形状测量机和用于校正形状测量误差的方法
Abstract:
一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法,该形状测量机包括用于支持扫描探头的滑块。标尺单元检测所述滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器,并且根据所述滑块和所述尖端球体的位移,计算测量值,其中,所述校正滤波器包括第一和第二滤波器。所述第一滤波器基于从所述标尺单元到所述滑块的尖端的频率传递特性,校正所述滑块的位移。所述第二滤波器输出通过基于从所述滑块的尖端到所述尖端球体的频率传递特性来校正通过所述第一滤波器校正后的值而获得的值,作为校正值。所述加法器输出通过对所述校正值和所述尖端球体的位移进行相加所获得的测量值。
Patent Agency Ranking
0/0