晶圆的研磨抛光加工方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119927788A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510428647.2

    申请日:2025-04-08

    Abstract: 本发明提供了一种晶圆的研磨抛光加工方法,属于半导体技术领域,包括以下步骤:S1、采用边缘塌边工艺对晶圆进行一次磨削,获取半成品晶圆;S2、采用边缘凸起工艺对半成品晶圆进行二次磨削,修正半成品晶圆的厚度偏差,获取晶圆成品;步骤S1中的边缘塌边工艺和步骤S2中的边缘凸起工艺的顺序可调。本发明提供的晶圆的研磨抛光加工方法,将现有的单次研磨改为两次研磨,通过对两种研磨方法的不同加工效果进行叠加,将单次研磨加工带来的单向偏差互相抵消,从而实现更低的晶圆中心区域与边缘区域厚度偏差的加工效果,提高了晶圆表面质量的均匀性。

    一种脆硬工件自动化研磨设备及工艺

    公开(公告)号:CN119927762A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510297876.5

    申请日:2025-03-13

    Inventor: 龙志东

    Abstract: 本发明公开了一种脆硬工件自动化研磨设备,包括机台、工件主轴部分、研磨主轴部分以及运动部分;工件主轴部分包括工件主轴组件及工件装夹组件,研磨主轴部分包括研磨主轴、磨头装置及测头装置,运动部分则包括X轴移动装置、Z轴移动装置及转动装置,转动装置设置在机台左侧,研磨主轴部分设置在转台装置之上,Z轴移动装置横向设置在机台右侧,并与转动装置相对应,X轴移动装置竖向设置在Z轴移动装置之上,研磨主轴部分设置在X轴移动装置之上,且与工件主轴部分相对应。实现脆硬工件自动化研磨加工,其构造科学合理,节省设备空间,实现闭环检测以及补偿加工,提高加工效率与品质。还公开了基于上述设备的脆硬工件自动化研磨工艺。

    基于表面检测的磨毛机调参系统
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119927718A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510153845.2

    申请日:2025-02-12

    Inventor: 范俊

    Abstract: 本发明公开了基于表面检测的磨毛机调参系统,涉及磨毛机控制技术领域。所述系统包括:距离检测模块用于根据超声波传感模块进行测距传感,输出实时测距信号;压力检测模块用于根据压力传感模块进行压力传感,输出实时压力信号;特征识别模块用于根据实时测距信号和实时压力信号进行特征识别,输出信号特征集,将信号特征集输入异物识别模型中进行识别,输出异物识别参数;反馈调节模块用于将异物识别参数反馈至磨毛机设备的伺服控制单元中进行反馈调节,输出伺服调节参数。解决了现有技术中磨毛头工作时产生团状毛絮导致磨毛机磨毛的稳定性和效率降低的技术问题,达到了降低团状毛絮对磨毛机的影响,提高磨毛机磨毛的稳定性和效率技术效果。

    一种不锈钢钢管全自动化抛光设备

    公开(公告)号:CN119077595B

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411600062.6

    申请日:2024-11-11

    Inventor: 杭永贵 杭伟

    Abstract: 本发明涉及不锈钢钢管抛光技术领域,且公开了一种不锈钢钢管全自动化抛光设备,包括机架,机架的上侧固定安装有送料机构和两组抛光组件,所述抛光组件位于送料机构的中部,所述机架的上侧还固定连接有多组驱动机构,所述驱动机构驱动送料机构运输不锈钢管;所述送料机构的内侧设置有负压机构,所述负压机构包括吸附块、连通管、负压室、风机,所述送料机构的内侧设置有吸附块,所述吸附块的下侧设置有负压室,所述吸附块、负压室分布通过矩形块与机架固定连接。该不锈钢钢管全自动化抛光设备,通过负压机构、吸附块、连通管、负压室和风机之间的配合作用,实现了可以对抛光过程中对不锈钢管具有吸附力,保持不锈钢管高稳定性的目的。

