一种高可靠性压力传感器制备方法及压力传感器

    公开(公告)号:CN119911869A

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202510096471.5

    申请日:2025-01-21

    Abstract: 本公开的实施例提供一种高可靠性压力传感器制备方法及压力传感器,方法包括:衬底;在衬底的正面形成氧化层;采用刻蚀工艺在氧化层上图案化刻蚀形成暴露衬底正面的空腔,以及质量块;在质量块表面形成覆盖质量块和空腔的器件层;对器件层的正面进行离子注入,以形成对应于质量块的压敏电阻;在器件层的正面形成覆盖器件层和压敏电阻的多晶硅层,多晶硅层具有对应于压敏电阻的压敏区;对多晶硅层进行刻蚀,在压敏区周侧形成暴露器件层表面的接触孔;在接触孔内形成金属引线;采用电感耦合等离子体刻蚀工艺对衬底的背面进行背刻蚀,并停止于质量块和器件层,形成与空腔连通并用于进压的背腔;采用键合工艺将具有凹槽的玻璃片键合于压敏区完成制备。

    一种海底取样器贯入深度测量设备

    公开(公告)号:CN119860734A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202510054858.4

    申请日:2025-01-14

    Abstract: 本发明涉及深海海底探测装置技术领域,具体公开了一种海底取样器贯入深度测量设备,包括取样器主体、外壳和若干压力敏感元件;取样器主体用于采集海底沉积物样本,外壳包裹在取样器主体外部;压力敏感元件分别安装在外壳上,用于实时感知海底取样器所受到的压力变化;压力敏感元件包括感应膜片、应变电阻和封装外壳;感应膜片位于最外层,直接接触外部环境,感应膜片的边缘与外壳密封,感应膜片与外壳之间留有缓冲气体;应变电阻固定在感应膜片外壳之间,并在感应膜片上形成凸起部;当感应膜片发生形变时,应变电阻的形状和阻值会随之发生变化。采用本发明的技术方案能够获知到插入沉积物深度,并且能够准确获知到插入过程中沉积物的阻力。

    一种管道压力测量传感装置

    公开(公告)号:CN119469525B

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202510035727.1

    申请日:2025-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种管道压力测量传感装置,属于压力传感技术领域。包括:外壳、多组传感机构和压差机构,多组传感机构设置在压差机构两侧,压差机构包括箱体、两组回转组件和传动组件,两组回转组件对称设置在箱体两侧,箱体内部上下侧分别开设有第一空腔和第二空腔,回转组件包括环体和齿圈,传动组件设置在导流管内,用于带动两组回转组件转动,箱体与两个环体接触面均固定安装有密封条,箱体顶部固定安装有信号输出装置,信号输出装置将传感机构的数据反馈给外部的终端设备,且与外界电源电性连接。本发明有效解决了仅设置一组感知传感机构,在感知传感结构自身出现问题时,设备就会失灵,无法进行监测,设备无法高效工作的问题。

    一种压力变送器压力座及其一体成型模具

    公开(公告)号:CN119618460A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411937521.X

    申请日:2024-12-26

    Abstract: 本发明涉及压力座制造技术领域,尤其为一种压力变送器压力座及其一体成型模具,其中压力座设置有连接环槽的压力对接部,所述压力座设置第一轴向配合外罩和第二轴向配合外罩,所述第一轴向配合外罩设置有压入定位扁位,所述第一轴向配合外罩和第二轴向配合外罩之间设置有应力槽,所述压力座开设有引压孔;制备模具设置有内模,内模和模具主体之间的区域形成有冷却腔。本申请所述压力座采用金属粉末注塑一体成型,模具内有冷却流道,可以根据注料高度进行冷却,可以更加精确地控制生产时零件的收缩率,减少因温度变化过大引起的尺寸偏差,从而确保零件的高精度,同时实现了应变计的轴向贴片,有利于压力变送器内部尺寸小型化等优化设计。

    一种环形传感器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119573966A

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202411318945.8

    申请日:2024-09-21

    Inventor: 高世存

    Abstract: 本发明公开了一种环形传感器,涉及传感器设备技术领域,为解决现有传感器内存在耦合力而测量不准确的问题。包括传感器元件,定位安装机构集成承载板、接电口、安装套筒与定位组件,安装套筒构建传感器安装框架,接电口传递电信号。撑开机构由顶板、伸缩件、底板及撑开组件组成,封闭安装空间同时,撑开组件与伸缩件协作,减少传感器受压时的耦合力。在受到外部压力时,传感器元件能够被均匀且稳定地撑开,有效消除了安装套筒内的晃动和耦合力,从而极大地提高了测量的准确性和稳定性。

    一种模拟不同阻式压力传感器生成校准系数的电路和方法

    公开(公告)号:CN119309733A

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202310865075.5

    申请日:2023-07-14

    Abstract: 本发明提供了一种模拟不同阻式压力传感器生成校准系数的电路和方法,电路包括电桥电压产生电路、多路模拟开关、微控制器、调理转换电路;电桥电压产生电路包括串联的第一共模电压电阻、至少两个分压电阻、第二共模电压电阻,串联的电阻之间作为分压节点;多路模拟开关多个输入输出选择端口与不同分压节点连接,其公共输入输出端口连接调理转换电路VIN端口,并采用微控制器控制地址选择端口状态实现分压节点选通方式;调理转换电路VIP端口与电桥电压产生电路零位分压节点连接。本发明能够解决现有技术中调理转换电路板生成校准系数时需要与压力传感器一一配对带来的繁琐操作,以及不宜实现批量自动化、易造成压力传感器人为损坏等技术问题。

    一种单基底印刷式柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119043538A

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202411422263.1

    申请日:2024-10-12

    Abstract: 本发明涉及柔性传感器的技术领域,具体涉及一种单基底印刷式柔性压力传感器及其制备方法。单基底印刷式柔性压力传感器的制备方法包括五个步骤:S1:印刷叉指电极;S2:采用水性碳浆与水性丙烯酸乳液制备柔性导电酱料;S3:采用氮丙啶、偶氮聚合物、柔性导电酱料制备发泡导电酱料;S4:将发泡导电酱料涂布于叉指电极上;S5:将涂布有发泡导电酱料的叉指电极放入发泡设备中进行发泡,以获取带有发泡微结构的单基底印刷式柔性压力传感器,发泡微结构中包括多个第一孔径开孔、多个闭孔和多个第二孔径开孔,第一孔径开孔的孔径大于第二孔径开孔的孔径;方法简单便捷且制得的单基底印刷式柔性压力传感器正/负压阻效应可控、纵向导电粒子浓度可调。

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