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公开(公告)号：CN103673919A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310394839.3
申请日：2013-09-03
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 土屋诚
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种圆盘状基板的形状测定装置，能够高速且高精度地测定圆盘状基板的圆周边缘的形状。圆盘状基板的形状测定装置具备：测定部，不与圆盘状基板的圆周边缘接触地测定所述圆周边缘的形状；计算部，使用基于所述圆周边缘的形状的测定数据而提取的边缘上的多个点数据，计算与所述圆周边缘近似的近似圆的形状数据；输出部，输出由所述计算部计算出的形状数据；搬出/搬入机构，将圆盘状基板从收纳容器搬出，并且在进行了所述圆周边缘的形状的测定后将所搬出的圆盘状基板搬入所述收纳容器；以及移动机构，使所述收纳容器与所述搬出/搬入机构的相对位置移动，以使所述搬出/搬入机构能够将收纳在所述收纳容器中的其他圆盘状基板搬出/搬入。
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公开(公告)号：CN102914551B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210273742.2
申请日：2012-08-02
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 土屋诚
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明提供检查效率优异的玻璃基板检查系统。一种玻璃基板检查系统(10)，具备将玻璃基板(20)从盒(30)中取出的取出装置(40)和对利用取出装置(40)从盒(30)中取出的玻璃基板(20)进行检查的检查装置(50)，盒(30)具有多个能够收纳玻璃基板(20)的收纳位置，其中，玻璃基板检查系统(10)具有在每个收纳位置使取出装置(40)进行从收纳位置取出玻璃基板(20)的动作的实行部(81)，和在每个收纳位置判定有无玻璃基板(20)的有无判定部(82)；对于由有无判定部(82)判定为无玻璃基板(20)的收纳位置，实行部(81)使取出装置(40)不进行取出动作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103246694A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310050935.6
申请日：2013-02-08
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 土屋诚
IPC: G06F17/30
CPC classification number: Y02P90/14
Abstract: 本发明提供一种数据管理系统、管理数据提取方法及用于管理数据提取的存储介质，所述数据管理系统管理由设备测定出的各数据，其具备：显示单元，显示由所述设备测定出的测定结果；显示图像提取单元，提取表示在所述显示单元中显示的测定结果的显示图像；提取规则储存单元，存储提取规则，其中，所述提取规则对于表示所述各设备的测定结果的显示图像内的每个位置规定了从在该位置显示的图像中提取管理数据的方法；及管理数据提取单元，基于所述提取规则，从所述显示图像提取单元提取出的显示图像中提取管理数据。
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公开(公告)号：CN102914551A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210273742.2
申请日：2012-08-02
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 土屋诚
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明提供检查效率优异的玻璃基板检查系统。一种玻璃基板检查系统(10)，具备将玻璃基板(20)从盒(30)中取出的取出装置(40)和对利用取出装置(40)从盒(30)中取出的玻璃基板(20)进行检查的检查装置(50)，盒(30)具有多个能够收纳玻璃基板(20)的收纳位置，其中，玻璃基板检查系统(10)具有在每个收纳位置使取出装置(40)进行从收纳位置取出玻璃基板(20)的动作的实行部(81)，和在每个收纳位置判定有无玻璃基板(20)的有无判定部(82)；对于由有无判定部(82)判定为无玻璃基板(20)的收纳位置，实行部(81)使取出装置(40)不进行取出动作。
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公开(公告)号：CN103910161A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201310741157.5
申请日：2013-12-27
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够抑制玻璃基板的处理造成的损伤的玻璃基板吸附用具及玻璃基板的制造方法。一种玻璃基板吸附用具，其具备：流路（81）；吸附部（60），其能够利用范德瓦尔斯力吸附玻璃基板；压力控制部（80a），其使所述流路（81）内的流体压力变化；片材（100），其在所述流路（81）与所述吸附部（60）之间通过所述流体压力的变化而变形，以使在所述吸附部（60）和与所述吸附部（60）接触的玻璃基板之间产生的吸附力变化。一种玻璃基板的制造方法，具有研磨玻璃基板的工序、清洗玻璃基板的工序、检查玻璃基板的工序，其特征在于，使用所述玻璃基板吸附用具来搬运玻璃基板。
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公开(公告)号：CN103134814A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210506207.7
申请日：2012-11-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 土屋诚
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明的目的在于提供一种玻璃基板检查装置及玻璃基板制造方法，可以以简单的结构进行包含原材料、板厚、端面的状态等的玻璃基板等的状态的检查。在拍摄照射有来自光源的光的玻璃基板的图像，并基于上述图像的图像数据进行上述玻璃基板的检查的玻璃基板检查装置中，具有：以对玻璃基板拍摄多个图像的拍摄单元；基于由上述拍摄单元拍摄到的上述图像的图像数据算出上述玻璃基板的板厚的板厚计算单元。
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