    一种用于木竹材机械磨削的砂带寿命评定方法及系统

    公开(公告)号:CN119915666A

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202510014085.7

    申请日:2025-01-06

    Abstract: 本申请属于木竹材砂带磨削技术领域,公开一种用于木竹材机械磨削的砂带寿命评定方法及系统,通过按照指定磨削参数控制砂带样带对木竹材工件进行磨削处理,获取至少一组砂带样带的表面粗糙度参数,基于驱动辊在至少两个采集时刻下的电机功率以及驱动辊的空转功率,确定出至少一个磨削功率斜率,以采用磨削功率以及砂带表面粗糙度参数双重指标来综合评定出砂带样带在指定磨削参数下的延长米数,不仅适用于砂带均匀磨损和剧烈磨损情形的判定,整体测量过程简便,保障砂带寿命评定结果的准确性,还可有效避免不合理砂带选型带来的浪费,为实际生产中的磨削工艺优化和成本控制提供了有力支持,并对行业发展带来重要意义。

    一种塑料包装盒注塑件的去毛刺装置

    公开(公告)号:CN119141390B

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202411596714.3

    申请日:2024-11-11

    Inventor: 提莫.罗斯乐

    Abstract: 本发明公开了一种塑料包装盒注塑件的去毛刺装置,涉及塑料注塑件去毛刺技术领域,包括砂带去毛刺机和用于检测砂带断裂的检测收卷机构,所述检测收卷机构还包括收料单元,所述收料单元为两组设置,且设置于机台的顶部和位于打磨砂带的表面,所述收料单元用于对断裂后的打磨砂带进行卷绕处理,所述机台的背侧设置有换带机构,所述换带机构为前段和后段设置,且前段位于机台的底部,后段位于机台的背部,此塑料包装盒注塑件的去毛刺装置,利用检测单元,能够在打磨砂带断裂的第一时间进行检测,其次利用收料单元,实现卷绕断裂砂带的交替工作,同时利用换带机构,能够实现对新砂带体进行更换与抽离功能。

    基于主轴摆动式机床的砂轮磨削球面及误差补偿的方法

    公开(公告)号:CN119897778A

    公开(公告)日:2025-04-29

    申请号:CN202510335433.0

    申请日:2025-03-20

    Abstract: 本发明提供基于主轴摆动式机床的砂轮磨削球面及误差补偿的方法,在使用主轴摆动式五轴机床进行的加工中,旋转平台上的毛坯仅绕自身轴线进行自转,摆头上的杯形圆弧砂轮在端面因自转形成截圆式磨削区域,截圆式磨削区域与毛坯的自转运动组合形成包络球面磨削区域,摆头的运动由XOZ面内的平动和绕B轴的转动合成,合成运动轨迹使包络球面向毛坯缩小或扩张,磨削过程中以包络球面为边界不断去除毛坯材料,直至摆头摆动一定角度后,原来的圆柱形毛坯的端面成为球面,加工完成,提高了加工一致性和稳定性,提高了精度和刀具耐用度。

    一种用于自动研磨设备的多传感融合的自动化控制系统

    公开(公告)号:CN119871200A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510105629.0

    申请日:2025-01-23

    Abstract: 本发明涉及一种用于自动研磨设备的多传感融合的自动化控制系统,特点为:电源模块为伺服电机、人机交互界面、控制模块以及相关的电磁阀和传感器进行供电;驱动模块由伺服电机、电机驱动器以及推拉式电磁铁组成;人机交互界面,用于向用户展示控制系统的当前状态、运行数据信息,并允许用户通过界面向控制系统发送指令;同时对研磨系统运行过程中的状态信息、报警信息以及操作过程进行记录;液位控制模块由液位传感器和流量传感器等组成;控制模块包括可编程控制器和运动控制器,可编程控制器为总控制模块,运动控制器为伺服电机控制模块;研磨过程监测模块用于实现温度监测、压力检测监测及电机输出转矩监测。本发明实现了研磨过程的智能化,提高了整体研磨过程的研磨质量和研磨效率。

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