一种硅片气浮式移动装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119890116A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510120009.4

    申请日:2025-01-25

    Abstract: 本发明涉及气浮导轨技术领域,公开了一种硅片气浮式移动装置,包括供电系统、空气压缩机、导轨以及设置于导轨上方的工作台;所述导轨的前端开设有进气孔、上部开设有出气孔、内部开设有管路,所述进气孔通过管路于出气孔连接,所述空气压缩机与进气孔连接,用于向导轨供气并从出气孔喷出,使得导轨与工作台之间形成气膜;所述工作台上开设有通孔,所述出气孔设置于通孔的正下方,且与通孔的数量相同,一一对应设置;所述工作台的材料为无铅压电超材料,所述供电系统与工作台连接,用于向工作台的上下表面供电致使工作台发生形变,结合气膜使得导轨与工作台之间形成楔形间隙,利用气压差推动硅片移动。本发明能够实现硅片的无接触式移动。

    一种独立活动式多弹片开槽复合空气轴承

    公开(公告)号:CN112797072B

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202110145438.9

    申请日:2021-02-02

    Abstract: 本发明公开了一种独立活动式多弹片开槽复合空气轴承,包括轴承座和转轴,还包括轴承外圈和外滑动弹片环,轴承外圈两端设有对称布置的左限位环和右限位环,外滑动弹片环包括插槽划环和设置在插槽划环上的多个独立拱形弹片,受到外激振动时,轴座弹片和独立拱形弹片变形将耗散部分外激振动能量,插槽滑环能在左限定环限定的范围内自身绕轴旋转,通过独立拱形弹片系统的力学转换,周向往复振动在保持耗散线性振动能量同时降低系统振幅,保持刚性轴承座在保证系统气动部件小间隙的优势,这样保证了轴承座在受到外激振动时仍然能跟随振动运动,降低了轴承的载荷,确保轴承座与转轴之间的气膜不会因为外激振动而不稳定、破碎。

    在线阈值调节的斯特林发电机静压气体轴承及其调节方法

    公开(公告)号:CN119412443B

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202510025740.9

    申请日:2025-01-08

    Applicant: 湖南大学

    Abstract: 在线阈值调节的斯特林发电机静压气体轴承及其调节方法,该轴承包括静压气体轴承圆筒、静压气体轴承圆盖、单向阀、步进电机,单向阀、步进电机设于静压气体轴承圆筒内,步进电机与单向阀连接,静压气体轴承圆盖位于静压气体轴承圆筒底部;气体轴承圆筒中心开有活塞杆通孔,气体轴承圆筒内设有绕活塞杆通孔一圈的储压腔,气体轴承圆筒壁上设有节流孔,节流孔与储压腔连通,步进电机、单向阀设于储压腔内。还包括一种在线阈值调节的斯特林发电机静压气体轴承调节方法。本发明可实现对单向阀阈值的在线调节,无需对斯特林发电机反复拆装,增加了单向阀开启阈值调节的便捷度,提高了单向阀阈值的调节精度,减少了对单向阀阈值的调试时间。

    一种带有弹性波箔支撑的静压气体径向轴承

    公开(公告)号:CN113251075B

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202110701342.6

    申请日:2021-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种带有弹性波箔支撑的静压气体径向轴承。该静压气体径向轴承包括轴承基座、弹性波箔、轴承内圈、内圈定位销和固定垫片。轴承基座上开设有固定槽,弹性波箔通过固定垫片焊接在固定槽内;轴承基座与轴承内圈沿圆周方向均匀设置有一定数量的节流孔,侧面均开有定位槽;内圈定位销位于定位槽内,可防止轴承内圈沿圆周方向转动。本发明加设了弹性波箔和轴承内圈,弹性波箔可以起到弹性支撑作用,允许轴具有更大的振动幅度,提高了轴承的稳定性和抗冲击性;轴承内圈方便更换,降低了成本;同时轴承基座和轴承内圈上开设的多排均布节流孔可以提高供气均匀性;双层节流孔结构可以减小打孔深度,降低加工难度。

