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公开(公告)号：CN114586035A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202080074050.8
申请日：2020-10-22
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 卡皮尔·优曼许·萨维拉尼 , 阿塔施·巴苏 , 大卫·迈克尔·弗拉德 , 米卡尔·达内克 , 埃米莉·安·奥尔登
IPC: G06F30/27 , G06N20/00 , H01L21/768 , G06F119/18
Abstract: 提出了使用机器学习(ML)来确定用于制造半导体的制程以加速制程的定义的方法、系统和计算机程序。一个一般方面包括一种方法，该方法包括用于执行用于处理部件的实验的操作，每个实验由识别用于制造设备的参数的一组制程中的一个制程控制。该方法还包括用于执行虚拟模拟以处理部件的操作，每个模拟由该组制程中的一个制程控制。通过使用实验结果和来自虚拟模拟的虚拟结果训练ML算法以获得ML模型。该方法还包括用于接收对部件的期望处理的规范，以及通过ML模型创建用于根据规范处理部件的新制程的操作。
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