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公开(公告)号：CN107532890B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201680025227.9
申请日：2016-03-22
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 本发明提供三维测量装置，能够在利用相移法进行三维测量时提高便利性和普遍性。基板检查装置(1)包括向印刷基板(2)照射光图案的照明装置(4)、以及拍摄该印刷基板(2)的相机(5)。基板检查装置(1)构成为能够切换成：在获取相位不同的三组图像数据时，在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的第一拍摄模式；在获取相位不同的三组图像数据时，在相同相位的光图案之下分两次进行拍摄的第二拍摄模式；在获取相位不同的四组图像数据时，在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的第三拍摄模式；在获取相位不同的四组图像数据时，在相同相位的光图案之下分两次进行拍摄的第四拍摄模式。
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公开(公告)号：CN108713127A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201780014921.5
申请日：2017-02-15
Applicant: CKD株式会社
IPC: G01B11/24 , G01B9/02 , G01B11/02 , G01N21/88 , G01N21/956
CPC classification number: G01B9/02 , G01B11/02 , G01B11/24 , G01N21/88 , G01N21/956
Abstract: 提供一种三维测量装置，能够利用波长不同的光扩大测量范围，并且通过测量效率。三维测量装置(1)包括：第一投光系统(2A)，使作为第一波长光和第二波长光的合成光的第一光入射至入射偏振分光器(60)的第一面(60a)；第二投光系统(2B)，使作为第三波长光和第四波长光的合成光的第二光入射至入射偏振分光器(60)的第二面(60b)；第一拍摄系统(4A)，能够将从所述第二面(60b)射出的第一光涉及的输出光分离为第一波长光涉及的输出光和第二波长光涉及的输出光并分别拍摄这些光；以及第二拍摄系统(4B)，能够将从所述第一面(60a)射出的第二光涉及的输出光分离为第三波长光涉及的输出光和第四波长光涉及的输出光并分别拍摄这些光。
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公开(公告)号：CN107532890A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680025227.9
申请日：2016-03-22
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 本发明提供三维测量装置，能够在利用相移法进行三维测量时提高便利性和普遍性。基板检查装置(1)包括向印刷基板(2)照射光图案的照明装置(4)、以及拍摄该印刷基板(2)的相机(5)。基板检查装置(1)构成为能够切换成：在获取相位不同的三组图像数据时，在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的第一拍摄模式；在获取相位不同的三组图像数据时，在相同相位的光图案之下分两次进行拍摄的第二拍摄模式；在获取相位不同的四组图像数据时，在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的第三拍摄模式；在获取相位不同的四组图像数据时，在相同相位的光图案之下分两次进行拍摄的第四拍摄模式。
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公开(公告)号：CN103162641B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201210132207.5
申请日：2012-04-27
Applicant: CKD株式会社
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/2509 , G01B11/2513
Abstract: 本发明提供一种三维测量装置，其中，在采用相移法而进行三维测量时，能谋求测量精度的提高，并且能谋求测量时间的缩短。基板检查装置包括：对印刷电路板照射条纹状的光图案的照射装置；对其摄像的照相机；根据图像数据进行三维测量的控制装置。照射装置包括光源与液晶快门，该液晶快门形成用于将该光变换为条纹状的光图案的光栅。控制装置在第1照射装置的第1光图案的条件下进行第1摄像处理，在其结束的同时，开始液晶快门的光栅切换，在不等待该光栅切换完成的情况下，在第2照射装置的第2光图案的条件下进行第2摄像处理，在其结束的同时，开始液晶快门的光栅切换，在不等待该光栅切换完成的情况下，进行下一第1摄像处理。
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公开(公告)号：CN102954764A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210167128.8
申请日：2012-05-23
Applicant: CKD株式会社
Inventor： 石垣裕之
CPC classification number: G01N21/95684 , G01N2021/95638 , H05K3/3436 , H05K3/3484
Abstract: 本发明涉及一种基板检查装置。本发明的课题在于提供可谋求检查精度的提高的基板检查装置。基板检查装置进行安装区域内的焊锡膏(4)和抗蚀膜(5)的表面的三维测定，并且将规定的平面设定为第1假想基准面(K1)，该规定的平面根据各焊锡膏(4)的最高点的位置信息而计算出，另外，将该第1假想基准面(K1)沿与基底基板(2)的表面(2a)相垂直的方向下降到规定位置，将其设定为第2假想基准面(K2)。接着，计算焊锡膏(4)相对该第2假想基准面(K2)的突出量，据此，判断该焊锡膏(4)的印刷状态是否良好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107532891B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201680025912.1
申请日：2016-01-08
