激光切割用晶圆保护膜组合物和半导体元件的制造方法

Invention Grant

CN103666136B 激光切割用晶圆保护膜组合物和半导体元件的制造方法有权复审申请

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Patent Title: 激光切割用晶圆保护膜组合物和半导体元件的制造方法
Application No.: CN201310379594.7

Application Date: 2013-08-27
Publication No.: CN103666136B

Publication Date: 2019-08-13
Inventor: 权基真 , 梁振锡 , 李京浩
Applicant: 东友精细化工有限公司
Applicant Address: 韩国全罗北道
Assignee: 东友精细化工有限公司
Current Assignee: 东友精细化工有限公司
Current Assignee Address: 韩国全罗北道
Agency: 北京派特恩知识产权代理有限公司
Agent 徐川; 张颖玲
Priority: 10-2012-0095120 2012.08.29 KR
Main IPC: C09D129/04
IPC: C09D129/04 ; C09D139/06 ; C09D133/02 ; C09D171/08 ; C09D101/28 ; C09D101/26 ; C09D179/04 ; C09D5/08 ; H01L21/78

Abstract:

本发明提供了激光切割用晶圆保护膜组合物和半导体元件的制造方法，所述激光切割用晶圆保护膜组合物包含：含有水溶性树脂的树脂、防腐剂以及作为水或水与有机溶剂的混合物的溶剂。

Abstract(English):

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide wafer protection film compositions for laser dicing which effectively prevent corrosion of metal junction pads and bump balls.SOLUTION: Wafer protection film compositions for laser dicing comprise a resin including a water-soluble resin, a corrosion inhibitor, and a solvent which is water or a mixture of water and an organic solvent.

Public/Granted literature

CN103666136A 激光切割用晶圆保护膜组合物和半导体元件的制造方法 Public/Granted day:2014-03-26

Information query

Chinese Patent Announcement Global Dossier Espacenet

IPC分类:

C	化学；冶金
C09	染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D	涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用（化妆品入A61K，一般将液体或其他流动物料涂到表面上的方法入B05D；木材着色入B27K5/02；釉料或搪瓷釉入C03C；天然树脂、虫胶清漆、干性油、催干剂、松节油本身入C09F；除虫胶清漆外的抛光组合物、滑雪屐蜡入C09G；黏合剂或用作黏合剂的物质入C09J；用于接头或盖的密封或包装材料入C09K3/10；用于防止泄漏的材料入C09K3/12；电解或电泳生成镀层的方
C09D129/00	基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以醇、醚、醛、酮、醛缩醇或酮缩醇基为终端；基于不饱和醇与饱和羧酸的酯的水解聚合物的涂料组合物；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D129/02	.不饱和醇的均聚物或共聚物（C09D129/14优先）
C09D129/04	..聚乙烯醇；不饱和醇与饱和羧酸的酯的部分水解的均聚物或共聚物