表面性状测量装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108931225B

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN201810510846.8

    申请日:2018-05-24

    Abstract: 提供一种表面性状测量装置,其中,更换测量器容易且安全。能够通过将测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器来更换测量器。测量器包括支架,并且支架包括用于将信号传送到测量器和从测量器接收信号以及对测量器给电的第一连接器。驱动机构部包括支撑框架,支架可拆卸地安装到支撑框架,并且支撑框架包括电连接到第一连接器的第二连接器。在第一连接器与第二连接器连接的状态下,信号在第一连接器与第二连接器之间传送和接收,第二连接器对第一连接器给电。第一连接器和第二连接器能够热插拔。即,当测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器时,测量器和驱动机构部能够在通电的情况下被插入和移除。

    表面纹理测量设备、其控制器和用于控制其的方法

    公开(公告)号:CN103308020B

    公开(公告)日:2017-07-14

    申请号:CN201310140513.8

    申请日:2013-03-08

    CPC classification number: G01B5/28 G01B21/042 G01B21/30

    Abstract: 一种能解决用于每个完全显示量程的误差的表面纹理测量设备,一种用于该表面纹理测量设备的控制器,以及一种用于控制该表面纹理测量设备的方法,其中包括选择任一显示量程作为参考量程,并定义用于每个显示量程的校准测量值;替换所述测量值而依次将校准测量值输入到对应于参考量程的量程放大器,以获得参考显示值rDATAi;将校准测量值输入到对应于每个显示量程的量程放大器,然后获得AD转换值ADi和显示值DATAi;计算增益误差率ki=rDATAi/DATAi、显示分辨率DIVi=DATAi/ADi、和已校正显示分辨率cDIVi=DIVi×ki;以及显示已校正显示值cDIVi=DIVi×ki。

    测定装置
    3.
    发明公开
    测定装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN118730012A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410365539.0

    申请日:2024-03-28

    Abstract: 本发明的表面性状测定机(1)具备:显示部(31);触摸面板(33),其与显示部(31)重叠配置;键组(34),其包含多个物理键(34A~34D);显示控制部(413),其在显示部(31)显示第一设定画面(SS1);设定部(414),其根据来自触摸面板(33)对第一设定画面(SS1)的输入操作来生成测定条件;存储部(42),其存储由设定部(414)生成的测定条件;输入控制部(415),其在无效状态与有效状态之间切换触摸面板(33)。在触摸面板(33)为无效状态时,显示控制部(413)能够根据来自键组(34)的输入操作在显示部(31)显示第二设定画面(SS2),设定部(414)能够根据来自键组(34)对第二设定画面(SS2)的输入操作,从存储部(42)读出测定条件。

    表面纹理测量设备、其控制器和用于控制其的方法

    公开(公告)号:CN103308020A

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201310140513.8

    申请日:2013-03-08

    CPC classification number: G01B5/28 G01B21/042 G01B21/30

    Abstract: 一种能解决用于每个完全显示量程的误差的表面纹理测量设备,一种用于该表面纹理测量设备的控制器,以及一种用于控制该表面纹理测量设备的方法,其中包括选择任一显示量程作为参考量程,并定义用于每个显示量程的校准测量值;替换所述测量值而依次将校准测量值输入到对应于参考量程的量程放大器,以获得参考显示值rDATAi;将校准测量值输入到对应于每个显示量程的量程放大器,然后获得AD转换值ADi和显示值DATAi;计算增益误差率ki=rDATAi/DATAi、显示分辨率DIVi=DATAi/ADi、和已校正显示分辨率cDIVi=DIVi×ki;以及显示已校正显示值cDIVi=DIVi×ki。

    表面性状测量装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108931225A

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201810510846.8

    申请日:2018-05-24

    Abstract: 提供一种表面性状测量装置,其中,更换测量器容易且安全。能够通过将测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器来更换测量器。测量器包括支架,并且支架包括用于将信号传送到测量器和从测量器接收信号以及对测量器给电的第一连接器。驱动机构部包括支撑框架,支架可拆卸地安装到支撑框架,并且支撑框架包括电连接到第一连接器的第二连接器。在第一连接器与第二连接器连接的状态下,信号在第一连接器与第二连接器之间传送和接收,第二连接器对第一连接器给电。第一连接器和第二连接器能够热插拔。即,当测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器时,测量器和驱动机构部能够在通电的情况下被插入和移除。

    驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法

    公开(公告)号:CN108733096A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810351016.5

    申请日:2018-04-18

    Abstract: 提供一种驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法,能够根据载置于台上的对象物的重量等来实现恰当的驱动控制。通过空气轴承使台上浮,测定通过空气轴承处于上浮的状态的台的高度来作为第一高度。将工件载置于台,在载置有工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度。计算第一高度与第二高度之差来作为下沉量,根据下沉量来计算工件的重量。根据计算出的所述工件重量来决定台的旋转驱动或者水平移动的上限速度。以使台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。

    表面性状测定机和表面性状判定方法

    公开(公告)号:CN115388746A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202210566626.3

    申请日:2022-05-23

    Inventor: 本田博臣

    Abstract: 本发明提供一种表面性状测定机和表面性状判定方法。表面性状测定机具备:参数设定部(422),其设定与工件的表面性状相关的一个以上的参数;测定部(423),其基于扫描工件或主工件的表面所得到的位移测定数据,来计算与参数对应的测定值;判定值计算部(424),其将主工件的测定值设为基准值,将相对于基准值成为规定的比例的值设为公差,来计算与参数对应的判定值;以及判定部(425),其针对每个参数而将工件的测定值与判定值进行比较。

    驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法

    公开(公告)号:CN108733096B

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN201810351016.5

    申请日:2018-04-18

    Abstract: 提供一种驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法,能够根据载置于台上的对象物的重量等来实现恰当的驱动控制。通过空气轴承使台上浮,测定通过空气轴承处于上浮的状态的台的高度来作为第一高度。将工件载置于台,在载置有工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度。计算第一高度与第二高度之差来作为下沉量,根据下沉量来计算工件的重量。根据计算出的所述工件重量来决定台的旋转驱动或者水平移动的上限速度。以使台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。

    表面性能测定仪及表面性能测定方法

    公开(公告)号:CN103322966B

    公开(公告)日:2017-08-25

    申请号:CN201310085026.6

    申请日:2013-03-18

    CPC classification number: G01B5/28 G01B5/20 G01B21/047

    Abstract: 一种表面性能测定仪及表面性能测定方法,执行包含如下动作:助起动区间设定动作,使触针向原点移动,当触针到达原点位置,则将触针制动,使触针在越过原点位置的状态下停止,在该状态下,等待测定开始的指示;工件调整动作,使停止的触针和工件的测定部位接触;助起动动作,使停止的触针向与所述越过方向反向的测定方向移动;测定动作,当触针通过助起动动作而穿过了原点位置,则取得来自检测器的检测数据的同时继续触针的移动。

    表面性能测定仪及表面性能测定方法

    公开(公告)号:CN103322966A

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN201310085026.6

    申请日:2013-03-18

    CPC classification number: G01B5/28 G01B5/20 G01B21/047

    Abstract: 一种表面性能测定仪及表面性能测定方法,执行包含如下动作:助起动区间设定动作,使触针向原点移动,当触针到达原点位置,则将触针制动,使触针在越过原点位置的状态下停止,在该状态下,等待测定开始的指示;工件调整动作,使停止的触针和工件的测定部位接触;助起动动作,使停止的触针向与所述越过方向反向的测定方向移动;测定动作,当触针通过助起动动作而穿过了原点位置,则取得来自检测器的检测数据的同时继续触针的移动。

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