一种用于真空反应设备的破真空装置

    公开(公告)号:CN222226650U

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN202420688484.2

    申请日:2024-04-03

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于真空反应设备的破真空装置,包括进气箱,进气箱一侧面设置有进气管,进气箱远离进气管的另一侧面布设有布气管,布气管与进气箱连接位置内侧设置有充气橡胶环,布气管外环侧设置有与布气管内部相通的布气环,布气环侧面上设置有布气孔,充气橡胶环上连接有分气管,分气管与进气箱内侧面通过管箍连接,分气管下侧设置有充气管。本实用新型进入到真空环境的气体从布气孔吹出,相邻布气环上的布气孔使得气体的动能相互撞击抵消,进而减少气体的动能,避免吹落杂质污染晶圆;另一路气体通过充气管和分气管可以充入到充气橡胶环内,进而调节充气橡胶环的膨胀程度,使得布气管的进气内孔直径得到调节,保证破真空效果。

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