极，所述多个输出叉指换能器位于输入叉指换能器的一侧且分别与输入叉指换能器保持不同的距离。本发明采用片上集成的时延单元选通互连结构，并采用动态特性与静态特性俱优的微机械式开关作为开关元件，具有结构紧凑、射频损耗小，抗干扰能力强等优点。
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