响应压力的液态微电子机械系统组件
Abstract:
本发明涉及响应压力的液态微电子机械系统组件,其包括板材,通道框架,柔性通道面。液体微滴,以及一个或多个导电元件。所述通道框架在所述板材内,并且匹配于所述柔性通道面,以便在所述板材内形成通道。所述液体微滴被包含在所述通道内。当压力被施加至所述柔性面时,所述液体微滴相对于一个或多个导电元件的形状被改变,从而改变所述液态MEMS组件的操作特性。
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