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 提供一种三维测量装置，当进行利用了相移法的三维测量时，能够以更短时间实现更高精度的测量。基板检查装置(1)包括：向印刷基板(2)照射预定的光图案的两个照明装置(4A、4B)；对被照射光图案部分进行拍摄的相机(5)；以及进行各种图像处理、运算处理等的控制装置(6)。并且，在第一照射装置(4A)的第一光图案下执行了第一拍摄处理后，不等待第一液晶栅格(4Ab)的切换处理的完成，能够在第二照射装置(4B)的第二光图案下执行第二拍摄处理。在第二光图案所涉及的测量中，利用通过预定的拍摄条件确定的增益与偏移的关系、以及根据图像数据上的各像素的亮度值确定的增益或者偏移的值，基于在相位变化为2组的第二光图案下拍摄的2组的图像数据，通过相移法进行高度测量。
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公开(公告)号：CN107110640B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201680005622.0
申请日：2016-05-16
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: G01B9/0203 , G01B9/02007 , G01B9/02011 , G01B9/02018 , G01B9/02024 , G01B9/02027 , G01B9/02057 , G01B9/02079 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/0205 , H01L22/12 , H05K3/00
Abstract: 提供一种三维测量装置，能够利用波长不同的两种光扩大测量范围，并且提高测量効率。三维测量装置(1)包括：偏振分光器(20)，能够将入射的预定的光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光，将一者作为测量光照射至工件(W)且将另一者作为参照光照射至参照面(23)，并且将它们再次合成而射出；第一投光系统(2A)，使具有第一波长的第一光入射至该偏振分光器(20)的第一面(20a)；第二投光系统(2B)，使具有第二波长的第二光入射至偏振分光器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第二面(20b)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第一面(20a)射出的所述第二光。
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公开(公告)号：CN107110640A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201680005622.0
申请日：2016-05-16
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: G01B9/0203 , G01B9/02007 , G01B9/02011 , G01B9/02018 , G01B9/02024 , G01B9/02027 , G01B9/02057 , G01B9/02079 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/0205 , H01L22/12 , H05K3/00
Abstract: 提供一种三维测量装置，能够利用波长不同的两种光扩大测量范围，并且提高测量効率。三维测量装置(1)包括：偏振分光器(20)，能够将入射的预定的光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光，将一者作为测量光照射至工件(W)且将另一者作为参照光照射至参照面(23)，并且将它们再次合成而射出；第一投光系统(2A)，使具有第一波长的第一光入射至该偏振分光器(20)的第一面(20a)；第二投光系统(2B)，使具有第二波长的第二光入射至偏振分光器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第二面(20b)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第一面(20a)射出的所述第二光。
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公开(公告)号：CN103245301A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201210275511.5
申请日：2012-07-31
Applicant: CKD株式会社
IPC: G01B11/24 , G02F1/133 , G02F1/1343
Abstract: 提供能够有效地提高测量精度的三维测量装置。基板检查装置包括：对印刷基板照射条纹状的光图案的照射装置；对光图案进行拍摄的相机；以及基于拍摄的图像数据进行三维测量的控制装置。照射装置包括发射光的光源、以及将该光转换成条纹状的光图案的液晶光栅(4b)。液晶光栅(4b)在一对玻璃基板(31、32)之间形成有液晶层，并包括配置在其中一个玻璃基板(31)上的公共电极(33)和并排设置在另一个玻璃基板(32)上的多个带状电极(34)。并且，将带状电极(34)分成6条为1组的组，各组的带状电极(34a)等彼此分别并联连接，所述并联连接的带状电极(34a)群等分别与同一个开关元件(36a～36f)连接，并由该开关元件(36a～36f)分别控制。
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公开(公告)号：CN1261737C
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200310118256.4
申请日：2003-12-08
Applicant: CKD株式会社
IPC: G01B11/24 , H05K3/00 , G01N21/956
Abstract: 本发明的课题在于提供一种测定装置，该测定装置即使在衬底发生翘曲等的情况下，仍不进行物理的矫正，可进行更加正确的测定。三维测定装置(1)包括三维测定用照射机构(5)；可通过Z轴移动机构(9)上下移动的CCD照相机(6)；主控制机构(7)。伴随各拍摄区域的拍摄和测定，在规定的拍摄区域，测定相对预定的基准标高的高度方向的偏差量，在该偏差量在预定的允许范围内的场合，在保持相对高度关系的状态，进行该区域的测定用的拍摄，当转移到下一拍摄区域时，按照偏差量，对相对高度关系进行补偿。在偏差量不在允许范围内的场合，按照偏差量，对相对高度关系进行补偿后，进行测定用的拍摄。
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