Invention Grant
CN103035835B 压电器件及其制造方法以及液体喷射头
失效 - 权利终止
- Patent Title: 压电器件及其制造方法以及液体喷射头
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Application No.: CN201210448662.6Application Date: 2012-09-28
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Publication No.: CN103035835BPublication Date: 2017-04-26
- Inventor: 藤井隆满 , 菱沼庆一
- Applicant: 富士胶片株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 富士胶片株式会社
- Current Assignee: 富士胶片株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 陈松涛; 韩宏
- Priority: 61/543,057 20111004 US
- Main IPC: H01L41/08
- IPC: H01L41/08 ; H01L41/083 ; H01L41/27 ; H01L41/253 ; B41J2/045 ; B41J2/135
Abstract:
一种压电器件，包括：基板；层积在基板上方的第一电极；层积在第一电极上方的第一压电膜；层积在第一压电膜上方的金属氧化物膜；层积在金属氧化物膜上方的金属膜；层积在金属膜上方的第二压电膜；以及层积在第二压电膜上方的第二电极，其中第一压电膜的极化方向和第二压电膜的极化方向彼此不同。
Public/Granted literature
- CN103035835A 压电器件及其制造方法以及液体喷射头 Public/Granted day:2013-04-10
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IPC分类:
