一种低电偶腐蚀的氮化钛清洗剂及其制备方法与用途

    公开(公告)号:CN119570577A

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202411675181.8

    申请日:2024-11-21

    Abstract: 本发明涉及一种低电偶腐蚀的氮化钛清洗剂,按照重量份计算,包括如下组分:功能剂12‑20份;抗静电剂1‑7份;保护剂0.2‑1份;有机碱6‑13份;氧化剂3‑14份;溶剂15‑25份;超纯水40‑60份。本发明还公开了上述清洗剂的制备方法与用途。功能剂与抗静电剂结合具有蚀刻和降低晶圆表面静电电荷的双重功能,其蚀刻功能可以快速去除氮化钛,同时功能剂与抗静电剂结合后能降低清洗剂与晶圆表面的电位差,防止静电积聚,进一步降低铜和钽的电偶电位,降低铜腐蚀;功能剂还可以提供氟离子,避免使用氢氟酸,造成环境和仪器设备的不良影响。

    一种消除核酸污染的生物酶清除剂及其制备方法

    公开(公告)号:CN115873670B

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202211511421.1

    申请日:2022-11-29

    Abstract: 本发明公开了一种消除核酸污染的生物酶清除剂及其制备方法,所述生物酶消除剂的组分包括全能核酸酶、缓冲液、辅助因子和稳定剂,在上述各组分的协同作用下,所述生物酶清除剂具有无强氧化性、无腐蚀性、无毒性的特点,不会伤害到人体或破坏物体表面;施用操作简单,无需分两步操作,一管式喷洒即可清除核酸污染;相比现有技术中的核酸酶清除剂,本发明所述生物酶清除剂,施用一段时间后会自动降解,不会造成残留或二次污染;本发明所述生物酶清除剂不仅可以在常温下高效发挥作用,还可以应用在低温环境,从而能够适用于各种环境温度下的核酸清除。

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