    一种可控阻尼的混合轴承、转动系统及控制方法

    公开(公告)号:CN112943795B

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202110362708.1

    申请日:2021-04-02

    Abstract: 一种可控阻尼的混合轴承、转动系统及控制方法,涉及转动机构领域。混合轴承包括轴承座、深沟球轴承、圆锥轴承、阻尼环、触头、驱动环、压电驱动器和控制器;深沟球轴承和圆锥轴承均安装于轴承座,且二者并列设置,深沟球轴承和圆锥轴承二者同轴心设置,以构成用于安装转轴的空间;阻尼环套设于深沟球轴承和圆锥轴承二者的外侧,触头设置于驱动环并沿驱动环的周向间隔设置,驱动环、深沟球轴承和圆锥轴承同轴心设置,触头朝向阻尼环设置,触头抵接于阻尼环;压电驱动器与驱动环配合,控制器与压电驱动器电性连接。其能够承载较大的荷载,还能保持较高的运转稳定性,特别是在接近和通过一阶临界转速区时,具有可靠的稳定性。

    一种压力映射与非平面织构协同润滑磁流体滑动轴承

    公开(公告)号:CN119737389A

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202411983134.X

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明涉及机械工程润滑技术领域,具体涉及一种压力映射与非平面织构协同润滑磁流体滑动轴承,包括轴瓦、轴颈、永磁体和轴承座,轴瓦设置于轴承座上,轴瓦底部中心对应的轴承座上设置有安装腔,安装腔内设置有永磁体,轴颈可转动的设置于轴瓦内,轴瓦和轴颈之间设置有磁流体,轴瓦内表面设置有由若干底面为倾斜平面的圆柱形表面织构。本发明通过将表面织构产生的微动压效应和倾斜平面产生的楔形动压效应叠加,形成了协同润滑的效果,极大地优化了磁流体轴承的润滑状态;同时,基于轴承油膜压力分布特性布置表面织构的位置,并使各表面织构的直径和深度与油膜压力正相关映射,有效地确保了各表面织构能够最大限度地提高轴承的润滑性能和可靠性。

    带有固有结构预楔形空间的弹性支承箔片动压气体轴承

    公开(公告)号:CN107725593B

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN201711096071.6

    申请日:2017-11-09

    Abstract: 本发明公开了一种带有固有结构预楔形空间的弹性支承箔片动压气体轴承,包括轴承,以及位于轴承内的转轴;在所述轴承内侧设置弹性支承元件,在所述弹性支承元件和所述转轴之间设置顶层平箔,在所述转轴表面的轴向中间区域设置光滑轴段,在所述转轴表面、位于光滑轴段的两侧各设有一列倾斜槽,且所述顶层平箔内侧环绕包裹转轴并在所述顶层平箔和所述转轴之间形成预间隙,同时所述弹性支承元件和所述顶层平箔的一端固定在轴承的同一位置上且另一端自由;本发明的优点在于,能在相对较低的转速、较小的箔片变形下形成动压气膜,在启、停阶段使转轴与轴承接触均匀,减小转轴与轴承间的接触摩擦时间和磨损,提高系统的运行稳定性与可靠性。

    一种分体式静压平面型气浮轴承和静压气浮运动平台

    公开(公告)号:CN119664797A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411926033.9

    申请日:2024-12-25

    Abstract: 本发明公开了一种分体式静压平面型气浮轴承和静压气浮运动平台,属于气浮轴承技术领域,包括通用基座和轴承片,通用基座设置有用于输入气体的第一进气口;轴承片与通用基座可拆卸连接且背向通用基座一侧的端面设置有节流孔,节流孔通过通用基座和轴承片之间的气道与第一进气口连通;轴承片通过节流孔喷出气体以使背向通用基座一侧的端面形成气膜。本发明的分体式静压平面型气浮轴承解决现有气浮轴承出现故障时只能整体替换和报废以及单个气浮轴承无法同时满足多种需求的问题,达到降低使用成本和提高普遍适用性的效果。

    一种基于导磁多孔介质的微低重力用气磁混合悬吊单元

    公开(公告)号:CN119575498A

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202411711497.8

    申请日:2024-11-27

    Applicant: 天津大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于导磁多孔介质的微低重力用气磁混合悬吊单元,包括外壳,外壳内沿中心轴向设有阶梯孔,并自下而上依次设有承载柱、永磁体、带有主供气槽的圆板和内多孔介质,内多孔介质、圆板和永磁体的径向外周尺寸一致,永磁体与外壳之间嵌装有隔磁圆环,阶梯孔的上层台阶面上设有副供气槽,副供气槽的上面胶粘有外多孔介质,隔磁圆环、内多孔介质、外多孔介质及外壳的上表面为同一平面,该平面上覆盖有工作平面板,自外壳的外部沿外壳径向设有依次贯穿副供气槽、隔磁圆环和主供气槽的供气孔。本发明可以增加气磁混合悬吊单元极限承载力与减弱横向阻力。

Patent Agency Ranking