Invention Grant
- Patent Title: 加工物体的方法
-
Application No.: CN201110230743.4Application Date: 2011-06-22
-
Publication No.: CN102332382BPublication Date: 2017-03-01
- Inventor: J·比伯杰 , R·普尔维 , J·帕卢斯金斯基 , D·多尼茨 , H·马蒂 , M·斯泰格沃尔德
- Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- Applicant Address: 德国耶拿
- Assignee: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- Current Assignee: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- Current Assignee Address: 德国耶拿
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 邱军
- Priority: 102010024625.5 2010.06.22 DE
- Main IPC: H01J37/302
- IPC: H01J37/302 ; H01J37/32
Abstract:
本发明公开了一种加工物体的方法。该方法包括在物体的表面上扫描粒子束并且探测由于扫描而从物体逸出的电子；基于探测的电子，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定物体的表面与预定表面的高度差；基于确定的高度差，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定加工强度；以及基于确定的加工强度，将离子束引导到多个位置，从而在多个位置从物体移除材料或者在物体上沉积材料。
Public/Granted literature
- CN102332382A 加工物体的方法 Public/Granted day:2012-01-25
Information query
