公开(公告)号：CN119351952B

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202411919073.0

申请日：2024-12-25

Applicant: 杭州柯能新能源有限公司 ,  杭州柯林电气股份有限公司

Inventor： 赵福威 ,  谢东 ,  聂明军 ,  梁素霞 ,  宋友 ,  俞永刚 ,  沈晶

IPC: C23C14/26 ,  C23C14/54 ,  H10K71/16

Abstract: 本申请提供了一种蒸镀设备的电极模块、蒸镀设备及蒸镀方法，所述电极模块包括：第一电极杆，与蒸镀设备的一个电极底座电连接；第二电极杆，与蒸镀设备的另一个电极底座电连接，以及两个承载机构，分别设置于所述第一电极杆和所述第二电极杆，所述承载机构在所述第一电极杆和/或所述第二电极杆上的高度可调；所述承载机构用于承载钼舟；该电极模块的电极杆具有刻度，能够在对钼舟进行更换时可以快速且精确地调节其所需要的高度，避免了在实际操作中，钼舟与待蒸镀靶材之间的距离与预设参数存在偏差进而对靶材表面成膜均匀性产生影响的问题。

公开(公告)号：CN119351952A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411919073.0

申请日：2024-12-25

Applicant: 杭州柯能新能源有限公司 ,  杭州柯林电气股份有限公司

Inventor： 赵福威 ,  谢东 ,  聂明军 ,  梁素霞 ,  宋友 ,  俞永刚 ,  沈晶

IPC: C23C14/26 ,  C23C14/54 ,  H10K71/16

Abstract: 本申请提供了一种蒸镀设备的电极模块、蒸镀设备及蒸镀方法，所述电极模块包括：第一电极杆，与蒸镀设备的一个电极底座电连接；第二电极杆，与蒸镀设备的另一个电极底座电连接，以及两个承载机构，分别设置于所述第一电极杆和所述第二电极杆，所述承载机构在所述第一电极杆和/或所述第二电极杆上的高度可调；所述承载机构用于承载钼舟；该电极模块的电极杆具有刻度，能够在对钼舟进行更换时可以快速且精确地调节其所需要的高度，避免了在实际操作中，钼舟与待蒸镀靶材之间的距离与预设参数存在偏差进而对靶材表面成膜均匀性产生影响的问题。