Invention Grant

电容器及其制作方法
Abstract:
一种电容器及其制作方法。其中电容器,包括:半导体衬底;位于半导体衬底基底相对面上的总线和接地线;贯穿半导体衬底与总线连接的第一导电插塞;贯穿半导体衬底与接地线连接的第二导电插塞;位于半导体衬底基底面上的第一层间介质层;贯穿第一层间介质层且与第一导电插塞导通的第一电极;贯穿第一层间介质层且与第二导电插塞导通的接地垫层;位于第一层间介质层、第一电极及接地垫层上的第二层间介质层;贯穿第二层间介质层且与接地垫层连接的第三导电插塞;位于第二层间介质层中与第三导电插塞连通的第二电极。本发明降低电感,提高器件质量。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0