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气室的密封方法
Abstract:
本发明提供气室的密封方法,不给予气室主体、气室内部的气体热负荷而提高气室的密封的精度。气室的密封方法具备接合工序,在该接合工序中,利用光学元件使从激光光源照射的激光会聚于设置有将具有开口部的气室主体与堵住开口部的盖体接合的密封材料的气室主体与盖体的接合部分,而对接合部分进行加热,边使激光会聚于接合部分,边朝盖体按压气室主体的方向加压,从而将盖体与气室主体接合。
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