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公开(公告)号：CN107782222B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201710743552.5
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/008
Abstract: 本发明涉及坐标校正方法和坐标测定装置。前级校正步骤包括：将测定探头(300PR)配置于驱动机构(220PR)；限制测定触头(306PR)；分别获取移动量(Mpr)和探头输出(Ppr)；生成用于校正探头输出(Ppr)的由线性校正元素(ALE)和非线性校正元素(ANLE)构成的前级校正矩阵(AA)。后级校正步骤包括：将测定探头(300)配置于驱动机构(220)；限制测定触头(306)；分别获取移动量(M)和探头输出(P)；生成用于校正探头输出(P)的由线性校正元素(BLE)构成的中间校正矩阵(BB)；利用基于中间校正矩阵(BB)和前级校正矩阵(AA)生成的后级校正矩阵(EE)校正探头输出(P)。
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公开(公告)号：CN101769704A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN201010002203.6
申请日：2010-01-06
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 一种三坐标测量机，具备：测头，其构成为能够在一定的范围内移动，具有测量触头；移动机构，其移动测头；以及控制装置，其控制移动机构。控制装置具备根据移动机构的移动量以及测头的移动量来算出测量触头的位置的测量值算出部(53)。测量值算出部(53)具备：校正参数算出部(531)，其根据测量被测量物时的测量条件算出用于校正测头的移动量的校正参数；校正部(532)，其根据校正参数对测头的移动量进行校正；以及移动量合成部(533)，其通过对移动机构的移动量和由校正部(532)校正后的测头的移动量进行合成来算出测量触头的位置。
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公开(公告)号：CN100543625C
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200510127424.5
申请日：2005-12-02
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G05B19/19 , G05B2219/42104
Abstract: 本发明提供一种控制装置，所述控制装置包括：第1切换器(第1切换装置)(400)，使对电机速度控制环(910)的输入信号在位置控制环(300)的信号和速度控制环(200)的信号之间切换，和切换控制部(500)，进行第1切换器(400)的切换控制；所述控制装置，按照过渡状态和稳定装置，利用该第1切换器(400)，对包括速度控制环(200)的4层环(电流控制环、电机速度控制环、速度控制环(200)、以及位置控制环(300))，和不包括速度控制环(200)的3层环(电流控制环、电机速度控制环、位置控制环(300))进行切换。
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公开(公告)号：CN1102739C
公开(公告)日：2003-03-05
申请号：CN97114060.X
申请日：1997-06-25
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 相位控制电路1控制输入正弦信号S1以产生相差90°的第一和第二正弦信号S1和S2。信号发生电路2a和2b平方第一和第二正弦信号以分别产生第一和第二平方的正弦信号S12和S22。平方的正弦信号被信号相加电路3相加以产生相加的输出。相位控制电路1包括90°相移电路11和12。90°相移电路由中心频率设为f0-Δf和f0+Δf以产生第一和第二正弦信号的全通滤波器构成。
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公开(公告)号：CN107131861B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201710104608.2
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 提供一种构造简易并且能够确保高测定灵敏度的测定探头。测定探头具备：测针，其具有用于与被测定物接触的接触部；探头外壳，其能够将测针支承在轴心上；以及检测元件，其能够检测接触部的移动，该测定探头具备配置于探头外壳的轴向且容许测针的姿势变化的两个支承构件以及将两个支承构件连结的连结轴，对两个支承构件中的离旋转中心位置最远的支承构件配置检测元件，利用检测元件来检测支承构件的应变量，其中，旋转中心位置是在对接触部从与轴向正交的方向施加测定力时测针所产生的旋转的旋转中心位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107131853B
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201710104606.3
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供一种能够保持高灵敏度并且以简易的结构降低灵敏度的测定方向依赖性的测定探头。在探头外壳(306)的轴向(O)上具备两个容许测针(336)的姿势变化的、呈旋转对称形状的支承构件(322、324)，在两个支承构件(322、324)中的具备四个能够变形的臂部(324B)的一个支承构件(324)，四个检测元件(325)配置在四重对称的位置，信号处理电路(320)具备第一处理部(364)，该第一处理部(364)对检测元件(325)的输出进行处理，输出表示接触部(362)在彼此正交的三个方向的各方向上的位移分量的三个位移信号(Vx、Vy、Vz)。
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公开(公告)号：CN107782274A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710744125.9
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：坐标获取部，其在由限制单元限制了测定触头状态下由驱动机构使测定探头进行了移动时分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其根据坐标获取部的输出来生成由分别用于校正针对测定探头的移动量的线性校正元素和非线性校正元素构成的校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。坐标获取部在线性校正元素的数量与非线性校正元素的数量的合计数以上的测定点处分别获取测定探头的移动量和探头输出。由此，能够校正从测定探头输出的探头输出的非线性误差，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。
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公开(公告)号：CN107782223A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710744168.7
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：压入驱动机构控制部，其以使将相互正交的3个方向和测定力与2个方向的测定力互为反向的2个方向合起来的合计5个方向分别成为相对于校正基准体的表面而言的法线的方式，使测定触头在该5个方向上分别与该表面进行1点接触；仿形驱动机构控制部，其使测定触头在相互正交的3个平面上分别在校正基准体的表面进行往复移动；坐标获取部，其分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其生成校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。由此，能够改善从测定探头所输出的探头输出的在特定平面内的非对称的探头特性，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。
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公开(公告)号：CN100504695C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610001477.7
申请日：2006-01-17
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 石川修弘
IPC: G05D3/12
CPC classification number: G05B19/19 , G05B2219/42062 , G05B2219/42091
Abstract: 本发明提供位置控制装置、测量装置以及加工装置。在包括具有控制电机电流(I)的电流控制环和控制电机速度(Vm)的电机速度控制环的驱动控制部(5)、控制被驱动体(2)的速度(Vd)的速度控制环(3)、以及控制被驱动体(2)的位置(Pd)的位置控制环(4)的4层环位置控制装置(1)中，设置加法器(6)，对来自位置控制环(4)的输出值和来自速度控制环(3)的输出值进行加法计算，将结果输入电机速度控制环。通过设置加法器(6)，位置控制装置(1)作为线性滞后系统的控制装置进行动作，因此即使从抑制被驱动体(2)的振动性的动作的角度设定了位置控制装置(1)的各项传递函数，也能可靠地防止发生过冲。
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公开(公告)号：CN107782223B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201710744168.7
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：压入驱动机构控制部，其以使将相互正交的3个方向和测定力与2个方向的测定力互为反向的2个方向合起来的合计5个方向分别成为相对于校正基准体的表面而言的法线的方式，使测定触头在该5个方向上分别与该表面进行1点接触；仿形驱动机构控制部，其使测定触头在相互正交的3个平面上分别在校正基准体的表面进行往复移动；坐标获取部，其分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其生成校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。由此，能够改善从测定探头所输出的探头输出的在特定平面内的非对称的探头特性，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。
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