半导体器件及其制造方法
Abstract:
一种半导体器件可以包括:层间绝缘图案和局部字线,其被交替地层叠以形成阶梯结构;以及第一绝缘层,其形成在阶梯结构的表面上。半导体器件还可以包括:字线选择栅,其沿着第一绝缘层的表面形成;以及有源图案,其穿通字线选择栅和第一绝缘层,并且分别与局部字线连接。
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