吸附用具及玻璃基板的制造方法
Abstract:
提供一种能够抑制玻璃基板的吸附引起的损伤的吸附用具及玻璃基板的制造方法。一种吸附用具,在吸附搬运玻璃基板中使用,其特征在于,具备:能够利用范德瓦尔斯力吸附玻璃基板的吸附部;及设置有所述吸附部的主体部。
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