公开(公告)号：US20140231945A1

公开(公告)日：2014-08-21

申请号：US14259906

申请日：2014-04-23

Applicant: First Solar, Inc.

Inventor： Markus E. Beck ,  Ming L. Yu

IPC: H01L21/66 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  G01J3/44

CPC classification number: H01L22/20 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/28 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4412 ,  G01J5/0846 ,  G01N21/65 ,  G01N2201/1211 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/18 ,  Y10T29/41

Abstract: A temperature-adjusted spectrometer can include a light source and a temperature sensor.

Abstract translation: 温度调节光谱仪可以包括光源和温度传感器。

公开(公告)号：US09177877B2

公开(公告)日：2015-11-03

申请号：US14259906

申请日：2014-04-23

Applicant: First Solar, Inc.

Inventor： Markus E. Beck ,  Ming L. Yu

IPC: H01L21/66 ,  G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  G01J5/08

CPC classification number: H01L22/20 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/28 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4412 ,  G01J5/0846 ,  G01N21/65 ,  G01N2201/1211 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/18 ,  Y10T29/41

Abstract: A temperature-adjusted spectrometer can include a light source and a temperature sensor.

Abstract translation: 温度调节光谱仪可以包括光源和温度传感器。

公开(公告)号：US08501527B2

公开(公告)日：2013-08-06

申请号：US13689345

申请日：2012-11-29

Applicant: First Solar, Inc.

Inventor： Markus E. Beck

IPC: H01L31/18 ,  B08B9/00

CPC classification number: B08B5/00 ,  B08B7/00 ,  C23C16/4405 ,  C23G5/00 ,  H01L31/18 ,  H01L31/20 ,  Y02E10/50

Abstract: An in-situ method of cleaning a vacuum deposition chamber can include flowing at least one reactive gas into the chamber.

Abstract translation: 清洁真空沉积室的原位方法可以包括将至少一种反应性气体流入室中。

公开(公告)号：US09383316B2

公开(公告)日：2016-07-05

申请号：US14140687

申请日：2013-12-26

Applicant: First Solar, Inc.

Inventor： Markus E. Beck ,  Ulrich A. Bonne ,  Raffi Garabedian ,  Erel Milshtein ,  Ming Lun Yu

IPC: C23C14/54 ,  C23C16/52 ,  G01N21/59 ,  G01N21/31 ,  G01N21/39

CPC classification number: G01N21/5907 ,  C23C14/544 ,  G01N21/3103 ,  G01N21/39 ,  G01N2021/399

Abstract: A method of measuring vapor flux density including directing a light beam through a vapor flux to a pixel array sensor and using the pixel array sensor to measure attenuation of the light beam.

Abstract translation: 一种测量蒸汽通量密度的方法，包括将光束通过蒸气通量引导到像素阵列传感器，并使用像素阵列传感器来测量光束的衰减。

公开(公告)号：US20130095601A1

公开(公告)日：2013-04-18

申请号：US13689345

申请日：2012-11-29

Applicant: First Solar, Inc.

Inventor： Markus E. Beck

IPC: B08B5/00 ,  H01L31/18

CPC classification number: B08B5/00 ,  B08B7/00 ,  C23C16/4405 ,  C23G5/00 ,  H01L31/18 ,  H01L31/20 ,  Y02E10/50

Abstract: An in-situ method of cleaning a vacuum deposition chamber can include flowing at least one reactive gas into the chamber.

Abstract translation: 清洁真空沉积室的原位方法可以包括将至少一种反应性气体流入室中。